Өтө тактыктагы SiC аба көтөргүч баскычы
Толук диаграмма
Жалпы маалымат
Жарым өткөргүчтөр өнөр жайынын тынымсыз өнүгүшү менен, иштетүү жана текшерүү жабдуулары тынымсыз жогорку көрсөткүчтөрдү талап кылат. Кыймылды башкаруу жана нанометрдик деңгээлдеги позициялоо боюнча кеңири тажрыйбага таянып, биз тегиз H-тибиндеги кош огу бар өтө так аба көтөрүүчү этапты иштеп чыктык.
Чектүү элементтерге оптималдаштырылган кремний карбиди (SiC) керамикалык түзүлүшү жана компенсацияланган аба өткөргүч технологиясы менен иштелип чыккан бул сахна эң сонун тактыкты, катуулукту жана динамикалык реакцияны камсыз кылат. Ал төмөнкүлөр үчүн идеалдуу ылайыктуу:
-
Жарым өткөргүчтөрдү иштетүү жана текшерүү
Микро/нано өндүрүш жана метрология
Нанометрдик масштабдагы чымын кесүү жана жылтыратуу
Жогорку ылдамдыктагы так сканерлөө
Негизги өзгөчөлүктөр
-
SiC аба өткөргүч жолөтө жогорку катуулук жана тактык үчүн
-
Жогорку динамикаылдамдыгы 1 м/с чейин, ылдамдануусу 4 г чейин, тез чөгүү
-
Эки жетектүү Y-огу порталыжогорку жүк көтөрүмдүүлүгүн жана туруктуулугун камсыз кылат
-
Коддогучтун параметрлериоптикалык торчо же лазердик интерферометр
-
Позициялоо тактыгы: ±0,15 мкм;кайталануучулугу: ±75 нм
-
Оптималдаштырылган кабелдик маршруттоотаза дизайн жана узак мөөнөттүү ишенимдүүлүк үчүн
-
Ыңгайлаштырылуучу конфигурациялартиркемеге тиешелүү муктаждыктар үчүн
Өтө так дизайн жана түз жетектөөчү, байланышсыз архитектура
-
SiC керамикалык алкагыАлюминий эритмесинин катуулугу ~5 эсеге жана жылуулук кеңейүүсү ~5 эсеге төмөндөп, жогорку ылдамдыктагы туруктуулукту жана жылуулукка туруктуулукту камсыздайт.
-
Компенсацияланган аба подшипнигиМенчик дизайн катуулукту, жүк көтөрүмдүүлүгүн жана кыймылдын туруктуулугун жогорулатат.
-
Динамикалык аткаруу: Жогорку өндүрүмдүүлүктөгү процесстер үчүн идеалдуу болгон 1 м/с ылдамдыкты жана 4 г ылдамданууну колдойт.
-
Үзгүлтүксүз интеграцияВибрацияны изоляциялоо системалары, айланма баскычтар, эңкейиш модулдары жана пластинаны иштетүү платформалары менен шайкеш келет.
-
Кабелдик башкарууБашкарылуучу ийилүү радиусу кызмат мөөнөтүн узартуу үчүн чыңалууну минималдаштырат.
-
Өзөксүз сызыктуу моторНөлдүк тиштүү күч менен жылмакай кыймыл.
-
Көп моторлуу жетекЖүк тегиздигиндеги мотордун жайгашуусу түздүктү, тегиздикти жана бурчтук тактыкты жакшыртат.
-
Жылуулук изоляциясыМоторлор сахна конструкциясынан обочолонгон; жогорку жүктөө циклдери үчүн кошумча аба же суу менен муздатуу мүмкүнчүлүгү бар.
Техникалык мүнөздөмөлөрү
| Модель | 400-400 | 500-500 | 600-600 |
|---|---|---|---|
| Балталар | X (сканерлөө) / Y (кадам) | X (сканерлөө) / Y (кадам) | X (сканерлөө) / Y (кадам) |
| Жүрүү (мм) | 400 / 400 | 500 / 500 | 600 / 600 |
| Тактык (мкм) | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
| Кайталануучулугу (нм) | ±75 | ±100 | ±100 |
| Чечилиши (нм) | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| Максималдуу ылдамдык (м/с) | 1 | 1 | 1 |
| Ылдамдануу (g) | 4 | 4 | 4 |
| Түздүк (мкм) | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 |
| Туруктуулук (нм) | ±5 | ±5 | ±5 |
| Максималдуу жүк (кг) | 20 | 20 | 20 |
| Токтоо/Толкундоо/Баш айлануу (жаа-секунда) | ±1 | ±1 | ±1 |
Сыноо шарттары:
-
Аба менен камсыздоо: таза, кургак; шүүдүрүм чекити ≤ 0°F; бөлүкчөлөрдүн чыпкаланышы ≤ 0,25 мкм; же 99,99% азот.
-
Тактык 20±1 °C температурада, 40–60% нымдуулукта, борбордон 25 мм жогору өлчөнгөн.
Колдонмолор
-
Жарым өткөргүчтүү литография, текшерүү жана пластиналарды иштетүү
-
Микро/нано өндүрүш жана так метрология
-
Жогорку класстагы оптика өндүрүшү жана интерферометрия
-
Аэрокосмос жана алдыңкы илимий изилдөөлөр
Көп берилүүчү суроолор – Кремний карбидинин аба подшипник баскычы
1. Аба көтөрүүчү баскыч деген эмне?
Аба өткөрүүчү этап этап менен жол көрсөткүчтүн ортосунда басымдуу абанын жука катмарын колдонот.сүрүлбөс, эскирбес жана өтө жылмакай кыймылКадимки механикалык подшипниктерден айырмаланып, ал тайгаланып кетүүдөн сактайт, нанометр деңгээлиндеги тактыкты камсыз кылат жана узак мөөнөттүү ишенимдүүлүктү колдойт.
2. Эмне үчүн сахна түзүлүшү үчүн кремний карбидин (SiC) колдонуш керек?
-
Жогорку катуулук: динамикалык кыймыл учурунда деформацияны минималдаштыруу үчүн алюминий эритмесинин ~5 эсе чоң.
-
Төмөн жылуулук кеңейүүсү: Алюминийге караганда ~5 эсе төмөн, температуранын өзгөрүшүндө тактыкты сактайт.
-
ЖеңилБолотко салыштырмалуу тыгыздыгы төмөн, бул жогорку ылдамдыкта жана жогорку ылдамдыкта иштөөгө мүмкүндүк берет.
-
Эң сонун туруктуулукӨтө так позициялоо үчүн жогорку сапаттагы демпферлөө жана катуулук.
3. Сахнаны майлоо же тейлөө керекпи?
Кадимки майлоонун кереги жок, анткени бармеханикалык байланыш жокСунушталган техникалык тейлөө төмөнкүлөрдү камтыйт:
-
Камсыздоотаза, кургак кысылган аба же азот
-
Фильтрлерди жана кургаткычтарды мезгил-мезгили менен текшерүү
-
Мониторинг кабелдери жана муздатуу системалары
4. Аба менен камсыздоо талаптары кандай?
-
Шүүдүрүм чекити: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
-
Бөлүкчөлөрдү чыпкалоо: ≤ 0,25 мкм
-
Таза, кургак аба же 99,99% таза азот
-
Минималдуу өзгөрүүлөр менен туруктуу басым
Биз жөнүндө
XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.










