Мазмуну
1. FOUPтин серептөө жана негизги функциялары
2. FOUP структурасы жана дизайн өзгөчөлүктөрү
3. FOUP классификациясы жана колдонуу боюнча көрсөтмөлөрү
4. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө FOUPтин операциялары жана мааниси
5. Техникалык кыйынчылыктар жана келечектеги өнүгүү тенденциялары
6.XKH'тин ылайыкташтырылган чечимдери жана тейлөө кызматы
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде Front Opening Unified Pod (FOUP) пластиналарды коргоо, ташуу жана сактоо үчүн колдонулган маанилүү контейнер болуп саналат. Анын ичине 25 даана 300 мм пластинкаларды жайгаштырууга болот жана анын негизги компоненттери алдыңкы ачылуучу контейнерди жана ачуу жана жабуу үчүн атайын эшиктин рамкасын камтыйт. FOUP 12 дюймдук пластинкалардын ичинде автоматташтырылган транспорт системасындагы негизги ташуучу болуп саналат. Ал, адатта, жабык абалда ташылат жана жабдууларды жүктөө портуна түртүлгөндө гана ачылып, пластинкаларды жабдуунун жүктөө/түшүрүү портуна өткөрүүгө мүмкүндүк берет.
FOUP дизайны микро-чөйрөнүн талаптарына ылайыкташтырылган. Анын арткы жагында пластинка салуу үчүн уячалар бар жана капкак атайын ачкычтын кыскычына дал келүү үчүн иштелип чыккан. Вафли менен иштөөчү роботтор 1-класстагы таза аба чөйрөсүндө иштешет, бул вафлилерди өткөрүү учурунда булганбашын камсыз кылат. Андан тышкары, FOUP автоматташтырылган материалдык иштетүү системасы (AMHS) аркылуу процесс куралдарынын ортосунда жылдырылат. Заманбап вафли фабрикалары көбүнчө ташуу үчүн темир жол системаларын колдонушат, ал эми бир нече эски фабрикалар жердеги автоматташтырылган башкарылган унааларды (AGV) колдонушу мүмкүн.
FOUP автоматташтырылган пластинка которууну гана эмес, сактоо функциясын да аткарат. Көптөгөн өндүрүш кадамдарынан улам, пластинкаларды бүт процесс агымын аяктоо үчүн бир нече ай талап кылынышы мүмкүн. Ай сайын өндүрүлгөн жогорку көлөмдөр менен бирге, бул фабриканын ичиндеги он миңдеген пластиналар дайыма транзитте же каалаган убакта убактылуу сактоодо экенин билдирет. Сактоо учурунда FOUPs мезгил-мезгили менен таза жана ишенимдүү өндүрүш процессин камсыз кылуу, пластинкаларга булгоочу заттардын тийүүсүн алдын алуу үчүн азот менен тазаланат.
1. FOUP функциялары жана мааниси
FOUPтин негизги функциясы пластиналарды тышкы соккудан жана булгануудан коргоо, өзгөчө өткөрүп берүү учурунда түшүмдүүлүккө таасирин тийгизбөө болуп саналат. Ал газды тазалоо жана жергиликтүү атмосфераны көзөмөлдөө (LAC) сыяктуу ыкмалар аркылуу нымдуулуктун алдын алат, вафельдер кийинки өндүрүш кадамын күтүп жатканда коопсуз абалда калышын камсыздайт. Анын мөөр басылган жана башкарылуучу системасы VOCs, кычкылтек жана нымдуулуктун пластинкаларга терс таасирин олуттуу түрдө азайтып, керектүү кошулмаларды жана элементтерди гана киргизүүгө мүмкүндүк берет.
Толугу менен 25 пластинка менен жүктөлгөн FOUP 9 килограммга чейин тарай алгандыктан, аны ташуу Автоматташтырылган Материалды иштетүү системасына (AMHS) таянышы керек. Муну жеңилдетүү үчүн, FOUP бириктирүүчү плиталардын, төөнөгүчтөрдүн жана тешиктердин ар кандай комбинациялары менен иштелип чыккан жана оңой аныктоо жана классификациялоо үчүн RFID электрондук тегдери менен жабдылган. Бул автоматташтырылган иштетүү дээрлик эч кандай кол менен иштөөнү талап кылбайт, каталардын санын бир топ азайтат жана өндүрүш процессинин коопсуздугун жана тактыгын жогорулатат.
