6 дюймдук N-типтеги же P-типтеги силикон пластинасы CZ Si пластинасы
Вафли кутучасын киргизүү
Кремний пластинасынын мүнөздөмөлөрү:
6 дюймдук кремний пластинасынын өсүшү: CZ, MCZ, FZ.
6 Кремний пластинасынын баасы: Prime, Test, Dummy ж.б.
6 дюймдук кремний пластинасынын диаметри: 6 дюйм/150 мм.
6 дюймдук кремний пластинасынын калыңдыгы: 200 ~ 3000 мкм.
6 дюймдук кремний пластинасынын бүтүшү: кесилген, шпаклевкаланган, оюлган, SSP, DSP ж.б.
6 дюймдук кремний пластинасынын багыты: (100) (111) (110) (531) (553) ж.б.
6 дюймдук силикон пластинасы, кесилген жери: 4 градуска чейин.
6 дюймдук кремний пластинасынын түрү/кошулмасы: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Ички.
6 дюймдук кремний пластинасынын каршылыгы: CZ/MCZ: 0,001ден 1000 ом-смге чейин. FZ: 20к ом-смге чейин.
6 дюймдук кремний пластинасы. Жука пленкалар: (а) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo ж.б., Каптоо калыңдыгы 20.000A/5% чейин.
(b) LPCVD/PECVD: Оксид, Нитрид, SiC ж.б., Каптоо калыңдыгы 200.000A/3% чейин.
(c) Кремний эпитаксиалдык пластиналар жана эпитаксиалдык кызматтар (SOS, GaN, GOI ж.б.).
6 дюймдук кремний пластинасы. Процесстер: a.DSP, өтө жука, өтө жалпак ж.б.
b.Кичинекейлөө, артка майдалоо, майдалоо ж.б.c. MEMS.
2010-жылдан бери Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd компаниясы кардарларына 50мм-300мм өлчөмүндөгү, деңгээлдүү пластиналарды мүчүлүштүктөрдү оңдоо үчүн 4 дюймдук кремний пластинасынын комплекстүү чечимдерин, анын ичинде Dummy Wafer деңгээлдүү пластиналарынан, тесттик деңгээлдүү пластиналардан баштап, Prime Wafer продукттук деңгээлдүү пластиналарына, ошондой эле атайын пластиналарга, Oxide кычкыл пластиналарына, Si3N4 нитрид пластиналарына, алюминий менен капталган пластиналарга, жез менен капталган кремний пластиналарына, SOI пластиналарына, MEMS айнек пластиналарына, ылайыкташтырылган ультра калың жана ультра жалпак пластиналарга ж.б., ж.б. бир тараптуу/эки тараптуу жылтыратуу, суюлтуу, тууралоо, MEMS жана башка иштетүү жана ыңгайлаштыруу кызматтарын көрсөтүүгө умтулат.
Толук диаграмма







