6 дюймдук N-Type же P-түрү кремний пластинкасы CZ Si пластинкасы
Вафли кутусун киргизүү
Силикон пластинкасынын мүнөздөмөлөрү:
6 дюймдук кремний пластинкасынын өсүшү: CZ, MCZ, FZ.
6 Кремний пластинкасы: Prime, Test, Dummy, ж
6 дюймдук кремний пластинкасынын диаметри: 6 дюйм/150 мм.
6 дюймдук кремний пластинкасынын Калыңдыгы: 200 ~ 3000um.
6 дюймдук кремний пластинкасы: кесилген, сыйрылган, оюлган, SSP, DSP ж.б.
6 дюймдук кремний пластинасы: (100) (111) (110) (531) (553) ж.б.
6 дюймдук кремний пластинкасы өчүрүлгөн: 4 градуска чейин.
6 дюймдук кремний вафли түрү/допант: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
6 дюймдук кремний пластинкасынын каршылыгы: CZ/MCZ: 0,001ден 1000 Ом-смге чейин. FZ: 20к Ом-см чейин.
6 дюймдук кремний пластинкасы Жука пленкалар: (а)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. ж.б., Каптоо калыңдыгы 20.000A/5% чейин.
(б)LPCVD/PECVD: Оксид, Нитрид, siC ж.б., Каптоо калыңдыгы 200.000A/3% чейин.
(c) Кремний эпитаксиалдык пластиналар жана эпитаксиалдык кызматтар (SOS, GaN, GOI ж.б.).
6 дюймдук кремний пластина процесстери: a.DSP, ультра жука, ультра жалпак ж.б.
б. Кичирейтүү, кайра майдалоо, кесүү ж.б.у.с. MEMS.
2010-жылдан бери, Шанхай XKH Материалдык Тех. Co., Ltd кардарларга 4 дюймдук вафли кремний вафлисинин комплекстүү чечимдери менен камсыз кылуу милдетин алган, аны оңдоо деңгээлиндеги вафельдер Dummy Wafer, тесттик деңгээлдеги вафельдер Test Wafer, продукт деңгээлиндеги вафельдер Prime Wafer, ошондой эле атайын вафельдер, Оксиддик вафельдер Оксид, Nitride Wafers Si3N4, Silicone Plastic, Co. SOI Wafer, MEMS Glass, ылайыкташтырылган ультра жоон жана ультра жалпак пластиналар ж.
Толук диаграмма


