8 дюймдук SiC өндүрүштүк класстагы пластинка 4H-N SiC субстраты

8 дюймдук SiC өндүрүштүк класстагы пластинкасы 4H-N SiC субстраты Өзгөчөлөнгөн сүрөт

Кыска сүрөттөмө:

8 дюймдук SiC субстраттары кубаттуу MOSFETs (металл оксидинин жарым өткөргүч талаа эффектиси транзисторлору), Шоттки диоддору жана башка кубаттуу жарым өткөргүч түзүлүштөр сыяктуу жогорку кубаттуулуктагы электрондук шаймандарда колдонулат.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Төмөнкү таблицада 8 дюймдук SiC пластиналарыбыздын мүнөздөмөлөрү көрсөтүлгөн:

8 дюймдук N-түрү SiC DSP Specs
Сан	пункт	бирдиги	Өндүрүш	Изилдөө	Dummy
1:параметрлер
1.1	политип	--	4H	4H	4H
1.2	беттик багыт	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Электрдик параметр
2.1	допант	--	n тибиндеги азот	n тибиндеги азот	n тибиндеги азот
2.2	каршылык	ом ·см	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Механикалык параметр
3.1	диаметри	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	калыңдыгы	мкм	500±25	500±25	500±25
3.3	Чениктин багыты	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Чентик тереңдиги	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	мкм	≤5(10мм*10мм)	≤5(10мм*10мм)	≤10(10мм*10мм)
3.6	TTV	мкм	≤10	≤10	≤15
3.7	Жаа	мкм	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	мкм	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Структура
4.1	микротрубанын тыгыздыгы	э/см2	≤2	≤10	≤50
4.2	металл мазмуну	атом/см2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	э/см2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	э/см2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	э/см2	≤7000	≤10000	NA
5.Front сапаты
5.1	алдыңкы	--	Si	Si	Si
5.2	беттик бүтүрүү	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	бөлүкчө	ea/wafer	≤100(өлчөм≥0,3мкм)	NA	NA
5.4	чийүү	ea/wafer	≤5, Жалпы узундугу≤200мм	NA	NA
5.5	Edge чиптер/чыгымдар/жарыктар/тактар/булгануу	--	Жок	Жок	NA
5.6	Политип аймактары	--	Жок	Аянты ≤10%	Аянты ≤30%
5.7	алдыңкы белгилөө	--	Жок	Жок	Жок
6: Артка сапаты
6.1	арткы бүтүрүү	--	С-жүздүү депутат	С-жүздүү депутат	С-жүздүү депутат
6.2	чийүү	mm	NA	NA	NA
6.3	Арткы кемчиликтер чети чиптер/чыгымдар	--	Жок	Жок	NA
6.4	Артка оройлук	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Артка белгилөө	--	Ноч	Ноч	Ноч
7: чет
7.1	чети	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: Пакет
8.1	таңгактоо	--	Эпи-вакуум менен даяр таңгактоо	Эпи-вакуум менен даяр таңгактоо	Эпи-вакуум менен даяр таңгактоо
8.2	таңгактоо	--	Мульти-вафель кассеталык таңгак	Мульти-вафель кассеталык таңгак	Мульти-вафель кассеталык таңгак