Жарым өткөргүчтөр технологиясынын тынымсыз өнүгүшү менен, жарым өткөргүчтөр тармагында жана ал тургай фотоэлектрдик өнөр жайда, пластинанын негизинин же эпитаксиалдык барактын бетинин сапатына талаптар да өтө катуу. Ошентип, пластиналардын сапатына кандай талаптар коюлат?сапфир вафлиМисалы, пластиналардын бетинин сапатын баалоо үчүн кандай индикаторлорду колдонсо болот?
Вафлилерди баалоо көрсөткүчтөрү кандай?
Үч көрсөткүч
Сапфир пластиналары үчүн анын баалоо көрсөткүчтөрү жалпы калыңдыктын четтөөсү (TTV), ийилүү (Bow) жана Warp (Warp) болуп саналат. Бул үч параметр чогуу кремний пластинасынын тегиздигин жана калыңдыгынын бирдейлигин чагылдырат жана пластинанын толкундануу даражасын өлчөй алат. Гофрленген пластинанын бетинин сапатын баалоо үчүн тегиздик менен айкалыштырылышы мүмкүн.
TTV, BOW, Warp деген эмне?
TTV (Жалпы калыңдыктын өзгөрүшү)
TTV - пластинанын максималдуу жана минималдуу калыңдыгынын айырмасы. Бул параметр пластинанын калыңдыгын бирдей өлчөө үчүн колдонулган маанилүү индекс болуп саналат. Жарым өткөргүч процессинде пластинанын калыңдыгы бүткүл бет боюнча абдан бирдей болушу керек. Өлчөөлөр, адатта, пластинанын беш жеринде жүргүзүлөт жана айырма эсептелет. Акыр-аягы, бул маани пластинанын сапатын баалоо үчүн маанилүү негиз болуп саналат.
Жаа
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө "жаңгак" пластинанын ийилишин билдирет, ал кысылбаган пластинанын ортоңку чекити менен эталондук тегиздиктин ортосундагы аралыкты бошотот. Бул сөз, кыязы, объект ийилгендеги формасын, мисалы, жаанын ийилген формасын сүрөттөөдөн келип чыккан. Жаңгактын мааниси кремний пластинасынын борбору менен четинин ортосундагы четтөөнү өлчөө менен аныкталат. Бул маани адатта микрометрлер (мкм) менен көрсөтүлөт.
Верп
Warp – бул эркин кысылбаган пластинанын ортосу менен эталондук тегиздиктин ортосундагы максималдуу жана минималдуу аралыктын айырмасын өлчөөчү пластиналардын глобалдык касиети. Кремний пластинасынын бетинен тегиздикке чейинки аралыкты билдирет.
TTV, Bow жана Warpтын ортосунда кандай айырма бар?
TTV калыңдыгынын өзгөрүшүнө көңүл бурат жана пластинанын ийилишине же бурмаланышына көңүл бурбайт.
Жаа жалпы ийилүүгө басым жасайт, негизинен борбордук чекиттин жана четтин ийилишин эске алат.
Вафли бетинин бүтүндөй ийилишин жана бурулушун камтыган варп кеңири мааниге ээ.
Бул үч параметр кремний пластинасынын формасы жана геометриялык касиеттери менен байланыштуу болгону менен, алар ар кандай өлчөнөт жана сүрөттөлөт, ошондой эле алардын жарым өткөргүч процессине жана пластинаны иштетүүгө тийгизген таасири да ар башка.
Үч параметр канчалык кичине болсо, ошончолук жакшы жана параметр канчалык чоң болсо, жарым өткөргүч процессине ошончолук терс таасири болот. Ошондуктан, жарым өткөргүч боюнча адис катары биз бүтүндөй процесс үчүн пластина профилинин параметрлеринин маанисин түшүнүшүбүз керек, жарым өткөргүч процессинде деталдарга көңүл бурушубуз керек.
(цензуралоо)
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 24-июну