Премиум сапфир көтөргүч төөнөгүчтөрү бир кристаллдуу Al₂O₃ пластина көтөргүч төөнөгүчү

Кыскача сүрөттөмө:

Сапфир көтөргүч төөнөгүчтөрү заманбап микрофабрикация технологияларынын так талаптарын канааттандыруу үчүн өтө жогорку тазалыктагы монокристалл сапфирден (Al₂O₃) жасалган жарым өткөргүчтөрдү иштетүүчү компоненттердеги маанилүү жетишкендикти билдирет. Бул тактык компоненттери жарым өткөргүч түзүлүштөрдү өндүрүүдө, LED эпитаксиалдык өстүрүү системаларында жана пластиналарды иштетүүнүн өнүккөн колдонмолорунда алмаштыргыс болуп калды. Синтетикалык сапфирдин уникалдуу кристаллдык түзүлүшү бул көтөргүч төөнөгүчтөргө эң татаал операциялык чөйрөлөрдө салттуу альтернативалардан ашып түшүүгө мүмкүндүк берген өзгөчө материалдык касиеттерди берет. Алардын өзгөчө жылуулук туруктуулугу өтө жогорку температура градиенттеринде механикалык бүтүндүктү сактайт, ал эми алардын химиялык туруктуулугу агрессивдүү процесстик химиялык заттарга дуушар болгондо ырааттуу иштөөнү камсыз кылат. Бул касиеттердин айкалышы Сапфир көтөргүч төөнөгүчтөрүн нанометрдик деңгээлдеги тактык, булганууну көзөмөлдөө жана процесстин ишенимдүүлүгү эң маанилүү болгон пластиналарды иштетүүнүн маанилүү колдонмолору үчүн артыкчылыктуу чечимге айлантат.


Өзгөчөлүктөрү

Техникалык параметрлер

Химиялык курамы Al2O3
Катуулугу 9Мох
Оптикалык мүнөз Бир октуу
Сынуу көрсөткүчү 1.762-1.770
Бир сынуу 0.008-0.010
Дисперсия Төмөн, 0,018
Жылтырактык Айнек сымал зат
Плеохроизм Орточодон күчтүүгө чейин
Диаметри 0,4 мм-30 мм
Диаметрге чыдамдуулук 0,004 мм-0,05 мм
узундук 2мм-150мм
узундукка чыдамдуулук 0,03 мм-0,25 мм
Беттин сапаты 40/20
Беттин тегеректиги RZ0.05
Ыңгайлаштырылган форма эки учу тегиз, бир учу редиус, эки учу редиус,
ээр төөнөгүчтөрү жана атайын формалар

Негизги өзгөчөлүктөр

1. Өзгөчө катуулук жана эскирүүгө туруктуулук: Мохс боюнча 9 катуулук рейтинги менен, бриллианттан кийинки экинчи орунда турган Sapphire Lift Pins салттуу кремний карбидинен, алюминий оксидинен же металл эритмесинен бир топ ашып түшкөн эскирүү мүнөздөмөлөрүн көрсөтөт. Мындай өтө катуулук бөлүкчөлөрдүн пайда болушун жана техникалык тейлөө талаптарын бир кыйла төмөндөтөт, ал эми кызмат мөөнөтү салыштырмалуу колдонмолордо салттуу материалдарга караганда 3-5 эсе узунураак.

2. Жогорку температурага туруктуулук: 1000°C жогору температурада бузулбай туруктуу иштөөгө туруштук берүү үчүн иштелип чыккан Sapphire Lift Pins эң татаал термикалык процесстерде өлчөмдүү туруктуулукту жана механикалык бекемдикти сактайт. Бул аларды химиялык буу менен чөктүрүү (CVD), металл-органикалык химиялык буу менен чөктүрүү (MOCVD) жана жылуулук кеңейүүсүнүн дал келбестиги процесстин өндүрүмдүүлүгүнө доо кетириши мүмкүн болгон жогорку температурадагы күйгүзүү системалары сыяктуу маанилүү колдонмолор үчүн өзгөчө баалуу кылат.

3. Химиялык инертүүлүк: Монокристаллдык сапфир түзүлүшү HF кислотасынын, хлор негизиндеги химиялык заттардын жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө көп кездешүүчү башка агрессивдүү процесстик газдардын чабуулуна укмуштуудай туруктуулукту көрсөтөт. Бул химиялык туруктуулук плазма чөйрөсүндө ырааттуу иштөөнү камсыз кылат жана пластинанын булганышына алып келиши мүмкүн болгон беттик кемчиликтердин пайда болушуна жол бербейт.

4. Бөлүкчөлөрдүн аз булганышы: Кемчиликсиз, жогорку тазалыктагы сапфир кристаллдарынан жасалган (адатта >99,99%), бул көтөргүч төөнөгүчтөр узак убакыт колдонулгандан кийин да бөлүкчөлөрдүн минималдуу төгүлүшүн көрсөтөт. Алардын тешиксиз беттик түзүлүшү жана жылтыратылган жасалгалары эң катуу таза бөлмө талаптарына жооп берет, бул өнүккөн түйүндүү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө процесстин натыйжалуулугун жогорулатууга түздөн-түз салым кошот.

