5G/6G байланышы үчүн LiTaO3 пластинасы 2 дюймдан 8 дюймга чейин 10x10x0.5 мм 1sp 2sp
Техникалык параметрлер
| Аты | Оптикалык класстагы LiTaO3 | Үн деңгээлинин таблицасы LiTaO3 |
| Октук | Z кесүү + / - 0.2 ° | 36 ° Y кесүү / 42 ° Y кесүү / X кесүү (+ / - 0,2 °) |
| Диаметри | 76.2 мм + / - 0.3 мм/ 100±0.2мм | 76.2 мм + /-0.3 мм 100 мм + /-0.3 мм 0р 150±0.5 мм |
| Датум тегиздиги | 22 мм + / - 2 мм | 22 мм + /-2 мм 32 мм + /-2 мм |
| Калыңдыгы | 500 мкм + /-5 мм 1000 мкм + /-5 мм | 500 мкм + /-20 мм 350 мкм + /-20 мм |
| TTV | ≤ 10 мкм | ≤ 10 мкм |
| Кюри температурасы | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA ыкмасы) | 605 °C + / -3 °C (DTA ыкмасы |
| Беттин сапаты | Эки тараптуу жылтыратуу | Эки тараптуу жылтыратуу |
| Кесилген четтери | четин тегеректөө | четин тегеректөө |
Негизги мүнөздөмөлөр
1. Электрдик жана оптикалык көрсөткүчтөр
· Электро-оптикалык коэффициент: r33 30 pm/V (X-кесүү) жетет, бул LiNbO3кө караганда 1,5 эсе жогору, бул өтө кең тилкелүү электро-оптикалык модуляцияны (>40 ГГц өткөрүү жөндөмдүүлүгү) камсыз кылат.
· Кең спектрдик жооп: Өткөрүү диапазону 0,4–5,0 мкм (калыңдыгы 8 мм), ультрафиолет нурларын жутуу чети 280 нмге чейин, ультрафиолет лазерлери жана кванттык чекиттүү түзүлүштөр үчүн идеалдуу.
· Төмөн пироэлектрдик коэффициент: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(м²·K), жогорку температурадагы инфракызыл сенсорлордо туруктуулукту камсыз кылат.
2. Жылуулук жана механикалык касиеттер
· Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү: 4,6 Вт/м·К (X-кесүү), кварцтыкынан төрт эсе көп, -200–500°C жылуулук циклин сактайт.
· Төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), жылуулук чыңалуусун минималдаштыруу үчүн кремний таңгагы менен шайкеш келет.
3. Кемчиликтерди көзөмөлдөө жана иштетүүнүн тактыгы
· Микротүтүктөрдүн тыгыздыгы: <0.1 см⁻² (8 дюймдук пластиналар), дислокациянын тыгыздыгы <500 см⁻² (KOH гравюрасы аркылуу текшерилген).
· Беттин сапаты: Ra <0,5 нмге чейин CMP менен жылтыратылган, EUV литографиялык даражадагы тегиздик талаптарына жооп берет.
Негизги колдонмолор
| Домен | Колдонмо сценарийлери | Техникалык артыкчылыктар |
| Оптикалык байланыш | 100G/400G DWDM лазерлери, кремний фотоникасынын гибриддик модулдары | LiTaO3 пластинасынын кең спектрдик өткөрүмдүүлүгү жана толкун өткөргүчтүн төмөн жоготуусу (α <0,1 дБ/см2) С-диапазонунун кеңейишине мүмкүндүк берет. |
| 5G/6G байланышы | SAW чыпкалары (1,8–3,5 ГГц), BAW-SMR чыпкалары | 42°Y кесилген пластиналар Kt² >15%га жетишет, бул төмөнкү киргизүү жоготуусун (<1,5 дБ) жана жогорку тоголонууну (>30 дБ) камсыз кылат. |
| Кванттык технологиялар | Бир фотондук детекторлор, параметрдик төмөндөөчү конверсия булактары | Жогорку сызыктуу эмес коэффициент (χ(2)=40 pm/V) жана караңгы эсептөө ылдамдыгынын төмөндүгү (<100 эсептөө/сек) кванттык тактыкты жогорулатат. |
| Өнөр жайлык сенсор | Жогорку температурадагы басым сенсорлору, ток трансформаторлору | LiTaO3 пластинасынын пьезоэлектрдик реакциясы (g33 >20 мВ/м) жана жогорку температурага чыдамдуулугу (>400°C) экстремалдык чөйрөлөргө ылайыктуу. |
XXKH кызматтары
1. Вафли жасоонун заказы боюнча
· Өлчөмү жана кесүү: X/Y/Z кесилген, 42°Y кесилген жана ыңгайлаштырылган бурчтук кесилген 2–8 дюймдук пластиналар (±0,01° чыдамдуулук).
· Допингди көзөмөлдөө: Электроптикалык коэффициенттерди жана жылуулук туруктуулугун оптималдаштыруу үчүн Чохральский ыкмасы аркылуу Fe, Mg кошулмаларын кошуу (концентрация диапазону 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³).
2. Өркүндөтүлгөн процесстик технологиялар
-
· Мезгилдүү полирлөө (PPLT): LTOI пластиналары үчүн Smart-Cut технологиясы, ±10 нм домендик мезгил тактыгына жана квазифазага дал келген (QPM) жыштык конвертациясына жетишет.
· Гетерогендик интеграция: жогорку жыштыктагы SAW чыпкалары үчүн калыңдыгын көзөмөлдөөчү (300–600 нм) жана жылуулук өткөрүмдүүлүгү 8,78 Вт/м·К чейин болгон Si негизиндеги LiTaO3 композиттик пластиналары (POI).
3. Сапатты башкаруу системалары
-
· Башынан аягына чейин текшерүү: Раман спектроскопиясы (политипти текшерүү), XRD (кристаллдуулук), AFM (беттик морфология) жана оптикалык бирдейликти текшерүү (Δn <5×10⁻⁵).
4. Дүйнөлүк жеткирүү чынжырын колдоо
-
· Өндүрүш кубаттуулугу: Ай сайын 5000ден ашык пластина чыгарат (8 дюйм: 70%), 48 сааттын ичинде шашылыш жеткирүү менен.
· Логистикалык тармак: Европада, Түндүк Америкада жана Азия-Тынч океан аймагында аба/деңиз жүк ташуулары аркылуу температура көзөмөлдөнгөн таңгактоо менен камтуу.









