Жогорку көлөмдүү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн 12 дюймдук сапфир пластинасы

Жогорку көлөмдөгү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн 12 дюймдук сапфир пластинасы. Сунушталган сүрөт.

Кыскача сүрөттөмө:

12 дюймдук сапфир пластинасы чоң аянттагы, жогорку өндүрүмдүүлүктөгү жарым өткөргүчтөрдү жана оптоэлектрондук өндүрүштөргө өсүп жаткан суроо-талапты канааттандыруу үчүн иштелип чыккан. Түзмөктөрдүн архитектурасы масштабдалып, өндүрүш линиялары чоңураак пластина форматтарына өткөн сайын, өтө чоң диаметрдеги сапфир субстраттары өндүрүмдүүлүктө, түшүмдүүлүктү оптималдаштырууда жана чыгымдарды көзөмөлдөөдө айкын артыкчылыктарды сунуштайт.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

12 дюймдук сапфир пластинасынын кириш сөзү

Жогорку тазалыктагы монокристалл Al₂O₃дон жасалган биздин 12 дюймдук сапфир пластиналары эң сонун механикалык бекемдикти, жылуулук туруктуулугун жана беттик сапатын айкалыштырат. Кристаллдын оптималдаштырылган өсүшү жана пластинаны так иштетүү аркылуу бул субстраттар өнүккөн LED, GaN жана атайын жарым өткөргүч колдонмолор үчүн ишенимдүү иштөөнү камсыз кылат.

Материалдык мүнөздөмөлөр

Сапфир (бир кристаллдуу алюминий кычкылы, Al₂O₃) өзүнүн мыкты физикалык жана химиялык касиеттери менен белгилүү. 12 дюймдук сапфир пластиналары сапфир материалынын бардык артыкчылыктарын мурастап, бир топ чоңураак колдонулуучу беттик аянтты камсыз кылат.

Негизги материалдык мүнөздөмөлөрүнө төмөнкүлөр кирет:

Өтө жогорку катуулук жана эскирүүгө туруктуулук
Мыкты жылуулук туруктуулугу жана жогорку эрүү температурасы
кислоталарга жана щелочторго жогорку химиялык туруктуулук
Ультрафиолеттен инфракызыл толкун узундуктарына чейинки жогорку оптикалык тунуктук
Мыкты электрдик изоляциялык касиеттери

Бул мүнөздөмөлөр 12 дюймдук сапфир пластиналарын катаал иштетүү чөйрөлөрүнө жана жогорку температурадагы жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстерине ылайыктуу кылат.

Өндүрүш процесси

12 дюймдук сапфир пластиналарын өндүрүү үчүн өнүккөн кристалл өстүрүү жана өтө так иштетүү технологияларын талап кылат. Типтүү өндүрүш процесси төмөнкүлөрдү камтыйт:

Бир кристаллдык өсүш
Жогорку тазалыктагы сапфир кристаллдары KY же башка чоң диаметрдеги кристаллдарды өстүрүү технологиялары сыяктуу алдыңкы ыкмаларды колдонуу менен өстүрүлөт, бул кристаллдын бирдей багытын жана ички чыңалуунун төмөндүгүн камсыз кылат.
Кристаллдарды формага келтирүү жана кесүү
Сапфир куймасы так формага келтирилип, жер астындагы зыянды минималдаштыруу үчүн жогорку тактыктагы кесүүчү жабдууларды колдонуу менен 12 дюймдук пластиналарга кесилген.
Шпаклдоо жана жылтыратуу
Беттин бүдүрлүүлүгүнө, тегиздигине жана калыңдыгынын бирдейлигине эң сонун жетүү үчүн көп баскычтуу шлифовка жана химиялык механикалык жылтыратуу (ХМЖ) процесстери колдонулат.
Тазалоо жана текшерүү
Ар бир 12 дюймдук сапфир пластинасы кылдат тазалоодон жана бетинин сапатын, TTV, жаа, ийри жана кемчиликтерди талдоону камтыган катуу текшерүүдөн өтөт.

Колдонмолор

12 дюймдук сапфир пластиналары өнүккөн жана жаңы технологияларда кеңири колдонулат, анын ичинде:

Жогорку кубаттуулуктагы жана жогорку жарыктыктагы LED субстраттары
GaN негизиндеги кубат берүүчү түзүлүштөр жана RF түзүлүштөрү
Жарым өткөргүч жабдууларды алып жүрүүчү жана изоляциялоочу субстраттар
Оптикалык терезелер жана чоң аянттагы оптикалык компоненттер
Өркүндөтүлгөн жарым өткөргүч таңгактоо жана атайын процесстик алып жүрүүчүлөр

Чоң диаметр массалык өндүрүштө жогорку өндүрүмдүүлүккө жана чыгымдардын натыйжалуулугун жогорулатууга мүмкүндүк берет.