Жогорку тактыктагы иштетүү: Алмазды майдалоо жана лазердик иштетүүнүн алдыңкы ыкмаларын колдонуу менен, Sapphire Lift Pins субмикрондук чыдамдуулук жана 0,05 мкм Ra төмөн беттик жасалгалоо менен өндүрүлүшү мүмкүн. Кийинки муундагы өндүрүш жабдууларында пластиналарды иштетүүдөгү белгилүү бир көйгөйлөрдү чечүү үчүн конус формасындагы профилдерди, атайын уч конфигурацияларын жана интеграцияланган тегиздөө функцияларын камтыган жекече геометрияларды иштеп чыгууга болот.

Негизги колдонмолор

1. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү: Сапфир көтөргүч төөнөгүчтөрү өнүккөн пластина иштетүү системаларында маанилүү ролду ойнойт, фотолитография, оюу, чөктүрүү жана текшерүү процесстеринде ишенимдүү колдоону жана так позициялоону камсыз кылат. Алардын жылуулук жана химиялык туруктуулугу аларды EUV литография куралдарында жана нанометрдик масштабдагы өлчөмдүү туруктуулук маанилүү болгон өнүккөн таңгактоо колдонмолорунда өзгөчө баалуу кылат.

2.LED эпитаксии (MOCVD): Галлий нитридинде (GaN) жана ага байланыштуу жарым өткөргүч кошулма эпитаксиалдык өсүү системаларында Sapphire Lift Pins көбүнчө 1000°C ашкан температурада пластинанын туруктуу колдоосун камсыз кылат. Алардын сапфир субстраттары менен дал келген жылуулук кеңейүү мүнөздөмөлөрү эпитаксиалдык өсүү процессинде пластинанын ийилишин жана тайгаланышын минималдаштырат.

3. Фотоэлектрдик өнөр жай: Жогорку натыйжалуу күн батареяларын өндүрүү сапфирдин жогорку температурадагы диффузия, бышыруу жана жука пленка менен чөктүрүү процесстериндеги уникалдуу касиеттеринен пайда алат. Төөнөгүчтөрдүн эскирүүгө туруктуулугу, айрыкча, компоненттердин узактыгы өндүрүш чыгымдарына түздөн-түз таасир этүүчү массалык өндүрүш чөйрөлөрүндө баалуу.

4. Так оптика жана электроника менен иштетүү: Жарым өткөргүчтөрдү колдонуудан тышкары, Sapphire Lift Pins назик оптикалык компоненттерди, MEMS түзмөктөрүн жана булгануусуз иштетүү жана чийилүүнүн алдын алуу маанилүү болгон атайын субстраттарды иштетүүдө колдонулат. Алардын электрдик изоляциялык касиеттери аларды электростатикалык сезгич түзмөктөрдү камтыган колдонмолор үчүн идеалдуу кылат.

XKH компаниясынын сапфир көтөргүч төөнөгүчтөрү боюнча кызматтары

XKH Sapphire Lift Pins үчүн ар тараптуу техникалык колдоо жана жекече чечимдерди сунуштайт:

1. Ыңгайлаштырылган иштеп чыгуу кызматтары
· Өлчөмдүү, геометриялык жана беттик иштетүүнү ыңгайлаштыруу үчүн колдоо
· Материалдарды тандоо жана техникалык параметрлерди оптималдаштыруу боюнча сунуштар
· Биргелешкен продуктуну долбоорлоо жана симуляцияны текшерүү
2. Так өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү
· ±1μm чегинде башкарылуучу толеранттуулук менен жогорку тактыктагы иштетүү
· Күзгү менен жылтыратуу жана четтерин жылмалоо сыяктуу атайын дарылоо ыкмалары
· Жабышууга каршы каптоолор сыяктуу кошумча беттик модификациялоо чечимдери
3. Сапатты камсыздоо системасы
· Кирүүчү материалдарды текшерүүнү жана процессти көзөмөлдөөнү катуу ишке ашыруу
· Толук өлчөмдүү оптикалык текшерүү жана беттик морфологияны талдоо
· Продукциянын иштешин сыноо отчетторун берүү
4. Жеткирүү чынжыры кызматтары
· Стандарттуу продукцияларды тез жеткирүү
· Негизги эсептер үчүн атайын инвентаризацияны башкаруу
5. Техникалык колдоо
· Колдонмо чечимдери боюнча кеңеш берүү
· Сатуудан кийинки тез жооп кайтаруу
Биз жарым өткөргүчтөрдүн, LED жана башка өнүккөн тармактардын катуу талаптарын канааттандыруу үчүн жогорку сапаттагы Sapphire Lift Pins өнүмдөрүн жана кесипкөй техникалык кызматтарды көрсөтүүгө умтулабыз.

Сапфир көтөргүч төөнөгүчтөрү 1
Сапфир көтөргүч төөнөгүчтөрү 4