Вафлилерде TTV, BOW, WARP жана TIR эмнени билдирет?

Жарым өткөргүч кремний пластиналарын же башка материалдардан жасалган субстраттарды изилдегенде, биз көп учурда TTV, BOW, WARP жана, балким, TIR, STIR, LTV сыяктуу техникалык көрсөткүчтөргө туш болобуз. Булар кандай параметрлерди билдирет?

 

TTV — Жалпы калыңдыктын өзгөрүшү
ЖАА — ЖАА
WARP — Warp
TIR — Көрсөтүлгөн жалпы көрсөткүч
STIR — Сайттын жалпы көрсөтүлгөн көрсөткүчү
LTV — Жергиликтүү калыңдыктын өзгөрүшү

 

1. Жалпы калыңдыктын өзгөрүшү — TTV

da81be48e8b2863e21d68a6b25f09db7Пластинанын максималдуу жана минималдуу калыңдыгынын эталондук тегиздикке карата айырмасы, ал пластина кысылып, тыгыз байланышта болгондо. Ал, адатта, микрометрлер менен (мкм) көрсөтүлөт, көбүнчө төмөнкүдөй көрсөтүлөт: ≤15 мкм.

 

2. Жаа — Жаа

081e298fdd6abf4be6f882cfbb704f12

Пластинанын бетинин борбордук чекитинен эталондук тегиздикке чейинки минималдуу жана максималдуу аралыктын ортосундагы четтөө, пластина эркин (кысылбаган) абалда болгондо. Буга оюк (терс жаа) жана томпок (оң жаа) учурлар кирет. Ал, адатта, микрометрлер менен (μм) көрсөтүлөт, көбүнчө төмөнкүдөй көрсөтүлөт: ≤40 μм.

 

3. Warp — WARP

e3c709bbb4ed2b11345e6a942df24fa4

Пластинанын бетинен эталондук тегиздикке (адатта, пластинанын арткы бетине) чейинки минималдуу жана максималдуу аралыктын ортосундагы четтөө, пластина эркин (кысылбаган) абалда болгондо. Буга оюк (терс ийрилик) жана томпок (оң ийрилик) учурлар кирет. Ал, адатта, микрометрлер менен (μм) көрсөтүлөт, көбүнчө төмөнкүдөй көрсөтүлөт: ≤30 μм.

 

4. Көрсөтүлгөн жалпы көрсөткүч — TIR

8923bc5c7306657c1df01ff3ccffe6b4

 

Пластинанын бетинде сапат аймагынын же көрсөтүлгөн жергиликтүү аймактын ичиндеги бардык чекиттердин кесилишинин суммасын минималдаштырган эталондук тегиздик колдонулуп, пластина кысылып жана тыгыз байланышта болгондо, TIR - бул пластинанын бетинен ушул эталондук тегиздикке чейинки максималдуу жана минималдуу аралыктардын ортосундагы четтөө.

 

TTV, BOW, WARP жана TIR сыяктуу жарым өткөргүч материалдардын мүнөздөмөлөрү боюнча терең тажрыйбага негизделген XKH катуу тармактык стандарттарга ылайыкташтырылган тактык менен жасалган пластиналарды иштетүү кызматтарын көрсөтөт. Биз сапфир, кремний карбиди (SiC), кремний пластиналары, SOI жана кварц сыяктуу жогорку өндүрүмдүү материалдардын кеңири түрүн жеткирип жана колдойбуз, оптоэлектроника, электр шаймандары жана MEMS жаатындагы өнүккөн колдонмолор үчүн өзгөчө тегиздикти, калыңдыктын консистенциясын жана беттин сапатын камсыздайбыз. Эң талаптуу дизайн талаптарыңызга жооп берген ишенимдүү материалдык чечимдерди жана так иштетүүнү бизге ишениңиз.

 

https://www.xkh-semitech.com/single-crystal-silicon-wafer-si-substrate-type-np-optional-silicon-carbide-wafer-product/

 


Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 29-августу