C-Plane DSP TTV үчүн 156 мм 159 мм 6 дюймдук сапфир пластинасы

Кыскача сүрөттөмө:

Диаметри 156 мм/159 мм, 6 дюймдук Al2O3 эки тараптуу жылтыратылган (DSP) сапфир пластиналары, TTV өлчөмү 3 микрондон аз, алып жүрүүчү тактайлар үчүн. Кошумча 8 дюйм / 6 дюйм / 5 дюйм / 2 дюйм / 3 дюйм / 4 дюйм / 5 дюймдук C огу, A огу, R огу, M огу пластиналары. Диаметри 6 дюймга (6 дюйм / 6 дюйм) чейинки, бир тараптуу жылтыратылган (SSP) же эки тараптуу жылтыратылган (DSP) беттери бар жана калыңдыгы 650 микрон же 1000 микрон болгон C-тегиз сапфир пластиналары.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Техникалык мүнөздөмө

Буюм	6 дюймдук C-формасындагы (0001) сапфир пластиналары
Кристалл материалдары	99,999%, жогорку тазалык, монокристаллдык Al2O3
Баалоо	Prime, Epi-Ready
Беттин багыты	C-тегиздиги (0001)
	С-тегиздигинин М-огуна карата бурчу 0,2 +/- 0,1°
Диаметри	100,0 мм +/- 0,1 мм
Калыңдыгы	650 мкм +/- 25 мкм
Негизги тегиздик багыты	C-тегиздиги (00-01) +/- 0.2°
Бир тарабы жылтыратылган	Алдыңкы бети	Эпи-жылтыратылган, Ra < 0,2 нм (AFM боюнча)
(SSP)	Арткы бети	Майдаланган, Ra = 0,8 мкмден 1,2 мкмге чейин
Эки тараптуу жылтыратылган	Алдыңкы бети	Эпи-жылтыратылган, Ra < 0,2 нм (AFM боюнча)
(DSP)	Арткы бети	Эпи-жылтыратылган, Ra < 0,2 нм (AFM боюнча)
TTV	< 20 мкм
ЖАА	< 20 мкм
WARP	< 20 мкм
Тазалоо / Таңгактоо	100-класстагы таза бөлмөлөрдү тазалоо жана вакуумдук таңгактоо,
	Бир кассеталык таңгактоодо же бир бөлүктүү таңгактоодо 25 даана.

Килопулос ыкмасы (KY ыкмасы) учурда Кытайдагы көптөгөн компаниялар тарабынан электроника жана оптика тармактарында колдонуу үчүн сапфир кристаллдарын өндүрүү үчүн колдонулат.

Бул процессте жогорку тазалыктагы алюминий кычкылы 2100 градус Цельсийден жогору температурада тигельде эритилет. Адатта тигель вольфрамдан же молибденден жасалат. Так багытталган үрөн кристаллы эритилген алюминий кычкылына чөмүлөт. Үрөн кристаллы жай өйдө тартылып, бир эле учурда айландырылышы мүмкүн. Температура градиентин, тартуу ылдамдыгын жана муздатуу ылдамдыгын так башкаруу менен эритмеден чоң, монокристаллдуу, дээрлик цилиндр формасындагы куйманы алууга болот.

Монокристалл сапфир куймалары өстүрүлгөндөн кийин, алар цилиндр формасындагы таякчаларга бургуланат, андан кийин алар каалаган терезе калыңдыгына чейин кесилет жана акырында каалаган беттик жасалгага чейин жылмаланат.