Кремний карбидинин кантильвер калагы (SiC кантильвер калагы)

Кыскача сүрөттөмө:

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Продукцияга сереп

Жогорку өндүрүмдүү реакция менен байланышкан кремний карбидинен (RBSiC) жасалган кремний карбидинин консолдук калагы жарым өткөргүч жана фотоэлектрдик колдонмолор үчүн пластиналарды жүктөө жана иштетүү системаларында колдонулган маанилүү компонент болуп саналат.
Кадимки кварц же графит калакчалары менен салыштырганда, SiC консоль калакчалары жогорку механикалык бекемдикке, жогорку катуулукка, төмөнкү жылуулук кеңейүүсүнө жана мыкты коррозияга туруктуулукка ээ. Алар жогорку температурада эң сонун структуралык туруктуулукту сактап, чоң пластина өлчөмдөрүнүн, узак кызмат мөөнөтүн жана өтө төмөн булгануунун катуу талаптарына жооп берет.

Жарым өткөргүч процесстердин чоңураак пластина диаметрлерине, жогорку өткөрүү жөндөмдүүлүгүнө жана таза иштетүү чөйрөсүнө карай тынымсыз өнүгүшү менен, SiC консоль калактары акырындык менен кадимки материалдарды алмаштырып, диффузиялык мештер, LPCVD жана тиешелүү жогорку температуралуу жабдуулар үчүн артыкчылыктуу тандоого айланды.

Продукциянын өзгөчөлүктөрү

Мыкты жогорку температурадагы туруктуулук
- 1000–1300℃ температурада деформацияланбай ишенимдүү иштейт.
- Максималдуу тейлөө температурасы 1380℃ чейин.
Жогорку жүк көтөрүү жөндөмдүүлүгү
- Ийилүүгө туруктуулугу 250–280 МПага чейин, бул кварц калактарына караганда алда канча жогору.
- Чоң диаметрдеги пластиналарды (300 мм жана андан жогору) иштетүүгө жөндөмдүү.
Узартылган кызмат мөөнөтү жана аз тейлөө
- Төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD каптоо материалдары менен жакшы дал келет.
- Стресстен улам пайда болгон жаракаларды жана сыйрылып түшүүнү азайтып, тазалоо жана тейлөө циклдерин бир кыйла узартат.
Коррозияга туруктуулук жана тазалык
- Кислоталарга жана щелочторго эң сонун туруктуулук.
- Ачык кеуектүүлүгү <0,1% болгон тыгыз микроструктура, бөлүкчөлөрдүн пайда болушун жана кошулмалардын бөлүнүп чыгышын минималдаштырат.
Автоматташтырууга шайкеш келген дизайн
- Жогорку өлчөмдүү тактык менен туруктуу кесилиш геометриясы.
- Робот пластиналарды жүктөө жана түшүрүү системалары менен кемчиликсиз интеграцияланып, толугу менен автоматташтырылган өндүрүштү камсыз кылат.

Физикалык жана химиялык касиеттери

Буюм	Бирдик	Маалыматтар
Максималдуу тейлөө температурасы	℃	1380-жыл
Тыгыздык	г/см³	3.04 – 3.08
Ачык кеуектүүлүк	%	< 0.1
Ийилүү күчү	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Серпилгичтик модулу	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Жылуулук өткөрүмдүүлүгү	Вт/м·К	45 (1200℃)
Жылуулук кеңейүү коэффициенти	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Виккерстин катуулугу	HV2	≥ 2100
Кислота/Щелочтук туруктуулук	-	Эң сонун

Стандарттык узундуктар:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Суроо-талап боюнча жеткиликтүү болгон ылайыкташтырылган өлчөмдөр

Колдонмолор

Жарым өткөргүчтөр өнөр жайы
- LPCVD (Төмөнкү басымдагы химиялык буу чөктүрүү)
- Диффузия процесстери (фосфор, бор ж.б.)
- Термикалык кычкылдануу
Фотоэлектрдик өнөр жай
- Поликремний жана монокристаллдык пластиналардын диффузиясы жана каптоосу
- Жогорку температурада күйгүзүү жана пассивдештирүү
Башка тармактар
- Жогорку температурадагы коррозиялык чөйрөлөр
- Узак мөөнөттүү кызмат мөөнөтүн жана аз булганууну талап кылган так пластина иштетүү системалары

Кардарлардын артыкчылыктары

Операциялык чыгымдардын азайышы– Кварц калактарына салыштырмалуу узак иштөө мөөнөтү, иштебей калуу убактысын жана алмаштыруу жыштыгын минималдаштырат.
Жогорку түшүм– Булгануунун өтө аз болушу пластинанын бетинин тазалыгын камсыздайт жана кемчиликтердин деңгээлин төмөндөтөт.
Келечекке ишенимдүү– Чоң пластина өлчөмдөрү жана кийинки муундагы жарым өткөргүч процесстери менен шайкеш келет.
Өндүрүмдүүлүктүн жогорулашы– Роботтук автоматташтыруу системалары менен толук шайкеш келет, көп көлөмдүү өндүрүштү колдойт.

Көп берилүүчү суроолор – Кремний карбидинин кантильвер калагы

С1: Кремний карбидинин консольдук калагы деген эмне?
A: Бул реакция менен байланышкан кремний карбидинен (RBSiC) жасалган пластинаны колдоо жана иштетүүчү компонент болуп саналат. Ал диффузиялык мештерде, LPCVDде жана башка жогорку температуралуу жарым өткөргүчтөрдө жана фотоэлектрдик процесстерде кеңири колдонулат.

С2: Эмне үчүн кварц калакчаларынын ордуна SiC тандаш керек?
A: Кварц калактары менен салыштырганда, SiC калактары төмөнкүлөрдү сунуштайт:

Жогорку механикалык бекемдик жана жүк көтөрүү жөндөмдүүлүгү
1380℃ чейинки температурада жакшыраак жылуулук туруктуулугу
Кызмат мөөнөтү бир топ узак жана техникалык тейлөө циклдери кыскарган
Бөлүкчөлөрдүн пайда болушунун жана булгануу коркунучунун төмөндүгү
Чоңураак өлчөмдөгү пластиналар менен шайкештик (300 мм жана андан жогору)

С3: SiC кантильвер калагы кандай пластина өлчөмдөрүн көтөрө алат?
A: Стандарттуу калактар 2378 мм, 2550 мм жана 2660 мм меш системалары үчүн жеткиликтүү. 300 мм жана андан жогору пластиналарды колдоо үчүн ылайыкташтырылган өлчөмдөр бар.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды чыгаруучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.