Диаметри 300x1.0 ммт Калыңдыгы сапфир вафли C-тегиздик SSP/DSP

Кыскача сүрөттөмө:

Shanghai Xinkehui New Material Co., Ltd. ар кандай беттик багыттары (c, r, a жана m-тегиздик) бар сапфир пластиналарын чыгара алат жана кесилген бурчту 0,1 градуска чейин башкара алат. Биздин менчик технологиябызды колдонуу менен биз эпитаксиалдык өсүү жана пластиналарды байланыштыруу сыяктуу колдонмолор үчүн зарыл болгон жогорку сапатты камсыздай алабыз.


Өзгөчөлүктөрү

тест1

Вафли кутучасын киргизүү

Кристалл материалдары 99,999% Al2O3, жогорку тазалык, монокристаллдык, Al2O3
Кристалл сапаты Кошулмалар, блок белгилери, эгиздер, түс, микро көбүкчөлөр жана чачыратуу борборлору жок.
Диаметри 2 дюйм 3 дюйм 4 дюйм 6 дюйм ~ 12 дюйм
50,8± 0,1мм 76.2±0.2мм 100±0.3мм Стандарттык өндүрүштүн жоболоруна ылайык
Калыңдыгы 430±15µm 550±15µm 650±20µm Кардар тарабынан ылайыкташтырылышы мүмкүн
Багыттоо C-тегиздигинен (0001) M-тегиздигине (1-100) же A-тегиздигине (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-тегиздигине (1-1 0 2), A-тегиздигине (1 1-2 0), M-тегиздигине (1-1 0 0), каалаган багыт, каалаган бурч
Баштапкы жалпак узундук 16.0±1мм 22.0±1.0мм 32,5±1,5 мм Стандарттык өндүрүштүн жоболоруна ылайык
Негизги жалпак багыт А-формасындагы тегиздик (1 1-2 0 ) ± 0,2°      
TTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
LTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
TIR ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
ЖАА ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Верп ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Алдыңкы бети Эпи-жылтыратылган (Ra < 0.2nm)

*Жаа: Эркин, кысылбаган пластинанын медиандык бетинин борбордук чекитинин эталондук тегиздиктен четтөөсү, мында эталондук тегиздик тең капталдуу үч бурчтуктун үч бурчу менен аныкталат.

*Warp: Эркин, кысылбаган пластинанын медиандык бетинин жогоруда аныкталган эталондук тегиздиктен максималдуу жана минималдуу аралыктарынын айырмасы.

Кийинки муундагы жарым өткөргүч түзүлүштөр жана эпитаксиалдык өсүш үчүн жогорку сапаттагы өнүмдөр жана кызматтар:

Жогорку деңгээлдеги жалпактык (көзөмөлдөгү TTV, жаа, варп ж.б.)

Жогорку сапаттагы тазалоо (бөлүкчөлөрдүн аз булганышы, металлдын аз булганышы)

Субстраттын үстүнкү бетин бургулоо, оюк жасоо, кесүү жана арткы бетин жылтыратуу

Субстраттын тазалыгы жана формасы сыяктуу маалыматтарды тиркөө (милдеттүү эмес)

Эгерде сизге сапфир субстраттары керек болсо, байланышуудан тартынбаңыз:

почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Биз сизге мүмкүн болушунча тезирээк кайрылабыз!

Толук диаграмма

vcs (2)
vcs (1)

  • Мурунку:
  • Кийинки:

  • Билдирүүңүздү бул жерге жазып, бизге жөнөтүңүз