артыкчылыктарыАйнек аркылуу (TGV)жана TGV аркылуу Silicon Via (TSV) процесстери негизинен:
(1) мыкты жогорку жыштык электр мүнөздөмөлөрү. Айнек материалы изолятор материалы болуп саналат, диэлектрдик өткөрүмдүүлүк кремнийдик материалдын 1/3 бөлүгүн түзөт, ал эми жоготуу коэффициенти кремнийдик материалдан 2-3 эсеге төмөн, бул субстраттын жоголушуна жана мителик таасирлердин бир кыйла төмөндөшүнө алып келет. жана берилүүчү сигналдын бүтүндүгүн камсыз кылат;
(2)чоң өлчөмү жана өтө жука айнек субстраталуу оңой. Corning, Asahi жана SCHOTT жана башка айнек өндүрүүчүлөр ультра чоң өлчөмдөгү (>2м × 2м) жана өтө жука (<50µm) панелдик айнек жана өтө жука ийкемдүү айнек материалдарын бере алышат.
3) Төмөн наркы. Чоң өлчөмдөгү ультра жука панелдик айнекке оңой жетүү мүмкүнчүлүгүнөн пайда алып, изоляциялоочу катмарларды коюуну талап кылбайт, айнек адаптер плитасынын өндүрүштүк баасы кремний негизиндеги адаптер плитасынын 1/8 бөлүгүн гана түзөт;
4) Жөнөкөй процесс. ТГВнын субстраттын бетине жана ички дубалына изоляциялоочу катмарды коюунун кереги жок, ошондой эле ультра жука адаптер пластинасында ичкертүү талап кылынбайт;
(5) Күчтүү механикалык туруктуулук. Адаптер пластинкасынын калыңдыгы 100 микрондон аз болсо да, бузулуу дагы эле кичинекей;
(6) Колдонмолордун кеңири диапазону - бул пластинкалардын ортосундагы эң кыска аралыкка жетүү үчүн, пластинка деңгээлинде таңгактоо тармагында колдонулуучу узунунан туташтырылган технология. , жылуулук, механикалык касиеттери, RF чипте, жогорку MEMS сенсорлордо, жогорку тыгыздыктагы системанын интеграциясы жана уникалдуу артыкчылыктары бар башка чөйрөлөр 5G, 6G жогорку жыштыктагы чип 3D мууну Бул кийинки муундагы 5G жана 6G жогорку жыштыктагы чиптерди 3D таңгактоо үчүн биринчи тандоолордун бири.
TGV калыптандыруу процесси негизинен кум чачууну, ультра үн бургулоону, нымдуу оюуларды, терең реактивдүү иондорду, фотосезгичтерди, лазердик оймолорду, лазердик тереңдикти жана фокустоочу разряддык тешиктердин пайда болушун камтыйт.
Акыркы изилдөөлөрдүн жана иштеп чыгуулардын натыйжалары технология тешиктер жана 5:1 сокур тешиктер аркылуу 20:1 тереңдикке карата катышы менен даярдай аларын жана жакшы морфологияга ээ экенин көрсөтүп турат. Лазердик индукцияланган терең оюу, анын натыйжасында беттин майда тегиздиги, азыркы учурда эң көп изилденген ыкма. 1-сүрөттө көрсөтүлгөндөй, кадимки лазердик бургулоонун айланасында айкын жаракалар бар, ал эми лазердин жардамы менен терең оюулардын курчап турган жана каптал дубалдары таза жана жылмакай.
кайра иштетүү процессиTGVinterposer 2-сүрөттө көрсөтүлгөн. Жалпы схема адегенде айнек субстратына тешиктерди тешип, андан кийин каптал дубалга жана бетке тосмо катмарын жана үрөн катмарын салуу. Тоскоолдук катмары айнек субстратына Cu диффузиясын алдын алат, ал эми экөөнүн адгезиясын жогорулатуу, албетте, кээ бир изилдөөлөрдө да тосмо катмардын кереги жок деп табылган. Андан кийин Cu электропландоо жолу менен төгүлөт, андан кийин күйдүрүлөт, ал эми Cu катмары CMP менен жок кылынат. Акыр-аягы, RDL rewiring катмары PVD каптоо литографиясы менен даярдалат жана пассивация катмары желим алынып салынгандан кийин пайда болот.
(а) пластинаны даярдоо, (б) TGV түзүү, (в) эки тараптуу электропластика – жезди коюу, (г) күйдүрүү жана CMP химиялык-механикалык жылтыратуу, жездин үстүнкү катмарын алып салуу, (e) PVD каптоо жана литография , (f) RDL rewiring катмарын жайгаштыруу, (ж) degluing жана Cu/Ti оюу, (h) пассивация катмарын түзүү.
Жыйынтыктап айтканда,айнек аркылуу тешик (TGV)колдонуу перспективалары кенен жана учурдагы ички рынок жабдуулардан продуктуларды долбоорлоого жана изилдөө жана иштеп чыгуулардын өсүү темпи дүйнөлүк орточо көрсөткүчтөн жогору.
Эгерде укук бузуу болсо, байланышты өчүрүңүз
Посттун убактысы: 2024-жылдын 16-июлуна чейин