4 дюймдук жогорку тазалыктагы Al2O3 99.999% сапфир субстрат пластинасы, диаметри 101.6 × 0.65 мм, баштапкы жалпак узундук менен
Сүрөттөмө
4 дюймдук сапфир пластиналарынын жалпы мүнөздөмөлөрү төмөнкүдөй келтирилген:
Калыңдыгы: Кадимки сапфир пластиналарынын калыңдыгы 0,2 ммден 2 ммге чейин, ал эми белгилүү бир калыңдыгын кардардын талаптарына ылайыкташтырса болот.
Жайгаштыруу чети: Адатта, пластинанын четинде "жайгаштыруу чети" деп аталган кичинекей бөлүк болот, ал пластинанын бетин жана четин коргойт жана адатта аморфтук болот.
Бетти даярдоо: Кадимки сапфир пластиналары механикалык жол менен майдаланып, бетин тегиздөө үчүн химиялык механикалык жол менен жылмаланат.
Беттик касиеттери: Сапфир пластиналарынын бети, адатта, түзмөктүн иштешин жакшыртуу үчүн жакшы оптикалык касиеттерге ээ, мисалы, төмөн чагылдыруу жана төмөн сынуу көрсөткүчү.
Колдонмолор
● III-V жана II-VI кошулмаларынын өсүү субстраты
● Электроника жана оптоэлектроника
● Инфракызыл колдонмолор
● Сапфирдеги кремний интегралдык микросхемасы (SOS)
● Радио жыштыктагы интегралдык схема (RFIC)
Техникалык мүнөздөмө
| Буюм | 4 дюймдук C-формасындагы (0001) 650 мкм сапфир пластиналары | |
| Кристалл материалдары | 99,999%, жогорку тазалык, монокристаллдык Al2O3 | |
| Баалоо | Prime, Epi-Ready | |
| Беттин багыты | C-тегиздиги (0001) | |
| С-тегиздигинин М-огуна карата бурчу 0,2 +/- 0,1° | ||
| Диаметри | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
| Калыңдыгы | 650 мкм +/- 25 мкм | |
| Негизги тегиздик багыты | А-тегиздик (11-20) +/- 0.2° | |
| Негизги жалпак узундук | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
| Бир тарабы жылтыратылган | Алдыңкы бети | Эпи-жылтыратылган, Ra < 0,2 нм (AFM боюнча) |
| (SSP) | Арткы бети | Майдаланган, Ra = 0,8 мкмден 1,2 мкмге чейин |
| Эки тараптуу жылтыратылган | Алдыңкы бети | Эпи-жылтыратылган, Ra < 0,2 нм (AFM боюнча) |
| (DSP) | Арткы бети | Эпи-жылтыратылган, Ra < 0,2 нм (AFM боюнча) |
| TTV | < 20 мкм | |
| ЖАА | < 20 мкм | |
| WARP | < 20 мкм | |
| Тазалоо / Таңгактоо | 100-класстагы таза бөлмөлөрдү тазалоо жана вакуумдук таңгактоо, | |
| Бир кассеталык таңгактоодо же бир бөлүктүү таңгактоодо 25 даана. | ||
Биз сапфирди кайра иштетүү тармагында көп жылдык тажрыйбага ээбиз. Анын ичинде кытайлык жеткирүүчүлөрдүн рыногу, ошондой эле эл аралык суроо-талап рыногу бар. Эгерде сизде кандайдыр бир муктаждыктар болсо, биз менен байланышуудан тартынбаңыз.
Толук диаграмма
