SiC сапфир Si GAAs пластинасы үчүн кремний карбидинин керамикалык патрон

SiC сапфир Si GAA пластинасы үчүн кремний карбидинин керамикалык патрону, Сунушталган сүрөт

Кыскача сүрөттөмө:

Кремний карбиддик керамикалык патрон – бул жарым өткөргүчтөрдү текшерүү, пластиналарды жасоо жана байланыштыруу үчүн иштелип чыккан жогорку өндүрүмдүү платформа. Өркүндөтүлгөн керамикалык материалдардан, анын ичинде агломерленген SiC (SSiC), реакция менен байланышкан SiC (RSiC), кремний нитриди жана алюминий нитриди менен курулган, ал жогорку катуулукту, төмөнкү жылуулук кеңейүүнү, эң сонун эскирүүгө туруктуулукту жана узак кызмат мөөнөтүн сунуштайт.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Кремний карбидинин (SiC) керамикалык патронуна сереп

TheКремний карбидинин керамикалык патрондоружарым өткөргүчтөрдү текшерүү, пластиналарды жасоо жана байланыштыруу колдонмолору үчүн иштелип чыккан жогорку өндүрүмдүү платформа. Өркүндөтүлгөн керамикалык материалдардан курулган, анын ичиндеагломерленген SiC (SSiC), реакция менен байланышкан SiC (RSiC), кремний нитриди, жанаалюминий нитриди— сунуштайтжогорку катуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү, мыкты эскирүүгө туруктуулук жана узак кызмат мөөнөтү.

Так инженерия жана заманбап жылтыратуу менен, патрон сизге керектүү нерсени беретсубмикрондук тегиздик, күзгүдөй сапаттагы беттер жана узак мөөнөттүү өлчөмдүү туруктуулук, бул аны маанилүү жарым өткөргүч процесстер үчүн идеалдуу чечимге айлантат.

Негизги артыкчылыктар

Жогорку тактык
Тегиздик ичинде көзөмөлдөнөт0,3–0,5 мкм, пластинанын туруктуулугун жана процесстин ырааттуу тактыгын камсыз кылуу.
Күзгү жылтыратуу
ЖетишкендиктериRa 0.02 мкмбеттин оройлугун, пластиналардын чийилишин жана булганышын минималдаштыруу — өтө таза чөйрөлөр үчүн идеалдуу.
Өтө жеңил
Кварц же металл субстраттарына караганда күчтүүрөөк, бирок жеңилирээк, кыймылды башкарууну, жооп кайтарууну жана позициялоо тактыгын жакшыртат.
Жогорку катуулук
Өзгөчө Янг модулу оор жүктөр астында өлчөмдүү туруктуулукту жана жогорку ылдамдыкта иштөөнү камсыз кылат.
Төмөн жылуулук кеңейүүсү
CTE кремний пластиналарына абдан окшош, бул жылуулук чыңалуусун азайтып, процесстин ишенимдүүлүгүн жогорулатат.
Мыкты эскирүүгө туруктуулук
Өтө катуулук узак мөөнөттүү, жогорку жыштыктагы колдонууда да тегиздикти жана тактыкты сактайт.

Өндүрүш процесси

Чийки затты даярдоо
Бөлүкчөлөрдүн өлчөмү көзөмөлдөнгөн жана өтө төмөн кошулмалар менен жогорку тазалыктагы SiC порошоктору.
Формалоо жана бышыруу
сыяктуу ыкмаларбасымсыз бышыруу (SSiC) or реакциялык байланыш (RSiC)тыгыз, бирдей керамикалык субстраттарды өндүрүү.
Тактык менен иштетүү
CNC майдалоо, лазердик кыркуу жана өтө так иштетүү ±0,01 мм чыдамкайлыкка жана ≤3 мкм параллелизмге жетишет.
Беттик дарылоо
Ra 0.02 мкм чейин көп баскычтуу майдалоо жана жылтыратуу; коррозияга туруктуулук же сүрүлүү касиеттерине ылайыкташтырылган кошумча каптоолор бар.
Текшерүү жана сапатты көзөмөлдөө
Интерферометрлер жана оройлукту текшерүүчү шаймандар жарым өткөргүчтөрдүн спецификацияларына шайкештигин текшеришет.

Техникалык мүнөздөмөлөр

Параметр	Баалуулук	Бирдик
Тегиздик	≤0.5	мкм
Вафли өлчөмдөрү	6'', 8'', 12'' (ылайыкташтырылган)	—
Беттин түрү	Төөнөгүчтүн түрү / Шакектин түрү	—
Төөнөгүчтүн бийиктиги	0,05–0,2	mm
Минималдуу төөнөгүчтүн диаметри	ϕ0.2	mm
Минималдуу төөнөгүч аралыгы	3	mm
Минималдуу пломба шакекчесинин туурасы	0.7	mm
Беттин оройлугу	Ra 0.02	мкм
Калыңдыкка чыдамдуулук	±0.01	mm
Диаметрге чыдамдуулук	±0.01	mm
Параллелизмге толеранттуулук	≤3	мкм

Негизги колдонмолор

Жарым өткөргүчтүү пластиналарды текшерүүчү жабдуулар
Пластинаны жасоо жана өткөрүп берүү системалары
Вафлилерди бириктирүү жана таңгактоо куралдары
Өркүндөтүлгөн оптоэлектрондук түзүлүштөрдү өндүрүү
Өтө жалпак, өтө таза беттерди талап кылган так аспаптар

Суроо-жооп – Кремний карбидинин керамикалык патрон

С1: SiC керамикалык патрондору кварц же металл патрондору менен кандайча салыштырылат?
A1: SiC патрондору жеңилирээк, катуураак жана кремний пластиналарына жакын CTEге ээ, бул жылуулук деформациясын минималдаштырат. Алар ошондой эле жогорку эскирүүгө туруктуулукту жана узак кызмат мөөнөтүн сунуштайт.

С2: Кандай тегиздикке жетүүгө болот?
A2: Ичинде башкарылат0,3–0,5 мкм, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн катуу талаптарын канааттандыруу.

С3: Бети пластиналарды тырмайбы?
A3: Жок — күзгүгө жылтыратылганRa 0.02 мкм, тырмалбай иштетүүнү жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтуун камсыз кылат.

С4: Кандай пластина өлчөмдөрү колдоого алынат?
A4: Стандарттык өлчөмдөрү6 дюйм, 8 дюйм жана 12 дюйм, ыңгайлаштыруу мүмкүнчүлүгү менен.

С5: Термикалык каршылык кандай?
A5: SiC керамикасы жылуулук циклинин астында минималдуу деформация менен эң сонун жогорку температуралык көрсөткүчтөрдү камсыз кылат.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды чыгаруучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.