Жарым өткөргүчтөр үчүн жогорку тазалыктагы эритилген кварц пластинкалары, фотоникалык оптикалык колдонмолор 2″4″6″8″12″
Толук диаграмма
Кварц айнегине сереп салуу
Кварц пластиналары бүгүнкү санариптик дүйнөнү башкарган сансыз заманбап түзүлүштөрдүн негизин түзөт. Смартфонуңуздагы навигациядан 5G базалык станцияларынын негизине чейин кварц жогорку өндүрүмдүүлүктөгү электроникада жана фотоникада талап кылынган туруктуулукту, тазалыкты жана тактыкты акырындык менен камсыз кылат. Ийкемдүү схемаларды колдойбу, MEMS сенсорлорун иштетеби же кванттык эсептөө үчүн негиз түзөбү, кварцтын уникалдуу мүнөздөмөлөрү аны бардык тармактарда алмаштырылгыс кылат.
Кварцтын аморфтук фазасы (SiO2) болуп саналган "Эритилген кремний диоксиди" же "Эритилген кварц". Боросиликатты айнектен айырмаланып, эриген кремнеземде эч кандай кошумчалар жок; демек, ал таза түрүндө, SiO2 бар. Кадимки айнек менен салыштырганда эритилген кремний диоксиди инфракызыл жана ультра кызгылт көк спектрде жогорку өткөрүмдүүлүккө ээ. Эритилген кремний диоксиди өтө таза SiO2ди эритүү жана кайра каттуу жолу менен өндүрүлөт. Синтетикалык эритилген кремний диоксиди SiCl4 сыяктуу кремнийге бай химиялык прекурсорлордон жасалган, алар газдалып, андан кийин H2 + O2 атмосферасында кычкылданышат. Бул учурда пайда болгон SiO2 чаңы субстраттагы кремнеземге кошулат. Эритилген кремний блоктору пластинкаларга кесилет, андан кийин пластиналар акыры жылтылат.
Кварц айнек ваферинин негизги өзгөчөлүктөрү жана артыкчылыктары
-
Ультра жогорку тазалык (≥99,99% SiO2)
Материалдын булганышын азайтуу керек болгон өтө таза жарым өткөргүч жана фотоникалык процесстер үчүн идеалдуу. -
Кең термикалык иштөө диапазону
Криогендик температурадан 1100°Cге чейинки структуралык бүтүндүгүн ийрибестен же бузулбастан сактайт. -
Мыкты UV жана IR өткөрүү
Терең ультрафиолеттен (DUV) жакын инфракызыл (NIR) аркылуу эң сонун оптикалык тунуктуулукту камсыздайт, так оптикалык колдонмолорду колдойт. -
Төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти
Температуранын өзгөрүүсүндө өлчөмдүү туруктуулукту күчөтүп, стрессти азайтат жана процесстин ишенимдүүлүгүн жогорулатат. -
Жогорку Химиялык туруктуулук
Көпчүлүк кислоталарга, щелочторго жана эриткичтерге инерттүү, бул химиялык агрессивдүү чөйрөгө ылайыктуу. -
Беттик бүтүрүү ийкемдүүлүгү
Фотоника жана MEMS талаптарына шайкеш, ультра жылмакай, бир жактуу же эки тараптуу жылмаланган жасалгалары менен жеткиликтүү.
Кварц айнек пластинкасын өндүрүү процесси
Эритилген кварц пластиналары бир катар көзөмөлдөнүүчү жана так кадамдар аркылуу чыгарылат:
-
Чийки затты тандоо
Жогорку тазалыктагы табигый кварцты же синтетикалык SiO₂ булактарын тандоо. -
Эрүү жана эрүү
Кварц кошулмаларды жана көбүктөрдү жок кылуу үчүн контролдонуучу атмосферада электр мештеринде ~ 2000°Cде эрийт. -
Блок түзүү
Эриген кремний диоксиди катуу блокторго же куймаларга муздатылат. -
Wafer Slicing
Так алмаз же зым араалар куймаларды пластинкаларга кесүү үчүн колдонулат. -
Лаптоо жана жылтыратуу
Эки бет тең оптикалык, калыңдык жана бүдүрлүк мүнөздөмөлөрүнө жооп берүү үчүн тегизделген жана жылмаланган. -
Тазалоо жана текшерүү
Вафельдер ISO 100/1000 классындагы таза бөлмөлөрдө тазаланат жана кемчиликтер жана өлчөмдөрдүн шайкештиги үчүн катуу текшерүүдөн өткөрүлөт.
