6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si курама субстратынын калыңдыгы 0,3-50 мкм Si/SiC/Саффир материалдары

Кыскача сүрөттөмө:

6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстраты – бул монокристаллдык литий ниобатынын (LN) жука пленкаларын кремний (Si) субстраттары менен бириктирген жогорку өндүрүмдүү материал, анын калыңдыгы 0,3 мкмден 50 мкмге чейин. Ал өнүккөн жарым өткөргүчтөрдү жана оптоэлектрондук түзүлүштөрдү жасоо үчүн иштелип чыккан. Өркүндөтүлгөн байланыштыруу же эпитаксиалдык өстүрүү ыкмаларын колдонуу менен, бул субстрат өндүрүштүн натыйжалуулугун жана чыгымдардын натыйжалуулугун жогорулатуу үчүн кремний субстратынын чоң пластина өлчөмүн (6 дюймдан 8 дюймга чейин) колдонуп, LN жука пленкасынын жогорку кристаллдык сапатын камсыз кылат.
Кадимки көлөмдүү LN материалдарына салыштырмалуу, 6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстраты жогорку жылуулук дал келүүсүн жана механикалык туруктуулукту камсыз кылат, бул аны ири масштабдуу пластина деңгээлиндеги иштетүүгө ылайыктуу кылат. Мындан тышкары, SiC же сапфир сыяктуу альтернативдүү негизги материалдарды, анын ичинде жогорку жыштыктагы RF түзмөктөрүн, интеграцияланган фотониканы жана MEMS сенсорлорун, белгилүү бир колдонмо талаптарына жооп берүү үчүн тандоого болот.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Техникалык параметрлер

Изоляторлордогу 0,3-50μm LN/LT
Үстүнкү катмар
Диаметри	6-8 дюйм
Багыттоо	X, Z, Y-42 ж.б.
Материалдар	LT, LN
Калыңдыгы	0.3-50 мкм
Субстрат (Ыңгайлаштырылган)
Материал	Si, SiC, Сапфир, Шпинель, Кварц

Негизги өзгөчөлүктөр

6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстраты өзүнүн уникалдуу материалдык касиеттери жана жөнгө салынуучу параметрлери менен айырмаланып, жарым өткөргүч жана оптоэлектроника тармактарында кеңири колдонулушуна мүмкүндүк берет:

1. Чоң пластина шайкештиги: 6 дюймдан 8 дюймга чейинки пластинанын өлчөмү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү линиялары (мисалы, CMOS процесстери) менен үзгүлтүксүз интеграцияны камсыз кылат, өндүрүш чыгымдарын азайтат жана массалык өндүрүшкө мүмкүндүк берет.

2. Жогорку кристаллдык сапат: Оптималдаштырылган эпитаксиалдык же байланыштыруу ыкмалары LN жука пленкасында төмөн кемчилик тыгыздыгын камсыз кылат, бул аны жогорку өндүрүмдүү оптикалык модуляторлор, беттик акустикалык толкун (SAW) чыпкалары жана башка тактыктагы түзмөктөр үчүн идеалдуу кылат.

3. Жөнгө салынуучу калыңдыгы (0,3–50 мкм): Өтө жука LN катмарлары (<1 мкм) интеграцияланган фотондук чиптер үчүн ылайыктуу, ал эми калыңыраак катмарлар (10–50 мкм) жогорку кубаттуулуктагы RF түзмөктөрүн же пьезоэлектрдик сенсорлорду колдойт.

4. Көптөгөн субстрат варианттары: Siден тышкары, жогорку жыштыктагы, жогорку температурадагы же жогорку кубаттуулуктагы колдонмолордун талаптарын канааттандыруу үчүн негизги материалдар катары SiC (жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү) же сапфир (жогорку изоляция) тандалышы мүмкүн.

5. Жылуулук жана механикалык туруктуулук: Кремний негизи бекем механикалык колдоону камсыз кылат, иштетүү учурунда ийрилүү же жарака кетүүлөрдү азайтат жана түзмөктүн өндүрүмдүүлүгүн жогорулатат.

Бул өзгөчөлүктөр 6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстратын 5G байланышы, LiDAR жана кванттык оптика сыяктуу алдыңкы технологиялар үчүн артыкчылыктуу материал катары көрсөтөт.

