Кош станция квадраттык машина монокристаллдуу кремний таякчасын иштетүү 6/8/12 дюймдук беттин тегиздиги Ra≤0.5μm

Кош станциянын квадраттык машинасы монокристаллдуу кремний таякчасын иштетүү 6/8/12 дюймдук беттин тегиздиги Ra≤0.5μm Өзгөчөлөштүрүлгөн сүрөт

Кыска сүрөттөмө:

Монокристаллдуу кремний кош станциясы чарчы машинасы монокристаллдык кремний таякчаларын (куйма) иштетүү үчүн натыйжалуу жабдуу. Ал кош станциянын синхрондуу операция дизайнын кабыл алат жана бир эле учурда эки кремний таякчасын кесип, өндүрүштүн натыйжалуулугун бир кыйла жогорулатат. Аппарат цилиндрдик кремний таякчаларын алмаз зым кесүү технологиясы же ички тегерек араа тилкелери аркылуу төрт бурчтуу/квази чарчы кремний блокторуна (Грит) кайра иштетип, кийинки кесүүгө даярдайт (мисалы, кремний пластинкаларын жасоо) жана фотоэлектрдик жана жарым өткөргүч өнөр жайларында кремний материалдарын иштетүү шилтемелеринде кеңири колдонулат.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Жабдуу өзгөчөлүктөрү:

(1) Кош станция синхрондуу иштетүү
· Кош эффективдүүлүк: Эки кремний таякчасын бир убакта иштетүү (Ø6"-12") Simplex жабдууларына караганда өндүрүмдүүлүгүн 40%-60% жогорулатат.

· Көз карандысыз башкаруу: Ар бир станция өз алдынча кесүү параметрлерин (чыңалуусу, азыктандыруу ылдамдыгы) ар кандай кремний таяк спецификацияларына ылайыкташа алат.

(2) Жогорку тактыктагы кесүү
· Өлчөмдүү тактык: чарчы тилке тарап расстояние сабырдуулук ± 0.15mm, диапазону ≤0.20mm.

· Surface сапаты: кесүү жээк сындыруу <0.5mm, кийинки майдалоо көлөмүн азайтуу.

(3) Акылдуу башкаруу
· Адаптивдүү кесүү: кремний таякчасынын морфологиясына реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүү, кесүү жолун динамикалык жөнгө салуу (мисалы, ийилген кремний таякчасын иштетүү).

· Маалыматтарды көзөмөлдөө: МЧС тутумунун докингине колдоо көрсөтүү үчүн ар бир кремний таякчасынын иштетүү параметрлерин жазыңыз.

(4) Төмөн керектелүүчү наркы
· Алмаз зым керектөө: ≤0.06m / мм (кремний таяк узундугу), зым диаметри ≤0.30mm.

· Муздаткычтын айлануусу: чыпкалоо системасы кызмат мөөнөтүн узартат жана суюктук калдыктарын жок кылат.

Технология жана өнүгүү артыкчылыктары:

(1) Кесүү технологиясын оптималдаштыруу
- Көп линиялуу кесүү: 100-200 алмаз сызыктары параллелдүү колдонулат жана кесүү ылдамдыгы ≥40мм / мин.

- Чыңалууну көзөмөлдөө: зым үзүлүү коркунучун азайтуу үчүн жабык циклди жөнгө салуу системасы (±1N).

(2) Шайкештикти кеңейтүү
- Материалдык ыңгайлаштыруу: TOPCon, HJT жана башка жогорку эффективдүү батарея кремний таякчалары менен шайкеш келген P-түрү/N-типтеги монокристалл кремнийди колдоо.

- ийкемдүү өлчөмү: кремний таяк узундугу 100-950mm, чарчы таяк тарап аралык 166-233mm жөнгө.

(3) Автоматташтыруу
- Робот жүктөө жана түшүрүү: кремний таякчаларын автоматтык түрдө жүктөө / түшүрүү, ≤3 мүнөттө.

- Интеллектуалдык диагностика: пландаштырылбаган токтоп калууларды азайтуу үчүн алдын ала тейлөө.

(4) Өнөр жай жетекчилиги
- Wafer колдоо: чарчы таякчалары менен ≥100μm ультра жука кремнийди иштете алат, фрагментация ылдамдыгы <0,5%.

- Энергияны керектөө оптималдаштыруу: кремний таяк бирдигине энергия керектөө 30% га кыскарган (салттуу жабдууларга салыштырмалуу).

Техникалык параметрлери:

Параметрдин аталышы	Индекс мааниси
Иштелген тилкелердин саны	2 даана / комплект
Иштетүү тилкесинин узундугу диапазону	100~950мм
Иштетүү маржа диапазону	166~233мм
Кесүү ылдамдыгы	≥40мм/мин
Алмаз зым ылдамдыгы	0~35м/с
Алмаздын диаметри	0,30 мм же андан аз
Сызыктуу керектөө	0,06 м/мм же андан аз
Туура келген тегерек таяк диаметри	Даяр чарчы таяк диаметри +2мм, жылтыратуу өтүү ылдамдыгын камсыз кылуу
Эң сонун сыныктарды көзөмөлдөө	Чийки чети ≤0,5 мм, чип жок, бетинин сапаты жогору
Арктын узундугунун бирдейлиги	Проекция диапазону <1,5 мм, кремний таякчасынын бурмаланышынан башкасы
Машина өлчөмдөрү (бир машина)	4800×3020×3660мм
Жалпы номиналдык кубаттуулук	56 кВт
Жабдуулардын өлүк салмагы	12т

иштетүү тактык индекси таблица:

Так нерсе	Толеранттуулук диапазону
Чарчы тилкенин маржа сабырдуулугу	±0,15мм
Чарчы тилкенин четинин диапазону	≤0,20мм
Чарчы таякчанын бардык тарабындагы бурч	90°±0,05°
Чарчы таякчанын тегиздиги	≤0,15мм
Роботтун кайталанган жайгашуу тактыгы	±0,05мм

XKH кызматтары:

XKH монокристаллдуу кремний кош станциялуу машиналар үчүн толук цикл кызматтарын көрсөтөт, анын ичинде жабдууларды ыңгайлаштыруу (чоң кремний таякчалары менен шайкеш келет), процессти ишке киргизүү (кесүү параметрин оптималдаштыруу), оперативдүү окутуу жана сатуудан кийинки колдоо (негизги бөлүктөр менен камсыздоо, аралыктан диагностика), кардарлардын жогорку түшүмгө жетишин камсыз кылуу (> 99%) жана төмөнкү керектелүүчү чыгымдарды өндүрүүнү камсыз кылуу, ошондой эле техникалык баадагы өндүрүштү оптималдаштыруу). Жеткирүү мөөнөтү 2-4 ай.