Кош станциялуу чарчы машина монокристаллдык кремний таякчасын иштетүү 6/8/12 дюймдук беттик жалпактык Ra≤0.5μm
Жабдуулардын мүнөздөмөлөрү:
(1) Кош станциялуу синхрондуу иштетүү
· Кош эффективдүүлүк: Эки кремний таякчасын (Ø6"-12") бир убакта иштетүү симплекс жабдууларына салыштырмалуу өндүрүмдүүлүктү 40%-60% га жогорулатат.
· Көз карандысыз башкаруу: Ар бир станция ар кандай кремний таякчасынын мүнөздөмөлөрүнө ылайыкташуу үчүн кесүү параметрлерин (чыңалуу, берүү ылдамдыгы) өз алдынча тууралай алат.
(2) Жогорку тактыктагы кесүү
· Өлчөмдөрдүн тактыгы: төрт бурчтуу тилкенин каптал аралыкка чыдамдуулугу ±0,15 мм, диапазону ≤0,20 мм.
· Беттин сапаты: кесүүчү четинин сынышы <0,5 мм, кийинки майдалоо көлөмүн азайтат.
(3) Акылдуу башкаруу
· Адаптивдүү кесүү: кремний таякчасынын морфологиясын реалдуу убакытта көзөмөлдөө, кесүү жолун динамикалык түрдө тууралоо (мисалы, ийилген кремний таякчасын иштетүү).
· Маалыматтарды көзөмөлдөө: MES системасын докко туташтырууну колдоо үчүн ар бир кремний таякчасынын иштетүү параметрлерин жаздыруу.
(4) Аз чыгымдалуучу каражат
· Алмаз зымдын сарпталышы: ≤0,06 м/мм (кремний таякчасынын узундугу), зымдын диаметри ≤0,30 мм.
· Муздаткыч суюктуктун айлануусу: чыпкалоо системасы кызмат мөөнөтүн узартат жана калдык суюктуктун жок кылынышын азайтат.
Технологиянын жана иштеп чыгуунун артыкчылыктары:
(1) Кесүү технологиясын оптималдаштыруу
- Көп сызыктуу кесүү: 100-200 алмаз сызыктары параллелдүү колдонулат, ал эми кесүү ылдамдыгы ≥40мм/мин.
- Чыңалууну башкаруу: зымдын үзүлүү коркунучун азайтуу үчүн жабык циклдик жөнгө салуу системасы (±1N).
(2) Шайкештикти кеңейтүү
- Материалдык адаптация: TOPCon, HJT жана башка жогорку натыйжалуу батареялык кремний таякчалары менен шайкеш келген P-типтеги/N-типтеги монокристаллдык кремнийди колдойт.
- Ийкемдүү өлчөмү: кремний таякчасынын узундугу 100-950 мм, төрт бурчтуу таякчанын каптал аралыгы 166-233 мм жөнгө салынат.
(3) Автоматташтырууну жаңыртуу
- Робот менен жүктөө жана түшүрүү: кремний таякчаларын автоматтык түрдө жүктөө/түшүрүү, ≤3 мүнөт.
- Акылдуу диагностика: Пландалбаган иштебей калуу убактысын азайтуу үчүн алдын ала техникалык тейлөө.
(4) Тармактык лидерлик
- Вафли таянычы: төрт бурчтуу таякчалар менен ≥100 мкм ультра жука кремнийди иштете алат, фрагментация ылдамдыгы <0,5%.
- Энергияны керектөөнү оптималдаштыруу: Кремний таякчасынын бирдигине энергияны керектөө 30% га азаят (салттуу жабдууларга салыштырмалуу).
Техникалык параметрлер:
| Параметрдин аталышы | Индекс мааниси |
| Иштетилген тилкелердин саны | 2 даана/комплект |
| Иштетүү тилкесинин узундугунун диапазону | 100~950 мм |
| Машина иштетүү чеги диапазону | 166~233 мм |
| Кесүү ылдамдыгы | ≥40 мм/мин |
| Алмаз зымынын ылдамдыгы | 0~35м/с |
| Алмаз диаметри | 0,30 мм же андан аз |
| Сызыктуу керектөө | 0,06 м/мм же андан аз |
| Шайкеш келген тегерек таякчанын диаметри | Бүткөн чарчы таякчанын диаметри +2 мм, жылтыратуу ылдамдыгын камсыз кылыңыз |
| Кескин сынууларды көзөмөлдөө | Чийки чети ≤0.5 мм, сынып калбайт, жогорку сапаттагы бети |
| Дого узундугунун бирдейлиги | Проекциялоо диапазону <1.5 мм, кремний таякчасынын бурмаланышынан тышкары |
| Машинанын өлчөмдөрү (бир машина) | 4800×3020×3660мм |
| Жалпы номиналдык кубаттуулук | 56 кВт |
| Жабдуулардын өлүү салмагы | 12т |
Иштөө тактыгынын индексинин таблицасы:
| Тактык буюму | Чыдамдуулук диапазону |
| Квадрат тилкесинин четине чыдамдуулук | ±0,15 мм |
| Чарчы тилкенин четинин диапазону | ≤0.20 мм |
| Квадрат таякчанын бардык тарабындагы бурч | 90°±0.05° |
| Төрт бурчтуу таякчанын жалпактыгы | ≤0.15 мм |
| Робот кайталап жайгаштыруу тактыгын | ±0,05 мм |
XXKH кызматтары:
XKH монокристаллдык кремний кош станциялуу машиналар үчүн толук циклдүү кызматтарды көрсөтөт, анын ичинде жабдууларды ыңгайлаштыруу (чоң кремний таякчалары менен шайкеш келет), процессти ишке киргизүү (кесүү параметрлерин оптималдаштыруу), операциялык окутуу жана сатуудан кийинки колдоо (негизги тетиктерди жеткирүү, алыстан диагностикалоо), кардарлардын жогорку өндүрүмдүүлүккө (>99%) жана аз чыгымдалуучу өндүрүшкө жетишүүсүн камсыз кылуу, ошондой эле техникалык жаңыртууларды (мисалы, жасалма интеллект менен кесүүнү оптималдаштыруу) камсыз кылуу. Жеткирүү мөөнөтү 2-4 ай.
Толук диаграмма









