4H-N 8 дюймдук SiC субстрат пластинасы, кремний карбидинин манекени, 500 мкм калыңдыктагы изилдөө классы
Кремний карбидинин пластиналарын жана SiC субстраттарын кантип тандайсыз?
Кремний карбиди (SiC) пластиналарын жана субстраттарын тандоодо бир нече факторлорду эске алуу керек. Бул жерде бир нече маанилүү критерийлер келтирилген:
Материалдын түрү: Колдонмоңузга ылайыктуу SiC материалынын түрүн аныктаңыз, мисалы, 4H-SiC же 6H-SiC. Эң көп колдонулган кристаллдык түзүлүш - 4H-SiC.
Допинг түрү: Сизге легирленген же легирленбеген SiC субстраты керекпи же жокпу, чечиңиз. Кошумча легирлөө түрлөрү сиздин конкреттүү талаптарыңызга жараша N-типтеги (n-легирленген) же P-типтеги (p-легирленген) болуп саналат.
Кристаллдын сапаты: SiC пластиналарынын же субстраттарынын кристаллдык сапатын баалоо. Каалаган сапат кемчиликтердин саны, кристаллографиялык багыты жана беттин оройлугу сыяктуу параметрлер менен аныкталат.
Вафли диаметри: Колдонууңузга жараша тиешелүү вафли өлчөмүн тандаңыз. Жалпы өлчөмдөр 2 дюйм, 3 дюйм, 4 дюйм жана 6 дюймду түзөт. Диаметри канчалык чоң болсо, ар бир вафлиден ошончолук көп түшүм алууга болот.
Калыңдыгы: SiC пластиналарынын же субстраттарынын каалаган калыңдыгын эске алыңыз. Типтүү калыңдык параметрлери бир нече микрометрден бир нече жүз микрометрге чейин болот.
Багыттоо: Колдонмоңуздун талаптарына дал келген кристаллографиялык багытты аныктаңыз. Жалпы багыттарга 4H-SiC үчүн (0001) жана 6H-SiC үчүн (0001) же (0001̅) кирет.
Беттик жасалгалоо: SiC пластиналарынын же субстраттарынын беттик жасалгалоосун баалаңыз. Бети жылмакай, жылтыратылган жана чийиктерден же булгоочу заттардан таза болушу керек.
Жеткирүүчүнүн кадыр-баркы: Жогорку сапаттагы SiC пластиналарын жана субстраттарын өндүрүүдө кеңири тажрыйбасы бар кадыр-барктуу жеткирүүчүнү тандаңыз. Өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү, сапатты көзөмөлдөө жана кардарлардын сын-пикирлери сыяктуу факторлорду эске алыңыз.
Баасы: Вафли же субстраттын баасын жана кошумча ыңгайлаштыруу чыгымдарын кошо алганда, чыгымдардын кесепеттерин эске алыңыз.
Тандалган SiC пластиналары жана субстраттары сиздин конкреттүү колдонуу талаптарыңызга жооп берерин камсыз кылуу үчүн бул факторлорду кылдаттык менен баалоо жана тармактык эксперттер же жеткирүүчүлөр менен кеңешүү маанилүү.
Толук диаграмма
