Кремний карбиди (SiC), кең тилкелүү жарым өткөргүч материалдын бир түрү катары, заманбап илим менен техниканы колдонууда барган сайын маанилүү ролду ойнойт. Кремний карбиди мыкты жылуулук туруктуулугуна, жогорку электр талаасынын толеранттуулугуна, атайылап өткөргүчтүгүнө жана башка эң сонун физикалык жана оптикалык касиеттерге ээ жана оптоэлектрондук аппараттарда жана күн аппараттарында кеңири колдонулат. Эффективдүү жана туруктуу электрондук түзүлүштөргө болгон суроо-талаптын өсүшүнөн улам кремний карбидинин өсүү технологиясын өздөштүрүү ысык чекит болуп калды.
Ошентип, сиз SiC өсүү процесси жөнүндө канчалык билесиз?
Бүгүн биз кремний карбидинин монокристаллдарын өстүрүүнүн үч негизги ыкмасын талкуулайбыз: физикалык буу транспорту (PVT), суюк фазадагы эпитаксия (LPE) жана жогорку температурадагы химиялык буулардын катмары (HT-CVD).
Бууну өткөрүүнүн физикалык ыкмасы (PVT)
Физикалык буу өткөрүү ыкмасы көбүнчө кремний карбидин өсүү процесстеринин бири болуп саналат. Жалгыз кристалл кремний карбидинин өсүшү, негизинен, sic порошокунун сублимациясына жана жогорку температуранын шарттарында урук кристаллына кайра жайгаштырууга көз каранды. Жабык графит тигелде кремний карбиди порошок жогорку температурага чейин ысытылат, температура градиентинин көзөмөлү аркылуу кремний карбидинин буусу урук кристаллынын бетинде конденсацияланып, акырындык менен чоң өлчөмдөгү монокристалл өсөт.
Учурда биз камсыз кылган монокристаллдык SiC басымдуу бөлүгү ушул өсүштүн жолу менен жасалган. Бул ошондой эле өнөр жайдын негизги жолу болуп саналат.
Суюк фаза эпитаксиси (LPE)
Кремний карбидинин кристаллдары суюк фазадагы эпитаксиянын жардамы менен катуу суюктуктун интерфейсинде кристаллдын өсүү процесси аркылуу даярдалат. Бул ыкмада кремний карбиди порошок кремний-көмүртек эритмесинде жогорку температурада эритилип, андан кийин температура төмөндөтүлүп, кремний карбиди эритмеден чөктүрүлөт жана урук кристаллдарында өсөт. LPE ыкмасынын негизги артыкчылыгы төмөнкү өсүү температурасында жогорку сапаттагы кристаллдарды алуу мүмкүнчүлүгү болуп саналат, наркы салыштырмалуу төмөн жана ал ири өндүрүш үчүн ылайыктуу болуп саналат.
Жогорку температурадагы Химиялык буулардын чөктүрүлүшү (HT-CVD)
Реакция камерасына кремний жана көмүртек камтыган газды жогорку температурада киргизүү менен кремний карбидинин бир кристаллдык катмары химиялык реакция аркылуу түздөн-түз урук кристаллынын бетине жайгаштырылат. Бул ыкманын артыкчылыгы газдын агымынын ылдамдыгын жана реакция шарттарын так көзөмөлдөп, жогорку тазалыктагы жана бир нече кемчиликтери бар кремний карбидинин кристалын алууда. HT-CVD процесси кремний карбидинин эң сонун касиеттери менен кристаллдарын чыгара алат, бул өтө жогорку сапаттагы материалдар талап кылынган колдонмолор үчүн өзгөчө баалуу.
Кремний карбидинин өсүү процесси аны колдонуунун жана өнүктүрүүнүн негизи болуп саналат. Үзгүлтүксүз технологиялык инновациялар жана оптималдаштыруу аркылуу, бул үч өсүү ыкмалары кремний карбидинин маанилүү ордун камсыз кылуу, ар кандай учурларда муктаждыктарын канааттандыруу үчүн тиешелүү ролду ойнойт. Илимий-техникалык прогрессти терендетуу менен кремний-карбид материалдарынын есуу процесси оптималдаштыруу улантылат, электрондук приборлордун иштеши мындан ары да жакшырат.
(цензура)
Посттун убактысы: 23-июнь-2024