Диаметри 300x1.0 ммт Калыңдыгы сапфир вафли C-тегиздик SSP/DSP
Вафли кутучасын киргизүү
| Кристалл материалдары | 99,999% Al2O3, жогорку тазалык, монокристаллдык, Al2O3 | |||
| Кристалл сапаты | Кошулмалар, блок белгилери, эгиздер, түс, микро көбүкчөлөр жана чачыратуу борборлору жок. | |||
| Диаметри | 2 дюйм | 3 дюйм | 4 дюйм | 6 дюйм ~ 12 дюйм |
| 50,8± 0,1мм | 76.2±0.2мм | 100±0.3мм | Стандарттык өндүрүштүн жоболоруна ылайык | |
| Калыңдыгы | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Кардар тарабынан ылайыкташтырылышы мүмкүн |
| Багыттоо | C-тегиздигинен (0001) M-тегиздигине (1-100) же A-тегиздигине (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-тегиздигине (1-1 0 2), A-тегиздигине (1 1-2 0), M-тегиздигине (1-1 0 0), каалаган багыт, каалаган бурч | |||
| Баштапкы жалпак узундук | 16.0±1мм | 22.0±1.0мм | 32,5±1,5 мм | Стандарттык өндүрүштүн жоболоруна ылайык |
| Негизги жалпак багыт | А-формасындагы тегиздик (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
| TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| ЖАА | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Верп | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Алдыңкы бети | Эпи-жылтыратылган (Ra < 0.2nm) | |||
*Жаа: Эркин, кысылбаган пластинанын медиандык бетинин борбордук чекитинин эталондук тегиздиктен четтөөсү, мында эталондук тегиздик тең капталдуу үч бурчтуктун үч бурчу менен аныкталат.
*Warp: Эркин, кысылбаган пластинанын медиандык бетинин жогоруда аныкталган эталондук тегиздиктен максималдуу жана минималдуу аралыктарынын айырмасы.
Кийинки муундагы жарым өткөргүч түзүлүштөр жана эпитаксиалдык өсүш үчүн жогорку сапаттагы өнүмдөр жана кызматтар:
Жогорку деңгээлдеги жалпактык (көзөмөлдөгү TTV, жаа, варп ж.б.)
Жогорку сапаттагы тазалоо (бөлүкчөлөрдүн аз булганышы, металлдын аз булганышы)
Субстраттын үстүнкү бетин бургулоо, оюк жасоо, кесүү жана арткы бетин жылтыратуу
Субстраттын тазалыгы жана формасы сыяктуу маалыматтарды тиркөө (милдеттүү эмес)
Эгерде сизге сапфир субстраттары керек болсо, байланышуудан тартынбаңыз:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Биз сизге мүмкүн болушунча тезирээк кайрылабыз!
Толук диаграмма