Негизги колдонмолор

6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстраты өзүнүн өзгөчө электро-оптикалык, пьезоэлектрдик жана акустикалык касиеттеринен улам жогорку технологиялуу тармактарда кеңири колдонулат:

1. Оптикалык байланыш жана интеграцияланган фотоника: маалымат борборлорунун жана була-оптикалык тармактардын өткөрүү жөндөмдүүлүгүнө болгон талаптарды канааттандыруу менен жогорку ылдамдыктагы электро-оптикалык модуляторлорду, толкун өткөргүчтөрдү жана фотондук интегралдык схемаларды (PIC) иштетүүгө мүмкүндүк берет.

2.5G/6G RF түзмөктөрү: LN жогорку пьезоэлектрдик коэффициенти аны беттик акустикалык толкун (SAW) жана көлөмдүк акустикалык толкун (BAW) чыпкалары үчүн идеалдуу кылат, 5G базалык станцияларында жана мобилдик түзмөктөрдө сигналдарды иштетүүнү жакшыртат.

3. MEMS жана сенсорлор: LN-on-Si пьезоэлектрдик эффектиси медициналык жана өнөр жайлык колдонмолор үчүн жогорку сезгичтиктеги акселерометрлерди, биосенсорлорду жана ультраүн өзгөрткүчтөрдү колдонууга мүмкүндүк берет.

4. Кванттык технологиялар: Сызыктуу эмес оптикалык материал катары LN жука пленкалары кванттык жарык булактарында (мисалы, чырмалышкан фотон жуптарында) жана интеграцияланган кванттык чиптерде колдонулат.

5. Лазерлер жана сызыктуу эмес оптика: Өтө жука LN катмарлары лазердик иштетүү жана спектроскопиялык анализ үчүн натыйжалуу экинчи гармоникалык генерация (SHG) жана оптикалык параметрдик термелүү (OPO) түзмөктөрүн иштетүүгө мүмкүндүк берет.

Стандартташтырылган 6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстраты бул түзмөктөрдү ири масштабдуу пластина фабрикаларында өндүрүүгө мүмкүндүк берет, бул өндүрүш чыгымдарын бир топ азайтат.

Ыңгайлаштыруу жана кызматтар

Биз ар кандай изилдөө жана иштеп чыгуу муктаждыктарын канааттандыруу үчүн 6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстраты үчүн комплекстүү техникалык колдоо жана ыңгайлаштыруу кызматтарын көрсөтөбүз:

1. Жекече жасоо: LN пленкасынын калыңдыгы (0,3–50 мкм), кристаллдын багыты (X-кесүү/Y-кесүү) жана субстрат материалы (Si/SiC/сапфир) түзмөктүн иштешин оптималдаштыруу үчүн ылайыкташтырылышы мүмкүн.

2. Вафли деңгээлиндеги иштетүү: 6 дюймдук жана 8 дюймдук вафлилерди көп санда жеткирүү, анын ичинде майдалоо, жылтыратуу жана каптоо сыяктуу арткы кызматтар, бул негиздердин түзмөктү интеграциялоого даяр экендигин камсыз кылат.

3. Техникалык консультация жана сыноо: Материалдык мүнөздөмөлөрдү аныктоо (мисалы, XRD, AFM), электро-оптикалык иштөөсүн текшерүү жана долбоорду текшерүүнү тездетүү үчүн түзмөктү симуляциялоону колдоо.

Биздин миссиябыз - оптоэлектрондук жана жарым өткөргүч колдонмолор үчүн негизги материалдык чечим катары 6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстратын түзүү, изилдөө жана иштеп чыгуудан баштап массалык өндүрүшкө чейин комплекстүү колдоо көрсөтүү.

Жыйынтык

6 дюймдан 8 дюймга чейинки LN-on-Si композиттик субстраты, чоң пластина өлчөмү, жогорку сапаттагы материалы жана ар тараптуулугу менен, оптикалык байланыш, 5G RF жана кванттык технологиялар жаатындагы жетишкендиктерди шарттап жатат. Жогорку көлөмдөгү өндүрүш же жекече чечимдер үчүн болобу, биз технологиялык инновацияларды күчөтүү үчүн ишенимдүү субстраттарды жана кошумча кызматтарды көрсөтөбүз.