Ыңгайлаштырылган GaN-on-SiC эпитаксиалдык вафлилери (100мм, 150мм) – SiC субстраттарынын бир нече параметрлери (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)
Өзгөчөлүктөрү
●Эпитаксиалдык катмардын калыңдыгы: Ыңгайлаштырылгандан1,0 мкмчейин3,5 мкм, жогорку кубаттуулук жана жыштык аткаруу үчүн оптималдаштырылган.
●SiC субстрат параметрлери: Ар кандай SiC субстраттары менен жеткиликтүү, анын ичинде:
- 4H-N: Жогорку сапаттагы азот кошулган 4H-SiC жогорку жыштыктагы, жогорку кубаттуулуктагы колдонмолор үчүн.
- HPSI: Электрдик изоляцияны талап кылган колдонмолор үчүн жогорку тазалыктагы жарым изоляциялоочу SiC.
- 4H/6H-P: Жогорку натыйжалуулуктун жана ишенимдүүлүктүн балансы үчүн 4H жана 6H-SiC аралаштырылган.
●Вафель өлчөмдөрү: жеткиликтүү100ммжана150ммтүзмөктү масштабдоо жана интеграциялоо боюнча ар тараптуулугу үчүн диаметрлер.
●Жогорку бузулуу чыңалуу: SiC технологиясы боюнча GaN жогорку кубаттуулуктагы тиркемелерде бекем иштөөгө мүмкүнчүлүк берип, жогорку бузулуу чыңалуусун камсыз кылат.
●Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк: SiC мүнөздүү жылуулук өткөрүмдүүлүк (болжол менен 490 Вт/м·К) кубаттуулукту көп талап кылуучу колдонмолор үчүн эң сонун жылуулук таркатууну камсыз кылат.
Техникалык мүнөздөмөлөр
Параметр | Нарк |
Вафли диаметри | 100мм, 150мм |
Эпитаксиалдык катмардын калыңдыгы | 1,0 мкм – 3,5 мкм (ыңгайлаштырылган) |
SiC субстрат түрлөрү | 4H-N, HPSI, 4H/6H-P |
SiC жылуулук өткөрүмдүүлүк | 490 Вт/м·К |
SiC каршылык | 4H-N: 10^6 Ом·см,HPSI: Жарым изоляциялоочу,4H/6H-P: Аралаш 4H/6H |
GaN катмарынын калыңдыгы | 1,0 мкм – 2,0 мкм |
GaN алып жүрүүчү концентрациясы | 10^18 см^-3 - 10^19 см^-3 (ыңгайлаштырылган) |
Вафли бетинин сапаты | RMS оройлугу: < 1 нм |
Дислокациянын тыгыздыгы | < 1 x 10^6 см^-2 |
Wafer Bow | < 50 мкм |
Wafer Flatness | < 5 мкм |
Максималдуу иштөө температурасы | 400°C (GaN-on-SiC түзмөктөрүнө мүнөздүү) |
Тиркемелер
●Электроникасы:GaN-on-SiC пластиналары жогорку эффективдүүлүктү жана жылуулуктун диссипациясын камсыздайт, бул аларды электр унааларында, энергиянын кайра жаралуучу булактарында жана өнөр жай техникаларында колдонулуучу күч күчөткүчтөр, энергияны конвертирлөөчү түзүлүштөр жана электр инвертордук схемалары үчүн идеалдуу кылат.
●RF күч күчөткүчтөрү:GaN жана SiC айкалышы телекоммуникация, спутниктик байланыш жана радар системалары сыяктуу жогорку жыштыктагы, кубаттуу RF колдонмолору үчүн идеалдуу.
●Аэрокосмикалык жана коргонуу:Бул пластиналар катаал шарттарда иштей ала турган жогорку натыйжалуу электр электроникасын жана байланыш системаларын талап кылган аэрокосмостук жана коргонуу технологиялары үчүн ылайыктуу.
●Автомобилдик колдонмолор:Электр унааларындагы (EVs), гибриддик унаалардагы (HEVs) жана кубаттоочу станциялардагы жогорку өндүрүмдүүлүктөгү энергия тутумдары үчүн идеалдуу, энергияны эффективдүү конверсиялоону жана башкарууну камсыз кылат.
●Аскердик жана радар системалары:GaN-on-SiC пластиналары радар системаларында алардын жогорку эффективдүүлүгү, кубаттуулукту башкаруу мүмкүнчүлүктөрү жана талап кылынган шарттарда жылуулук көрсөткүчтөрү үчүн колдонулат.
●Микротолкун жана Миллиметрдик Толкун Колдонмолору:Кийинки муундагы байланыш системалары үчүн, анын ичинде 5G, GaN-on-SiC жогорку кубаттуулуктагы микротолкундуу жана миллиметрдик толкун диапазондорунда оптималдуу аткарууну камсыз кылат.
С&Ж
Q1: GaN үчүн субстрат катары SiC колдонуунун кандай пайдасы бар?
