4 дюймдук 6 дюймдук литий ниобат монокристалл пленкасы LNOI пластинкасы
LNOI материалдарды даярдоо жараяны негизинен төмөнкү төрт кадамга бөлүнөт
(1) Ал иондору X-кесилген литий ниобаттык материалга белгилүү бир энергияда сайылган жана литий ниобаттын беттик катмарынан төмөн белгилүү бир тереңдикте кемтик катмарына киргизилген;
(2) ион имплантацияланган литий ниобат материалы кремний субстратына оксид катмары менен бириктирилип, байланыш түзүмүн түзөт;
(3) He ион имплантациясынан келип чыккан кемчиликтер эволюциялашып, жаракаларды пайда кылуу үчүн бириктирүү түзүмү күйдүрүлгөн. Акыр-аягы, литий ниобаты литий ниобаттын калдыктары жана LNOI пластинкаларын түзүү үчүн кемтик катмары боюнча бөлүнгөн.
LNOI пластинкасынын колдонмолору жана артыкчылыктары
1--Литий ниобаты пьезоэлектрдик пленкалар (LNOI) механикалык энергияны электр энергиясына же электр энергиясын механикалык энергияга айландыра ала турган жогорку пьезоэлектрдик коэффициентке жана диэлектрдик өткөрүмдүүлүккө ээ. Ошондуктан, ал басым сенсорлор, тездетүү сенсорлор, температура сенсорлор жана башка сыяктуу сенсорлор тармагында колдонулат. Мындан тышкары, литий niobate piezoelectric тасмасы, ошондой эле, мисалы, piezoelectric керамикалык өзгөрткүч комплекси piezoelectric керамикалык чыпка сыяктуу акустикалык түзмөктөрдө жана титирөө түзмөктөрдө колдонулушу мүмкүн.
2-литий ниобаты пьезоэлектрдик пленканын туруктуулугу да анын артыкчылыктарынын бири. Кристалл структурасынын туруктуулугуна жана химиялык инерттүүлүгүнө байланыштуу, литий ниобат пьезоэлектрдик пленкасы жогорку температурада, жогорку нымдуулукта, күчтүү кислотада, күчтүү щелочто жана башка катаал чөйрөдө, коррозияга туруктуулугу жана туруктуулугу менен иштей алат.
3-Литий ниобаты пьезоэлектрдик пленкасы - бул жаңы пьезоэлектрдик материал, мыкты аткаруу жана туруктуулук менен, кеңири колдонуу перспективасына ээ. Илимдин жана технологиянын тынымсыз өнүгүшү менен литий ниобат пьезоэлектрдик пленкасы көбүрөөк шаарларда колдонулуп, адамдардын жашоосуна көбүрөөк ыңгайлуулуктарды жана инновацияларды алып келет.