8 дюймдук SiC өндүрүштүк класстагы пластинка 4H-N SiC субстраты
Төмөнкү таблицада 8 дюймдук SiC пластиналарыбыздын мүнөздөмөлөрү көрсөтүлгөн:
| 8 дюймдук N-түрү SiC DSP Specs | |||||
| Сан | пункт | бирдиги | Өндүрүш | Изилдөө | Dummy |
| 1:параметрлер | |||||
| 1.1 | политип | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | беттик багыт | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Электрдик параметр | |||||
| 2.1 | допант | -- | n тибиндеги азот | n тибиндеги азот | n тибиндеги азот |
| 2.2 | каршылык | ом ·см | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Механикалык параметр | |||||
| 3.1 | диаметри | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | калыңдыгы | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Чениктин багыты | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Чентик тереңдиги | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | LTV | мкм | ≤5(10мм*10мм) | ≤5(10мм*10мм) | ≤10(10мм*10мм) |
| 3.6 | TTV | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Жаа | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Warp | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Структура | |||||
| 4.1 | микротрубанын тыгыздыгы | э/см2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | металл мазмуну | атом/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | э/см2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | э/см2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | э/см2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.Front сапаты | |||||
| 5.1 | алдыңкы | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | беттик бүтүрүү | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | бөлүкчө | ea/wafer | ≤100(өлчөм≥0,3мкм) | NA | NA |
| 5.4 | чийүү | ea/wafer | ≤5, Жалпы узундугу≤200мм | NA | NA |
| 5.5 | Edge чиптер/чыгымдар/жарыктар/тактар/булгануу | -- | Жок | Жок | NA |
| 5.6 | Политип аймактары | -- | Жок | Аянты ≤10% | Аянты ≤30% |
| 5.7 | алдыңкы белгилөө | -- | Жок | Жок | Жок |
| 6: Артка сапат | |||||
| 6.1 | арткы бүтүрүү | -- | С-жүздүү депутат | С-жүздүү депутат | С-жүздүү депутат |
| 6.2 | чийүү | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Арткы кемчиликтер чети чиптер/чыгымдар | -- | Жок | Жок | NA |
| 6.4 | Артка оройлук | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Артка белгилөө | -- | Ноч | Ноч | Ноч |
| 7: чет | |||||
| 7.1 | чети | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8: Пакет | |||||
| 8.1 | таңгактоо | -- | Вакуум менен эпи-даяр таңгактоо | Вакуум менен эпи-даяр таңгактоо | Вакуум менен эпи-даяр таңгактоо |
| 8.2 | таңгактоо | -- | Мульти-вафель кассеталык таңгак | Мульти-вафель кассеталык таңгак | Мульти-вафель кассеталык таңгак |
Толук диаграмма
Related Products
Бул жерге билдирүүңүздү жазып, бизге жөнөтүңүз