A1:Кремний карбиди (SiC) кремний сыяктуу салттуу субстраттарга салыштырмалуу жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктү, жогорку бузулуу чыңалуусун жана механикалык күчтү сунуш кылат. Бул GaN-on-SiC пластинкаларын жогорку кубаттуулуктагы, жогорку жыштыктагы жана жогорку температурадагы колдонмолор үчүн идеалдуу кылат. SiC субстраты GaN аппараттары тарабынан пайда болгон жылуулукту таркатууга жардам берип, ишенимдүүлүктү жана аткарууну жакшыртат.
Q2: Эпитаксиалдык катмардын калыңдыгын конкреттүү колдонмолор үчүн ыңгайлаштырса болобу?
A2:Ооба, эпитаксиалдык катмардын калыңдыгын бир катар чегинде ыңгайлаштырса болот1,0 мкмден 3,5 мкмге чейин, колдонмоңуздун кубаттуулугуна жана жыштыгына жараша. Биз GaN катмарынын калыңдыгын кубат күчөткүчтөрү, RF тутумдары же жогорку жыштыктагы схемалар сыяктуу белгилүү бир түзүлүштөрдүн иштешин оптималдаштыруу үчүн ылайыкташтыра алабыз.
Q3: 4H-N, HPSI жана 4H/6H-P SiC субстраттарынын ортосунда кандай айырма бар?
A3:
- 4H-N: Азот кошулган 4H-SiC көбүнчө жогорку электрондук аткарууну талап кылган жогорку жыштыктагы колдонмолор үчүн колдонулат.
- HPSI: Жогорку тазалыктагы жарым изоляциялоочу SiC минималдуу электр өткөрүмдүүлүгүн талап кылган колдонмолор үчүн идеалдуу электрдик изоляцияны камсыз кылат.
- 4H/6H-P: 4H жана 6H-SiC аралашмасы, ал эффективдүүлүктү тең салмактайт, жогорку эффективдүүлүк менен бышыктыктын айкалышын сунуштайт, ар кандай электр энергиясы үчүн ылайыктуу.
Q4: Бул GaN-on-SiC пластиналар электр унаалары жана кайра жаралуучу энергия сыяктуу жогорку кубаттуулуктагы колдонмолорго ылайыктуубу?
A4:Ооба, GaN-on-SiC пластиналары электр унаалары, кайра жаралуучу энергия жана өнөр жай системалары сыяктуу жогорку кубаттуулуктагы колдонмолорго ылайыктуу. GaN-on-SiC түзүлүштөрүнүн жогорку бузулуу чыңалуусу, жогорку жылуулук өткөргүчтүгү жана электр менен иштөө мүмкүнчүлүктөрү аларга кубаттуулукту конвертациялоо жана башкаруу схемаларында натыйжалуу иштөөгө мүмкүндүк берет.
Q5: Бул пластиналар үчүн типтүү дислокация тыгыздыгы кандай?
A5:Бул GaN-on-SiC пластинкаларынын дислокация тыгыздыгы адатта болуп саналат< 1 x 10^6 см^-2, бул жогорку сапаттагы эпитаксиалдык өсүштү камсыз кылат, кемчиликтерди азайтат жана аппараттын иштешин жана ишенимдүүлүгүн жогорулатат.
Q6: Мен белгилүү бир пластинанын өлчөмүн же SiC субстрат түрүн сурасам болобу?
A6:Ооба, биз сиздин колдонмоңуздун өзгөчө муктаждыктарын канааттандыруу үчүн ылайыкташтырылган пластинка өлчөмдөрүн (100мм жана 150мм) жана SiC субстрат түрлөрүн (4H-N, HPSI, 4H/6H-P) сунуштайбыз. Сураныч, кошумча ыңгайлаштыруу параметрлери жана талаптарыңызды талкуулоо үчүн биз менен байланышыңыз.
Q7: GaN-on-SiC пластинкалары экстремалдык шарттарда кандай иштешет?
A7:GaN-on-SiC пластинкалары жогорку жылуулук туруктуулугу, жогорку кубаттуулук менен иштөө жана жылуулукту эң сонун чачыратуу жөндөмдүүлүгүнөн улам экстремалдык чөйрөлөр үчүн идеалдуу. Бул пластиналар аэрокосмостук, коргонуу жана өнөр жайлык колдонмолордо көп кездешкен жогорку температурада, жогорку кубаттуулукта жана жогорку жыштыкта жакшы иштешет.
Корутунду
Биздин жекелештирилген GaN-on-SiC эпитаксиалдык вафлилери GaN жана SiCтин өркүндөтүлгөн касиеттерин бириктирип, жогорку кубаттуулуктагы жана жогорку жыштыктагы колдонмолордо эң жакшы көрсөткүчтү камсыз кылат. SiC субстраттарынын бир нече варианттары жана өзгөчөлөштүрүлүүчү эпитаксиалдык катмарлары менен бул пластиналар жогорку натыйжалуулукту, жылуулукту башкарууну жана ишенимдүүлүктү талап кылган тармактар үчүн идеалдуу. Кубаттуу электроника, RF тутумдары же коргонуу колдонмолору үчүнбү, биздин GaN-on-SiC пластиналарыбыз сизге керектүү аткарууну жана ийкемдүүлүктү сунуштайт.
Толук диаграмма



