TGV деген эмне?
TGV, (Through-Glass via), айнек субстратында тешиктерди түзүү технологиясы, Жөнөкөй сөз менен айтканда, TGV - айнектин үстүнө интегралдык микросхемаларды куруу үчүн тешип, толтуруучу жана айнекти өйдө жана ылдый бириктирүүчү бийик имарат. кабат.Бул технология 3D пакеттөөнүн кийинки мууну үчүн негизги технология болуп эсептелет.
TGV кандай өзгөчөлүктөрү бар?
1. Түзүлүшү: TGV айнек субстратында жасалган тешик аркылуу вертикалдуу өтүүчү өткөргүч.Тешикче дубалга өткөргүч металл катмарын салуу менен электрдик сигналдардын үстүнкү жана төмөнкү катмарлары бири-бири менен байланышкан.
2. Өндүрүш процесси: TGV өндүрүшү субстратты алдын ала тазалоону, тешиктерди жасоону, металл катмарын коюуну, тешиктерди толтуруу жана тегиздөө кадамдарын камтыйт.Жалпы өндүрүш ыкмалары химиялык оюу, лазердик бургулоо, electroplating жана башкалар.
3. Колдонмо артыкчылыктары: тешик аркылуу салттуу металл менен салыштырганда, TGV кичинекей өлчөмү, жогорку зым тыгыздыгы, жакшы жылуулук таркатуучу аткаруу жана башка артыкчылыктарга ээ.Микроэлектроника, оптоэлектроника, MEMS жана жогорку тыгыздыктагы өз ара байланыштын башка тармактарында кеңири колдонулат.
4. Өнүгүү тенденциясы: электрондук өнүмдөрдүн кичирейтүү жана жогорку интеграцияга карай өнүгүшү менен TGV технологиясы барган сайын көбүрөөк көңүл буруп, колдонууга ээ болууда.Келечекте анын өндүрүш процесси оптималдаштырууну улантат, анын көлөмү жана иштеши дагы жакшырат.
TGV процесси деген эмне:
1. Айнек субстратын даярдоо (a): Анын бети жылмакай жана таза болушу үчүн, башында айнек субстратын даярдаңыз.
2. Айнек бургулоо (б): Лазер айнек субстратында өтүүчү тешик түзүү үчүн колдонулат.Тешиктин формасы жалпысынан конус формасында, бир тарабы лазердик дарылоодон кийин экинчи жагынан оодарылып, иштетилет.
3. Тешик дубалын металлдаштыруу (с): Металлдаштыруу тешик дубалында, адатта, PVD, CVD жана башка процесстер аркылуу тешик дубалында өткөргүч металл урук катмарын түзүү үчүн жүргүзүлөт, мисалы, Ti / Cu, Cr / Cu, ж.б.
4. Литография (г) : Айнек субстраттын бети фоторезист менен капталган жана фотосүрөттүү.Жалаң жабууга муктаж болгон бөлүктөрдү ачыкка чыгарыңыз.
5. Тешик толтуруу (e) : Толук өткөргүч жолду түзүү үчүн тешиктер аркылуу айнекти толтуруу үчүн электропластика жез.Негизинен тешик эч кандай тешиксиз толтурулган болушу талап кылынат.Диаграммадагы Cu толук толтурулбаганына көңүл буруңуз.
6. Субстраттын жалпак бети (е): Кээ бир TGV процесстери толтурулган айнек субстраттын бетин тегиздеп, субстраттын бети жылмакай болушун камсыз кылат, бул кийинки процесс кадамдарына шарт түзөт.
7.Protective катмар жана терминалдык байланыш (ж) : Айнек субстраттын бетинде коргоочу катмар (мисалы, полиимид) пайда болот.
Кыскача айтканда, TGV жараянынын ар бир кадамы маанилүү жана так башкарууну жана оптималдаштырууну талап кылат.Биз учурда керек болсо, тешик технологиясы аркылуу TGV айнек сунуштайбыз.Сураныч, биз менен байланышыңыз!
(Жогорудагы маалыматтар интернеттен алынган, цензура)
Посттун убактысы: 25-июнь-2024