Вакуумдук соргуч сүрүлмөлүү соргучту алып жүрүүчү бионикалык тайгаланбаган пластинка
Бионикалык тайгалоого каршы аянтчанын өзгөчөлүктөрү:
• атайын инженердик elastomer курама материалды колдонуу, эч кандай калдыктары жетүү үчүн, булганышы-эркин таза анти-тайгалоо таасири, кемчиликсиз жарым өткөргүч өндүрүш чөйрөнүн талаптары үчүн.
• Так микро-нано түзүмү массивинин дизайны аркылуу, үстүнкү сүрүлүүнүн мүнөздөмөлөрүн акылдуу башкаруу, ал эми ультра аз адгезияга жетишүүдө жогорку сүрүлүү коэффициентин сактоо.
• Интерфейс механикасынын уникалдуу дизайны жогорку тангенциалдык сүрүлүүнү (μ>2,5) жана төмөн нормалдуу адгезияны (<0,1N/cm²) мыкты аткарууга мүмкүндүк берет.
• Жарым өткөргүч өнөр жайы үчүн атайын иштелип чыккан полимердик материалдар, алар микро жана нано өндүрүш технологиясы аркылуу 100 000 кайталап колдонуу үчүн алсызданбай туруктуу иштөөгө жетишет.

Бионикалык тайгаланууга каршы колдонмо:
(1) Жарым өткөргүч өнөр жайы
1. Вафли өндүрүшү:
· 12 дюймга (50-300мкм) чейин өтө жука пластинкаларды өткөрүүдө тайгаланбаган жайгаштыруу
· Литография машинасынын пластинкасын так бекитүү
· Жабдууларды сыноо үчүн тайгаланбаган пластинка
2. Пакет тести:
· Кремний карбиди/галий нитридинин кубаттуулук түзүлүштөрүн кыйратпай бекитүү
· Чипти орнотуу учурунда тайгаланууга каршы буфер
· Зонд столунун соккусуна жана тайгаланууга туруктуулугун текшериңиз
(2) Фотоэлектрдик өнөр жай
1. Кремний пластинкасын иштетүү:
· Монокристалдуу кремний таякчасын кесүү учурунда тайгаланбай бекитүү
· Ультра жука кремний пластинасы (<150μm) тайгаланбайт
· Экран басып чыгаруучу машинанын кремний пластинкасынын жайгашуусу
2. Компонентти чогултуу:
· Айнек арткы панели тайгаланбаган ламинатталган
· Рамканы орнотуу позициясы
· Байланыш кутучасы бекитилген
(3) фотоэлектр өнөр жайы
1. Дисплей панели:
· Тайгаланбаган OLED/LCD айнек субстрат процесси
· Поляризатордун так жайгашуусу
· Сокууга жана тайгалоого каршы сыноочу жабдуулар
2. Оптикалык компоненттер:
· Объективдин модулу тайгаланбайт
· Призманы/күзгүнү фиксациялоо
· Соккуга каршы лазердик оптикалык система
(4) Тактык аспаптар
1. Литография машинасынын так платформасы тайгаланууга каршы
2. Издөөчү аппаратуранын өлчөө таблицасы соккудан корголгон
3. Автоматтык жабдуулар механикалык кол тайгаланбайт

Техникалык маалыматтар:
Материалдык курамы: | C, O, Si |
Жээктин катуулугу (A): | 50~55 |
Эластикалык калыбына келтирүү коэффициенти: | 1.28 |
Жогорку толеранттуулук температурасы: | 260℃ |
сүрүлүү коэффициенти: | 1.8 |
PLASMA каршылык: | Сабырдуулук |
XKH кызматтары:
XKH суроо-талапты талдоо, схемаларды долбоорлоо, тез текшерүү жана массалык өндүрүштү колдоону камтыган бионикалык тайгаланууга каршы мат толук процессти ыңгайлаштыруу кызматтарын көрсөтөт. Микро жана нано өндүрүш технологиясына таянуу менен, XKH жарым өткөргүч, фотоэлектрдик жана фотоэлектр өнөр жайы үчүн профессионалдык тайгаланууга каршы чечимдерди сунуштайт жана кардарларга таштандынын ылдамдыгын 0,005% га төмөндөтүү жана түшүмдү 15% га жогорулатуу сыяктуу олуттуу эффекттерге жетишүүгө ийгиликтүү жардам берди.
Толук диаграмма

