AlN-on-NPSS Wafer: Жогорку температурадагы, жогорку кубаттуулуктагы жана RF колдонмолору үчүн жылтыратылбаган сапфир субстратындагы жогорку натыйжалуу алюминий нитридинин катмары
Өзгөчөлүктөрү
Жогорку өндүрүмдүүлүктөгү AlN катмары: Алюминий нитриди (AlN) анын белгилүүжогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк(~200 Вт/м·К),кең тилке, жанажогорку бузулуу чыңалуу, аны идеалдуу материал кылыпжогорку күч, жогорку жыштык, жанажогорку температураколдонмолор.
Жылтыратылбаган сапфир субстрат (NPSS): Жылтыратылбаган сапфир аүнөмдүү, механикалык жактан бекембаза, үстүн жылмалоо татаалдыгы жок эпитаксиалдык өсүш үчүн туруктуу негизди камсыз кылуу. NPSSтин эң сонун механикалык касиеттери аны татаал шарттарга туруктуу кылат.
Жогорку жылуулук туруктуулугу: AlN-on-NPSS пластинкасы температуранын кескин өзгөрүүсүнө туруштук бере алат жана аны колдонууга ылайыктуу кылат.электр энергиясы, автомобиль системалары, Светодиоддор, жанаоптикалык колдонмолоржогорку температуранын шарттарында туруктуу аткарууну талап кылат.
Электрдик изоляция: AlN эң сонун электрдик изоляциялык касиеттерге ээ, бул аны кайда колдонуу үчүн идеалдуу кылатэлектрдик изоляциясындуу, анын ичиндеRF түзмөктөржанамикротолкундуу электроника.
Жогорку жылуулук диссипация: Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк менен AlN катмары жылуулуктун эффективдүү таралышын камсыздайт, бул жогорку кубаттуулукта жана жыштыкта иштеген аппараттардын иштешин жана узак мөөнөттүү иштешин камсыз кылуу үчүн маанилүү.
Техникалык параметрлер
| Параметр | Спецификация |
| Вафли диаметри | 2 дюймдук, 4 дюймдук (өздүк өлчөмдөрү бар) |
| Субстрат түрү | Жылтыратылбаган сапфир субстрат (NPSS) |
| AlN катмарынын калыңдыгы | 2µm - 10µm (ыңгайлаштырылган) |
| Субстрат калыңдыгы | 430µm ± 25µm (2 дюйм үчүн), 500µm ± 25µm (4-дюйм үчүн) |
| Жылуулук өткөргүчтүк | 200 Вт/м·К |
| Электрдик каршылык | Жогорку жылуулоо, RF колдонмолор үчүн ылайыктуу |
| Беттик тегиздик | Ra ≤ 0,5µm (AlN катмары үчүн) |
| Материалдык тазалык | Жогорку тазалыктагы AlN (99,9%) |
| Түс | Ак/Оф-Ак (ачык түстүү NPSS субстраты менен AlN катмары) |
| Wafer Warp | < 30µm (типтүү) |
| Допинг түрү | Кошумча (өзгөчөлөнтсө болот) |
Тиркемелер
TheAlN-on-NPSS пластинкасыбир нече тармактарда жогорку өндүрүмдүүлүктөгү колдонмолордун кеңири түрлөрү үчүн иштелип чыккан:
Жогорку кубаттуу электроника: AlN катмарынын жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана изоляциялык касиеттери аны идеалдуу материал кылаткубаттуу транзисторлор, түзөткүчтөр, жанакубаттуу ICичинде колдонулатавтомобиль, өнөр жай, жанакайра жаралуучу энергиясистемалары.
Радио жыштык (RF) компоненттери: AlNнын эң сонун электр изоляциялык касиеттери, анын аз жоготуусу менен бирге, өндүрүүгө мүмкүндүк беретRF транзисторлору, HEMTs (жогорку электрондук кыймылдуу транзисторлор), жана башкалармикротолкундуу компоненттержогорку жыштыктарда жана кубаттуулук деңгээлинде натыйжалуу иштешет.
Оптикалык түзмөктөр: AlN-on-NPSS пластиналар колдонулатлазердик диоддор, Светодиоддор, жанафотодетекторлор, кайдажогорку жылуулук өткөрүмдүүлүкжанамеханикалык бышыктыкузак өмүр бою аткарууну сактоо үчүн маанилүү болуп саналат.
Жогорку температура сенсорлору: Вафлидин өтө ысыкка туруштук берүү жөндөмү аны ылайыктуу кылаттемпература сенсорлоружанаэкологиялык мониторингсыяктуу тармактардааэрокосмостук, автомобиль, жанамунай жана газ.
Жарым өткөргүч пакеттөө: ичинде колдонулат жылуулук тараткычтаржанажылуулук башкаруу катмарларыпакеттөө системаларында, жарым өткөргүчтөрдүн ишенимдүүлүгүн жана натыйжалуулугун камсыз кылуу.
С&Ж
С: AlN-on-NPSS пластинкасынын кремний сыяктуу салттуу материалдардан негизги артыкчылыгы эмнеде?
A: Негизги артыкчылыгы AlN болуп саналатжогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк, бул жылуулукту натыйжалуу таркатууга мүмкүндүк берет, бул үчүн идеалдуу кылатжогорку күчжанажогорку жыштыктагы колдонмолоржылуулук башкаруу абдан маанилүү болуп саналат. Мындан тышкары, AlN баркең тилкежана сонунэлектр изоляциясы, аны колдонуу үчүн мыкты кылатRFжанамикротолкундуу приборлорсалттуу кремний менен салыштырганда.
С: NPSS пластинкасындагы AlN катмарын ыңгайлаштырса болобу?
Ж: Ооба, AlN катмары колдонмоңуздун өзгөчө муктаждыктарын канааттандыруу үчүн калыңдыгы боюнча (2мкмден 10мкм же андан көпкө чейин) ылайыкташтырылышы мүмкүн. Биз ошондой эле допинг түрүнө (N-тип же P-тип) жана адистештирилген функциялар үчүн кошумча катмарларды ыңгайлаштырууну сунуштайбыз.
С: Автоунаа тармагында бул пластинка үчүн типтүү колдонмо кандай?
A: Автоунаа өнөр жайында AlN-on-NPSS пластинкалары көбүнчө колдонулатэлектр энергиясы, LED жарык системалары, жанатемпература сенсорлору. Алар ар кандай температуралык шарттарда иштеген жогорку эффективдүү системалар үчүн өтө маанилүү болгон жогорку жылуулук башкарууну жана электрдик изоляцияны камсыз кылат.
Толук диаграмма
