Жарым өткөргүчтөр, фотоника оптикалык колдонмолору үчүн жогорку тазалыктагы эритилген кварц пластиналары 2″4″6″8″12″

Кыскача сүрөттөмө:

Эритилген кварц— ошондой эле белгилүүЭритилген кремний оксиди— бул кремний диоксидинин (SiO₂) кристаллдык эмес (аморфтук) формасы. Боросиликаттан же башка өнөр жай айнектеринен айырмаланып, эритилген кварцтын курамында кошулмалар же кошумчалар жок, бул SiO₂нын химиялык жактан таза курамын камсыз кылат. Ал салттуу айнек материалдарынан ашып түшкөн ультрафиолет (УФ) жана инфракызыл (ИК) спектрлер боюнча өзгөчө оптикалык өткөрүмдүүлүгү менен белгилүү.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Эритилген кремний жана оптикалык кварц айнек пластиналары-2

кошулган_кварц_вафлиси_4 дюймдук_ кошулган_кремний_вафлиси_

Кварц айнегине сереп

Кварц пластиналары бүгүнкү күндөгү санарип дүйнөсүн башкарган сансыз заманбап түзмөктөрдүн негизин түзөт. Смартфонуңуздагы навигациядан баштап 5G базалык станцияларынын негизине чейин, кварц жогорку өндүрүмдүү электроникада жана фотоникада талап кылынган туруктуулукту, тазалыкты жана тактыкты тынч камсыз кылат. Ийкемдүү схемаларды колдоо, MEMS сенсорлорун иштетүү же кванттык эсептөөнүн негизин түзүү болобу, кварцтын уникалдуу мүнөздөмөлөрү аны тармактарда алмаштыргыс кылат.

"Эриген кремний" же "Эриген кварц", бул кварцтын (SiO2) аморфтук фазасы. Боросиликат айнеги менен салыштырганда, эриген кремнийдин эч кандай кошулмалары жок; ошондуктан ал таза түрүндө, SiO2де бар. Эриген кремний кадимки айнекке салыштырмалуу инфракызыл жана ультрафиолет спектринде жогорку өткөрүмдүүлүккө ээ. Эриген кремний өтө таза SiO2 эритүү жана кайра катуулоо жолу менен алынат. Ал эми синтетикалык эриген кремний SiCl4 сыяктуу кремнийге бай химиялык прекурсорлордон жасалат, алар газдаштырылып, андан кийин H2 + O2 атмосферасында кычкылданат. Бул учурда пайда болгон SiO2 чаңы субстраттагы кремнийге эрийт. Эриген кремний блоктору пластиналарга кесилет, андан кийин пластиналар акыры жылмаланат.

Эритилген кремний жана оптикалык кварц айнек пластиналары

Кварц айнек пластинасынын негизги өзгөчөлүктөрү жана артыкчылыктары

Өтө жогорку тазалык (≥99.99% SiO2)
Материалдык булганууну минималдаштыруу керек болгон өтө таза жарым өткөргүч жана фотоникалык процесстер үчүн идеалдуу.
Кең жылуулук иштөө диапазону
Криогендик температурадан 1100°C жогору болгонго чейин структуралык бүтүндүктү кыйшайбастан же бузулбастан сактайт.
Ультрафиолет жана инфракызыл нурлардын мыкты өткөрүмдүүлүгү
Терең ультрафиолет (DUV) нурларынан жакын инфракызыл нурларга (NIR) чейин эң сонун оптикалык тунуктукту камсыз кылат, бул так оптикалык колдонмолорду колдойт.
Төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти
Температуранын өзгөрүшүндө өлчөмдүү туруктуулукту жогорулатат, чыңалууну азайтат жана процесстин ишенимдүүлүгүн жогорулатат.
Жогорку химиялык туруктуулук
Көпчүлүк кислоталарга, щелочторго жана эриткичтерге инерттүү — бул аны химиялык агрессивдүү чөйрөлөргө жакшы ылайыктуу кылат.
Беттин ийкемдүүлүгү
Фотоника жана MEMS талаптарына шайкеш келген, өтө жылмакай, бир тараптуу же эки тараптуу жылмаланган каптоолор менен жеткиликтүү.

