AlN-on-NPSS пластинасы: жогорку температурадагы, жогорку кубаттуулуктагы жана радио жыштыктагы колдонмолор үчүн жылтыратылбаган сапфир субстратындагы жогорку өндүрүмдүү алюминий нитрид катмары

Кыскача сүрөттөмө:

AlN-on-NPSS пластинасы жогорку өндүрүмдүүлүктөгү алюминий нитридинин (AlN) катмарын жылтыратылбаган сапфир субстраты (NPSS) менен айкалыштырып, жогорку температурадагы, жогорку кубаттуулуктагы жана радиожыштыктагы (RF) колдонмолор үчүн идеалдуу чечимди сунуштайт. AlNдин өзгөчө жылуулук өткөрүмдүүлүгүнүн жана электрдик касиеттеринин уникалдуу айкалышы, ошондой эле субстраттын эң сонун механикалык бекемдиги бул пластинаны кубаттуулук электроникасы, жогорку жыштыктагы түзмөктөр жана оптикалык компоненттер сыяктуу талаптуу колдонмолор үчүн артыкчылыктуу тандоого айлантат. Эң сонун жылуулукту таркатуу, аз жоготуу жана жогорку температуралуу чөйрөлөр менен шайкештиги менен, бул пластина жогорку өндүрүмдүүлүккө ээ кийинки муундагы түзмөктөрдү иштеп чыгууга мүмкүндүк берет.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Жогорку өндүрүмдүү AlN катмарыАлюминий нитриди (AlN) төмөнкүлөр менен белгилүүжогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү(~200 Вт/м·К),кең тилкелүү аралык, жанажогорку бузулуу чыңалуусун, бул аны идеалдуу материалга айлантатжогорку кубаттуулуктагы, жогорку жыштыктагы, жанажогорку температуратиркемелер.

Жылтыратылбаган сапфир субстраты (NPSS)Жылтыратылбаган сапфир төмөнкүлөрдү камсыз кылатүнөмдүү, механикалык жактан бекемнегиз, бетти жылтыратуу татаалдыгы жок эпитаксиалдык өсүү үчүн туруктуу пайдубалды камсыз кылат. NPSSтин эң сонун механикалык касиеттери аны татаал чөйрөлөр үчүн бышык кылат.

Жогорку жылуулук туруктуулугуAlN-on-NPSS пластинасы температуранын кескин өзгөрүшүнө туруштук бере алат, бул аны колдонууга ылайыктуу кылатэлектр электроникасы, автомобиль системалары, светодиоддор, жанаоптикалык колдонмолоржогорку температура шарттарында туруктуу иштөөнү талап кылган.

Электр изоляциясыAlN эң сонун электрдик изоляциялык касиетке ээ, бул аны төмөнкү жерлерде колдонууга идеалдуу кылатэлектрдик изоляцияанын ичинде абдан маанилүүРадиожыштык түзүлүштөрүжанамикротолкундуу электроника.

Жогорку сапаттагы жылуулукту таркатууЖогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү менен AlN катмары жылуулуктун натыйжалуу таркалышын камсыз кылат, бул жогорку кубаттуулукта жана жыштыкта иштеген түзмөктөрдүн иштешин жана узак мөөнөттүү иштешин сактоо үчүн маанилүү.

Техникалык параметрлер

Параметр	Техникалык мүнөздөмө
Вафли диаметри	2 дюймдук, 4 дюймдук (өзгөчө өлчөмдөр бар)
Субстраттын түрү	Жылтыратылбаган сапфир субстраты (NPSS)
AlN катмарынын калыңдыгы	2µmден 10µmге чейин (ыңгайлаштырылуучу)
Субстраттын калыңдыгы	430µm ± 25µm (2 дюймдук үчүн), 500µm ± 25µm (4 дюймдук үчүн)
Жылуулук өткөрүмдүүлүгү	200 Вт/м·К
Электрдик каршылык	Жогорку изоляция, радио жыштыктагы колдонмолор үчүн ылайыктуу
Беттин оройлугу	Ra ≤ 0.5µm (AlN катмары үчүн)
Материалдык тазалык	Жогорку тазалыктагы AlN (99,9%)
Түс	Ак/Ачык түстөгү (ачык түстөгү NPSS негизи бар AlN катмары)
Вафли варп	< 30µm (типтүү)
Допинг түрү	Кошулбаган (ыңгайлаштырылышы мүмкүн)

