Жарым өткөргүчтөр технологиясынын үзгүлтүксүз өнүгүшү менен, жарым өткөргүч өнөр жайында, ал тургай, фотоэлектрдик өнөр жайда, пластинка субстраттын же эпитаксиалдык барактын бетинин сапатына талаптар да абдан катуу.Ошентип, пластинкалардын сапатына кандай талаптар коюлат?Мисал катары сапфир пластинкаларын алсак, пластинкалардын беттик сапатын кандай көрсөткүчтөр менен баалоого болот?
Вафельди баалоо көрсөткүчтөрү кандай?
Үч көрсөткүч
Сапфир пластиналар үчүн анын баалоо индикаторлору жалпы калыңдыктын четтөө (TTV), ийилүү (Жаа) жана Warp (Warp) болуп саналат.Бул үч параметр чогуу кремний пластинкасынын тегиздигин жана жоондугун бирдей чагылдырат жана пластинанын толкунунун даражасын өлчөй алат.Гофр вафли бетинин сапатын баалоо үчүн тегиздик менен айкалыштырылышы мүмкүн.
TTV, BOW, Warp деген эмне?
TTV (жалпы калыңдыктын өзгөрүшү)
TTV бул пластинканын максималдуу жана минималдуу калыңдыгынын ортосундагы айырма.Бул параметр пластинка калыңдыгын өлчөө үчүн колдонулган маанилүү көрсөткүч болуп саналат.Жарым өткөргүч процессинде пластинанын калыңдыгы бүт бетинде абдан бирдей болушу керек.Ченөөлөр, адатта, пластинанын беш жеринде жүргүзүлөт жана айырма эсептелинет.Акыр-аягы, бул маани вафлидин сапатын баалоо үчүн маанилүү негиз болуп саналат.
Жаа
Жарым өткөргүч өндүрүшүндөгү жаа пластинанын ийилишин билдирет, кысылган пластинанын ортосу менен эталондук тегиздиктин ортосундагы аралыкты бошотот.Бул сөз, кыязы, жаа сыяктуу ийилген нерсенин формасын сүрөттөөдөн келип чыкса керек.Bow мааниси кремний пластинкасынын борбору менен четинин ортосундагы четтөөнү өлчөө жолу менен аныкталат.Бул маани, адатта, микрометр (мкм) менен көрсөтүлөт.
Warp
Warp – бул пластинкалардын глобалдык менчиги, ал эркин кысылган пластинанын ортосу менен эталондук тегиздиктин ортосундагы максималдуу жана минималдуу аралыктын ортосундагы айырманы өлчөйт.Кремний пластинкасынын бетинен учакка чейинки аралыкты билдирет.
TTV, Bow, Warp ортосунда кандай айырма бар?
TTV калыңдыктын өзгөрүшүнө көңүл бурат жана пластинанын ийилишине же бурмаланышына байланыштуу эмес.
Жаа, негизинен, борбордук чекиттин жана четинин ийилишин эске алуу менен жалпы ийилгенге басым жасайт.
Warp бир кыйла комплекстүү болуп саналат, анын ичинде бүт пластинанын бетинин ийилиши жана бурулушу.
Бул үч параметр кремний пластинкасынын формасы жана геометриялык касиеттери менен байланыштуу болсо да, алар башкача өлчөнөт жана сүрөттөлөт жана жарым өткөргүч процессине жана пластинаны иштетүүгө тийгизген таасири да ар кандай.
Үч параметр канчалык кичине болсо, ошончолук жакшы, ал эми параметр канчалык чоң болсо, жарым өткөргүч процессине терс таасирин тийгизет.Ошондуктан, жарым өткөргүч практик катары, биз бүт процесс процесси үчүн пластинка профилинин параметрлеринин маанилүүлүгүн түшүнүшүбүз керек, жарым өткөргүч процессин аткарып, деталдарга көңүл бурушубуз керек.
(цензура)
Посттун убактысы: 24-июнь-2024