Кварц айнек пластинасын өндүрүү процесси

Эритилген кварц пластиналары бир катар көзөмөлдөнгөн жана так кадамдар аркылуу өндүрүлөт:

Чийки затты тандоо
Жогорку тазалыктагы табигый кварц же синтетикалык SiO₂ булактарын тандоо.
Эрүү жана биригүү
Кварц кошулмаларды жана көбүкчөлөрдү жок кылуу үчүн көзөмөлдөнгөн атмосферада электр мештеринде ~2000°C температурада эритилет.
Блок түзүү
Эриген кремний кычкылы катуу блокторго же куймаларга муздатылат.
Вафли кесүү
Куймаларды пластина бланктарына кесүү үчүн так алмаз же зым араалар колдонулат.
Шпаклдоо жана жылтыратуу
Эки бет тең оптикалык, калыңдык жана оройлук мүнөздөмөлөрүнө так жооп берүү үчүн тегизделген жана жылтыратылган.
Тазалоо жана текшерүү
Пластиналар ISO 100/1000 классындагы таза бөлмөлөрдө тазаланат жана кемчиликтерди жана өлчөмдөрдүн шайкештигин текшерүү үчүн катуу текшерүүдөн өтөт.

Кварц айнек пластинасынын касиеттери

спецификация	бирдик	4"	6"	8"	10"	12"
Диаметри / өлчөмү (же чарчы)	mm	100	150	200	250	300
Толеранттуулук (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
Калыңдыгы	mm	0,10 же андан көп	0,30 же андан көп	0,40 же андан көп	0,50 же андан көп	0,50 же андан көп
Негизги шилтеме жалпак	mm	32.5	57.5	Жарым оюк	Жарым оюк	Жарым оюк
LTV (5мм×5мм)	мкм	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5
TTV	мкм	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Жаа	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Верп	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5мм×5мм) < 0.4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Четтерди тегеректөө	mm	SEMI M1.2 стандартына шайкеш келет / IEC62276 караңыз
Беттин түрү		Бир тарабы жылтыратылган / Эки тарабы жылтыратылган
Жылтыратылган каптал Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Арткы жактын критерийлери	мкм	жалпы 0.2-0.7 же ылайыкташтырылган

Кварц жана башка тунук материалдар

Мүлк	Кварц айнеги	Боросиликат айнеги	Сапфир	Стандарттуу айнек
Максималдуу иштөө температурасы	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Ультрафиолет өткөрүмдүүлүгү	Эң сонун (JGS1)	Начар	Жакшы	Өтө начар
Химиялык каршылык	Эң сонун	Орточо	Эң сонун	Начар
Тазалык	Өтө жогору	Төмөндөн орточого чейин	Жогорку	Төмөн
Термикалык кеңейүү	Өтө төмөн	Орточо	Төмөн	Жогорку
Баасы	Орточодон жогоруга чейин	Төмөн	Жогорку	Өтө төмөн

Кварц айнек пластинасы боюнча көп берилүүчү суроолор

С1: Эритилген кварц менен эритилген кремнийдин ортосунда кандай айырма бар?
Экөө тең SiO₂нын аморфтук формалары болгону менен, эритилген кварц, адатта, табигый кварц булактарынан келип чыгат, ал эми эритилген кремний синтетикалык жол менен өндүрүлөт. Функционалдык жактан алар окшош көрсөткүчтөргө ээ, бирок эритилген кремнийдин тазалыгы жана бир тектүүлүгү бир аз жогору болушу мүмкүн.

С2: Эритилген кварц пластиналарын жогорку вакуумдук чөйрөдө колдонсо болобу?
Ооба. Газ бөлүп чыгаруу касиеттери төмөн жана жылуулукка туруктуулугу жогору болгондуктан, эритилген кварц пластиналары вакуумдук системалар жана аэрокосмостук колдонмолор үчүн эң сонун.

С3: Бул пластиналар терең ультрафиолет лазердик колдонмолор үчүн ылайыктуубу?
Албетте. Эритилген кварцтын жогорку өткөрүмдүүлүгү ~185 нмге чейин, бул аны DUV оптикасы, литографиялык маскалар жана эксимердик лазер системалары үчүн идеалдуу кылат.

С4: Сиз пластина жасоону заказ боюнча колдойсузбу?
Ооба. Биз сиздин колдонуу талаптарыңызга жараша диаметри, калыңдыгы, бетинин сапаты, тегиздиктери/оюктары жана лазердик үлгүлөрдү камтыган толук ыңгайлаштыруу кызматтарын сунуштайбыз.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.

Кайра иштетүү үчүн сапфир вафлисинин бош жогорку тазалыктагы чийки сапфир субстраты 5