2. FOUP түзүмү жана классификациясы
FOUP типтүү өлчөмдөрү болжол менен туурасы 420 мм, тереңдиги 335 мм жана бийиктиги 335 мм. Анын негизги структуралык компоненттери төмөнкүлөрдү камтыйт: үстүнкү көтөргүчтү ташуу үчүн жогорку OHT (козу карын башы); жабдуулар пластинка кирүү үчүн алдыңкы эшик; каптал туткалары, көбүнчө булгануу деңгээли ар кандай процесстик аймактарды айырмалоо үчүн түстүү коддор; билдирүү карталарын жайгаштыруу үчүн карта аймагы; жана FOUP үчүн уникалдуу идентификатор катары кызмат кылган төмөнкү RFID теги, инструменттерге жана көтөргүчтөр аны таанууга мүмкүндүк берет. База ошондой эле шаймандар менен дал келүү жана процесс аймактарын айырмалоо үчүн төрт аныктоо жана жайгаштыруу тешиктери менен жабдылган.
Колдонуу боюнча, FOUPs үч түргө бөлүнөт: PRD (өндүрүш үчүн), ENG (инженердик пластиналар үчүн) жана MON (мониторлор үчүн). PRD FOUPs продуктуларды өндүрүү үчүн колдонулушу мүмкүн, ENG түрлөрү R&D же эксперименттер үчүн ылайыктуу, ал эми MON түрлөрү CMP жана DIFF сыяктуу кадамдар үчүн процесстерге мониторинг жүргүзүү үчүн арналган. Бул PRD FOUPs ENG жана MON максаттары үчүн да колдонулушу мүмкүн экенин белгилей кетүү маанилүү, ал эми ENG түрлөрү MON үчүн колдонулушу мүмкүн, бирок тескери операция сапаттык тобокелдиктерди жаратат.
Булгануу деңгээли боюнча классификацияланган FOUP FE FOUP (алдыңкы процесс, металлсыз), BE FOUP (арткы процесс, металлды камтыйт) жана NI FOUP, CU FOUP жана CO FOUP сыяктуу конкреттүү металл процесстери үчүн адистешкендерге бөлүнөт. Ар кандай процесстер үчүн FOUPs, адатта, каптал туткаларынын же эшик панелдеринин түсү менен айырмаланат. Фронттук процесстерден алынган FOUP'тер арткы процесстерде колдонулушу мүмкүн, бирок арткы FOUP'тар эч качан фронттук процесстерде колдонулбашы керек, анткени бул булгануу коркунучун жаратат.
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө негизги ташуучу катары, FOUP жогорку автоматташтыруу жана булганууну катуу көзөмөлдөө аркылуу өндүрүш процессинде пластинкалардын коопсуздугун жана тазалыгын камсыздайт, бул аны заманбап вафли фабрикаларында алмаштырылгыс инфраструктурага айландырат.
Корутунду
XKH кардарларга өзгөчө процесстик талаптарды жана жабдуулардын интерфейсинин спецификацияларын так сактоо менен, жогорку ылайыкташтырылган Front-Opening Unified Pod (FOUP) чечимдери менен камсыз кылууга умтулат. Өркүндөтүлгөн материалдык технологияларды жана так өндүрүш процесстерин колдонуу менен, биз ар бир FOUP продуктусу өзгөчө герметикалык, тазалык жана механикалык туруктуулукту камсыздайт. Биздин техникалык командабыз тармактык терең тажрыйбага ээ, өмүр циклин комплекстүү колдоону сунуштайт - тандоо боюнча консультациялардан жана структуралык оптималдаштыруудан тазалоого жана тейлөөгө чейин - FOUP жана сиздин автоматташтырылган материалды иштетүү тутумуңуз (AMHS), ошондой эле кайра иштетүүчү жабдуулардын ортосунда үзгүлтүксүз интеграцияны жана натыйжалуу кызматташууну камсыз кылат. Биз ырааттуу түрдө пластинкалардын коопсуздугун жана өндүрүштүн түшүмүн жогорулатууну негизги максаттарыбыз катары биринчи орунга коёбуз. Инновациялык өнүмдөр жана ар тараптуу техникалык кызматтар аркылуу биз жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстериңизге бекем кепилдик беребиз, натыйжада өндүрүштүн натыйжалуулугун жана продукциянын түшүмүн жогорулатабыз.
Посттун убактысы: 08-08-2025