SiC кремний карбидиаппарат чийки зат катары кремний карбидинен жасалган аппаратты билдирет.
ар кандай каршылык касиеттери боюнча, ал өткөргүч кремний карбид күч түзмөктөр жана бөлүнөтжарым изоляцияланган кремний карбидиRF түзмөктөр.
Кремний карбидинин негизги түзүлүштөрү жана колдонулушу
SiC негизги артыкчылыктарыСи материалдартөмөнкүлөр:
SiC тилкеси Si караганда 3 эсе көп, ал агып кетүүнү азайтып, температуранын толеранттуулугун жогорулатат.
SiC Si дан 10 эсе көп бузулуу талаасынын күчү бар, токтун тыгыздыгын, иштөө жыштыгын жакшыртат, чыңалуунун кубаттуулугуна туруштук бере алат жана жогорку чыңалуудагы колдонмолор үчүн ылайыктуураак.
SiC электрондук каныккан drift ылдамдыгы Si эки эсе жогору, ошондуктан ал жогорку жыштыкта иштей алат.
SiC жылуулук өткөргүчтүгү Siден 3 эсе жогору, жылуулукту таркатууну жакшыраак аткарат, жогорку кубаттуулуктун тыгыздыгын колдоого алат жана жылуулукту таркатууга болгон талаптарды азайтып, аппаратты жеңилирээк кылат.
Өткөргүч субстрат
Өткөргүч субстрат: Кристаллдын ички жогорку каршылыгына жетүү үчүн кристаллдагы ар кандай аралашмаларды, өзгөчө тайыз деңгээлдеги кирлерди жок кылуу менен.
Өткөргүчкремний карбид субстратSiC вафли
Өткөргүч кремний карбиддик электр аппараты өткөргүч субстраттагы кремний карбидинин эпитаксиалдык катмарынын өсүшү аркылуу, кремний карбидинин эпитаксиалдык барактары андан ары кайра иштетилет, анын ичинде Schottky диоддорун өндүрүү, MOSFET, IGBT ж. генерация, темир жол транзити, маалымат борбору, заряддоо жана башка инфраструктура. Иштин артыкчылыктары төмөнкүдөй:
Жакшыртылган жогорку басым өзгөчөлүктөрү. Кремний карбидинин бузулуу электр талаасынын күчү кремнийдикинен 10 эседен ашат, бул кремний карбидинин аппараттарынын жогорку басымга туруктуулугун эквиваленттүү кремний аппараттарына караганда бир кыйла жогору кылат.
Жакшыраак жогорку температура мүнөздөмөлөрү. Кремний карбиди кремнийге караганда жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ, бул аппараттын жылуулуктун таралышын жеңилдетет жана чектүү иштөө температурасын жогору кылат. Терминал жеңилирээк жана кичирейтилген болушу үчүн, муздатуу системасына талаптарды азайтып, жогорку температурага каршылык кубаттуулуктун тыгыздыгынын олуттуу өсүшүнө алып келиши мүмкүн.
Төмөн энергия керектөө. ① Кремний карбид аппараты өтө төмөн каршылыкка жана аз жоготууга ээ; (2) Кремний карбидинин аппараттарынын агып чыгуу агымы кремний аппараттарына караганда бир кыйла азаят, ошону менен электр энергиясын жоготуу азаят; ③ Кремний карбидинин түзүлүштөрүн өчүрүү процессинде учурдагы калдык кубулушу жок жана коммутация жоготуулары аз, бул практикалык колдонмолордун өтүү жыштыгын бир топ жакшыртат.
Жарым изоляцияланган SiC субстрат
Жарым изоляцияланган SiC субстраты: N-допинг өткөргүч продуктулардын каршылыгын так контролдоо үчүн азот кошулмасынын концентрациясынын, өсүү ылдамдыгынын жана кристаллдын каршылыгынын ортосундагы тиешелүү байланышты калибрлөө аркылуу колдонулат.
Жогорку тазалыктагы жарым изоляциялык субстрат материалы
Жарым изоляцияланган кремний көмүртектүү RF түзмөктөрү андан ары кремний нитридинин эпитаксиалдык барагын даярдоо үчүн жарым изоляцияланган кремний карбидинин субстратында галлий нитридинин эпитаксиалдык катмарын өстүрүү жолу менен жасалат, анын ичинде HEMT жана башка галлий нитридинин RF шаймандары, негизинен 5G коммуникацияларында, транспорттук коммуникацияларда колдонулат. коргонуу колдонмолору, маалыматтарды берүү, аэрокосмостук.
Кремний карбиди жана галлий нитридинин материалдарынын каныккан электрон дрейф ылдамдыгы кремнийдикине караганда 2,0 жана 2,5 эсеге көп, ошондуктан кремний карбиди жана галлий нитридинин аппараттарынын иштөө жыштыгы салттуу кремний аппараттарына караганда көбүрөөк. Бирок, галлий нитридинин материалы жылуулукка туруктуу эместигинин кемчилигине ээ, ал эми кремний карбиди жакшы жылуулук туруктуулугуна жана жылуулук өткөргүчтүгүнө ээ, бул галлий нитридинин аппараттарынын начар жылуулукка туруктуулугун толуктай алат, ошондуктан өнөр жай субстрат катары жарым изоляцияланган кремний карбиди алат. , жана ган эпитаксиалдык катмар RF түзүлүштөрдү өндүрүү үчүн кремний карбид субстратында өстүрүлөт.
Эгерде укук бузуу болсо, байланышты өчүрүңүз
Посттун убактысы: 2024-жылдын 16-июлуна чейин