8 дюймдук SiC өндүрүштүк класстагы пластина 4H-N SiC субстраты
Төмөнкү таблицада биздин 8 дюймдук SiC пластиналарынын мүнөздөмөлөрү көрсөтүлгөн:
| 8 дюймдук N-типтеги SiC DSP мүнөздөмөлөрү | |||||
| Сан | Буюм | Бирдик | Өндүрүш | Изилдөө | Макет |
| 1: параметрлер | |||||
| 1.1 | политип | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | беттин багыты | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Электр параметри | |||||
| 2.1 | кошулма | -- | n-типтеги азот | n-типтеги азот | n-типтеги азот |
| 2.2 | каршылык | Ом ·см | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Механикалык параметр | |||||
| 3.1 | диаметр | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | калыңдыгы | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Оюктун багыты | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Оюктун тереңдиги | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | мкм | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤10 (10мм * 10мм) |
| 3.6 | TTV | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Жаа | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Верп | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Түзүлүшү | |||||
| 4.1 | микротүтүктөрдүн тыгыздыгы | эа/см2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | металл курамы | атомдор/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ТСД | эа/см2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | БПД | эа/см2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | эа/см2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Алдыңкы сапат | |||||
| 5.1 | алдыңкы | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | беттик жасалгалоо | -- | Si-беттүү CMP | Si-беттүү CMP | Si-беттүү CMP |
| 5.3 | бөлүкчө | вафли | ≤100 (өлчөмү ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | тырмалуу | вафли | ≤5, жалпы узундугу ≤200 мм | NA | NA |
| 5.5 | Чет сынып/чуңкурлар/жарыктар/тактар/булгоо | -- | Эч бири | Эч бири | NA |
| 5.6 | Политип аймактары | -- | Эч бири | Аянты ≤10% | Аянты ≤30% |
| 5.7 | алдыңкы белгилөө | -- | Эч бири | Эч бири | Эч бири |
| 6: Арткы сапаты | |||||
| 6.1 | арткы бети | -- | С-беттүү MP | С-беттүү MP | С-беттүү MP |
| 6.2 | тырмалуу | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Арткы кемчиликтердин чети чиптер/ичкилер | -- | Эч бири | Эч бири | NA |
| 6.4 | Белдин оройлугу | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Арткы белгилөө | -- | Оюк | Оюк | Оюк |
| 7: чети | |||||
| 7.1 | чет | -- | фаска | фаска | фаска |
| 8: Пакет | |||||
| 8.1 | таңгактоо | -- | Вакуум менен Epi-дайын таңгактоо | Вакуум менен Epi-дайын таңгактоо | Вакуум менен Epi-дайын таңгактоо |
| 8.2 | таңгактоо | -- | Көп пластиналуу кассета таңгагы | Көп пластиналуу кассета таңгагы | Көп пластиналуу кассета таңгагы |
Толук диаграмма
Билдирүүңүздү бул жерге жазып, бизге жөнөтүңүз