12 дюймдук сапфир вафлилеринин артыкчылыктары

Ар бир пластина үчүн түзмөктүн жогорку өндүрүмдүүлүгү үчүн чоңураак колдонулуучу аянт
Процесстин ырааттуулугун жана бирдейлигин жакшыртуу
Жогорку көлөмдүү өндүрүштө ар бир түзмөк үчүн чыгымдын азайышы
Чоң өлчөмдөгү иштетүү үчүн эң сонун механикалык күч
Ар кандай колдонмолор үчүн ыңгайлаштырылуучу мүнөздөмөлөр

Ыңгайлаштыруу параметрлери

Биз 12 дюймдук сапфир пластиналары үчүн ийкемдүү ыңгайлаштыруу сунуштайбыз, анын ичинде:

Кристаллдын багыты (C-тегиздиги, A-тегиздиги, R-тегиздиги ж.б.)
Калыңдыгы жана диаметри боюнча толеранттуулук
Бир тараптуу же эки тараптуу жылтыратуу
Четки профиль жана фасканын дизайны
Беттин оройлугуна жана тегиздигине талаптар

Параметр	Техникалык мүнөздөмө	Эскертүүлөр
Вафли диаметри	12 дюйм (300 мм)	Стандарттуу чоң диаметрдеги пластина
Материал	Монокристаллдуу сапфир (Al₂O₃)	Жогорку тазалыктагы, электрондук/оптикалык класстагы
Кристаллдын багыты	C-тегиздиги (0001), A-тегиздиги (11-20), R-тегиздиги (1-102)	Кошумча багыттар бар
Калыңдыгы	430–500 мкм	Жекече калыңдыгы суроо-талап боюнча жеткиликтүү
Калыңдыкка чыдамдуулук	±10 мкм	Өркүндөтүлгөн түзмөктөр үчүн катуу чыдамдуулук
Жалпы калыңдыктын өзгөрүшү (TTV)	≤10 мкм	Вафли боюнча бирдей иштетүүнү камсыз кылат
Жаа	≤50 мкм	Бүтүндөй пластина боюнча өлчөнгөн
Верп	≤50 мкм	Бүтүндөй пластина боюнча өлчөнгөн
Беттик жасалгалоо	Бир тараптуу жылтыратылган (SSP) / Эки тараптуу жылтыратылган (DSP)	Жогорку оптикалык сапаттагы бет
Беттин оройлугу (Ra)	≤0,5 нм (жылтыратылган)	Эпитаксиалдык өсүү үчүн атомдук деңгээлдеги жылмакайлык
Чет профили	Фаза / тегеректелген чети	Колдонуу учурунда чийилип калбашы үчүн
Багыттоо тактыгы	±0,5°	Эпитаксиалдык катмардын туура өсүшүн камсыздайт
Кемчиликтин тыгыздыгы	<10 см⁻²	Оптикалык текшерүү менен өлчөнгөн
Тегиздик	≤2 мкм / 100 мм	Литографиянын жана эпитаксиалдык өсүштүн бирдейлигин камсыз кылат
Тазалык	100-класс – 1000-класс	Таза бөлмөгө шайкеш келет
Оптикалык берүү	>85% (Ультрафиолет–Инфракызыл)	Толкун узундугуна жана калыңдыгына жараша болот

12 дюймдук сапфир вафлиси жөнүндө көп берилүүчү суроолор

С1: 12 дюймдук сапфир пластинасынын стандарттуу калыңдыгы канча?
A: Стандарттык калыңдыгы 430 мкмден 500 мкмге чейин. Кардарлардын талаптарына ылайык жекече калыңдыктарды да чыгарса болот.

С2: 12 дюймдук сапфир пластиналары үчүн кандай кристаллдык багыттар бар?
A: Биз C-тегиздик (0001), A-тегиздик (11-20) жана R-тегиздик (1-102) багыттарын сунуштайбыз. Башка багыттарды түзмөктүн белгилүү бир талаптарына жараша ыңгайлаштырса болот.

С3: Пластинанын жалпы калыңдыгынын өзгөрүшү (TTV) канча?
A: Биздин 12 дюймдук сапфир пластиналарыбыз, адатта, TTV ≤10 мкм өлчөмүнө ээ, бул жогорку сапаттагы түзүлүштөрдү жасоо үчүн пластинанын бүт бетинде бирдейликти камсыз кылат.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.