Кварц айнек пластинкасынын касиеттери
| спец | бирдиги | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Диаметри / өлчөмү (же чарчы) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Толеранттуулук (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Калыңдыгы | mm | 0,10 же андан көп | 0,30 же андан көп | 0,40 же андан көп | 0,50 же андан көп | 0,50 же андан көп |
| Негизги маалымдама батир | mm | 32.5 | 57.5 | Жарым тиштүү | Жарым тиштүү | Жарым тиштүү |
| LTV (5мм×5мм) | мкм | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 |
| TTV | мкм | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Жаа | мкм | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | мкм | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5мм×5мм) <0,4мкм | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Edge Rounding | mm | SEMI M1.2 стандартына шайкеш / IEC62276 караңыз | ||||
| Surface Type | Жалгыз капталы жылтыратылган / Кош капталдары жылмаланган | |||||
| Жылмаланган жагы Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Арткы тарап критерийлери | мкм | жалпы 0,2-0,7 же ылайыкташтырылган | ||||
Кварц жана башка ачык материалдар
| Менчик | Кварц айнек | Боросиликатты айнек | Сапфир | Стандарттык айнек |
|---|---|---|---|---|
| Максималдуу иштөө температурасы | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UV өткөрүү | Мыкты (JGS1) | Байкуш | Жакшы | Абдан кедей |
| Химиялык каршылык | Мыкты | Орто | Мыкты | Байкуш |
| Тазалык | Абдан бийик | Төмөн жана орточо | Жогорку | Төмөн |
| Термикалык кеңейүү | Абдан төмөн | Орто | Төмөн | Жогорку |
| Наркы | Ортодон жогоркуга чейин | Төмөн | Жогорку | Абдан төмөн |
Кварц айнек пластинкасы боюнча КБС
Q1: Эриген кварц менен эритилген кремнеземдин ортосунда кандай айырма бар?
Экөө тең SiO₂дын аморфтук формалары болсо да, эриген кварц адатта табигый кварц булактарынан келип чыгат, ал эми эриген кремний диоксиди синтетикалык жол менен өндүрүлөт. Функционалдык жактан алар окшош иштешти сунуштайт, бирок эриген кремний диоксиди бир аз жогорураак тазалыкка жана бир тектүүлүккө ээ болушу мүмкүн.
Q2: Эритилген кварц пластинкаларын жогорку вакуумдук чөйрөдө колдонсо болобу?
Ооба. Аз газ чыгаруучу касиеттеринен жана жогорку термикалык каршылыгынан улам, эритилген кварц пластиналары вакуумдук системалар жана аэрокосмостук колдонмолор үчүн эң сонун.
Q3: Бул пластиналар терең UV лазердик колдонмолорго ылайыктуубу?
Абсолюттук. Эритилген кварц ~185 нмге чейин жогорку өткөрүмдүүлүккө ээ, бул DUV оптикасы, литографиялык маскалар жана эксимердик лазер системалары үчүн идеалдуу кылат.
Q4: Сиз ыңгайлаштырылган вафли жасоону колдойсузбу?
Ооба. Биз толук ыңгайлаштырууну сунуштайбыз, анын ичинде диаметри, калыңдыгы, бетинин сапаты, жалпак тилкелер/кешиктер жана лазердик үлгүлөр, сиздин колдонуунун конкреттүү талаптарынын негизинде.
Биз жөнүндө
XKH жогорку технологиялык иштеп чыгуу, өндүрүү жана атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарды сатуу боюнча адистешкен. Биздин өнүмдөр оптикалык электроника, керектөөчү электроника жана аскердик кызмат кылат. Биз Sapphire оптикалык компоненттерин, уюлдук телефон линзаларынын капкагын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz жана жарым өткөргүч кристалл пластинкаларын сунуштайбыз. квалификациялуу экспертиза жана заманбап жабдуулар менен, биз алдынкы оптоэлектрондук материалдарды жогорку технологиялык ишкана болууну максат кылып, стандарттуу эмес продуктуларды кайра иштетүү боюнча мыкты.