Колдонмолор

TheAlN-on-NPSS пластинасыбир нече тармактардагы жогорку өндүрүмдүү колдонмолордун кеңири түрү үчүн иштелип чыккан:

Жогорку кубаттуулуктагы электроникаAlN катмарынын жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана изоляциялык касиеттери аны идеалдуу материалга айлантаткубат транзисторлору, түзөткүчтөр, жанакубаттуулуктагы интегралдык микросхемаларколдонулганавтомобиль, өнөр жай, жанакайра жаралуучу энергиясистемалар.

Радиожыштыктын (RF) компоненттериAlNдин эң сонун электрдик изоляциялык касиеттери, анын аз жоготуусу менен бирге, төмөнкүлөрдү өндүрүүгө мүмкүндүк беретЖЖ транзисторлору, HEMTs (Жогорку электрондук мобилдүүлүк транзисторлору), жана башкамикротолкундуу компоненттержогорку жыштыктарда жана кубаттуулук деңгээлдеринде натыйжалуу иштешет.

Оптикалык түзүлүштөрAlN-on-NPSS пластиналары колдонулатлазердик диоддор, светодиоддор, жанафотодетекторлор, кайдажогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгүжанамеханикалык бекемдикузак мөөнөттүү иштөө мөөнөтүндө натыйжалуулугун сактоо үчүн абдан маанилүү.

Жогорку температура сенсорлоруВафлинин өтө ысыкка туруштук берүү жөндөмү аны төмөнкүлөр үчүн ылайыктуу кылаттемпература сенсорлоружанаайлана-чөйрөнү көзөмөлдөөсыяктуу тармактардааэрокосмостук, автомобиль, жанамунай жана газ.

Жарым өткөргүчтөрдү таңгактоо: Колдонулган жылуулук тараткычтаржанажылуулукту башкаруу катмарларытаңгактоо системаларында, жарым өткөргүчтөрдүн ишенимдүүлүгүн жана натыйжалуулугун камсыз кылуу.

Суроо-жооп

С: AlN-on-NPSS пластиналарынын кремний сыяктуу салттуу материалдарга караганда негизги артыкчылыгы эмнеде?

A: Негизги артыкчылыгы - AlN'sжогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү, бул жылуулукту натыйжалуу таркатууга мүмкүндүк берет, бул аны идеалдуу кылатжогорку кубаттуулуктагыжанажогорку жыштыктагы колдонмолоржылуулукту башкаруу абдан маанилүү болгон жерде. Мындан тышкары, AlN баркең тилкелүү аралыкжана эң сонунэлектр изоляциясы, аны колдонуу үчүн эң сонун кылатRFжанамикротолкундуу түзүлүштөрсалттуу кремний менен салыштырганда.

С: NPSS пластиналарындагы AlN катмарын ыңгайлаштырууга болобу?

Ж: Ооба, AlN катмарын сиздин колдонууңуздун өзгөчө муктаждыктарын канааттандыруу үчүн калыңдыгы боюнча (2µmден 10µmге чейин же андан көп) ыңгайлаштырса болот. Ошондой эле, биз легирлөө түрү (N-типтеги же P-типтеги) жана адистештирилген функциялар үчүн кошумча катмарлар боюнча ыңгайлаштырууну сунуштайбыз.

С: Автоунаа өнөр жайында бул пластинанын типтүү колдонулушу кандай?

A: Автоунаа өнөр жайында AlN-on-NPSS пластиналары көбүнчө колдонулатэлектр электроникасы, LED жарыктандыруу системалары, жанатемпература сенсорлоруАлар жогорку сапаттагы жылуулукту башкарууну жана электр изоляциясын камсыз кылат, бул ар кандай температура шарттарында иштеген жогорку натыйжалуу системалар үчүн абдан маанилүү.