12 дюймдук Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP
Вафли кутусун киргизүү
12 дюймдук сапфир пластинкаларын өндүрүү татаал жана адистештирилген процесс. Бул жерде 12 дюймдук сапфир пластинкаларын өндүрүүгө катышкан негизги кадамдар:
Уруктун кристалын даярдоо: Биринчи кадам монокристалл сапфирин өстүрүү үчүн шаблон катары кызмат кылган урук кристалын даярдоо болуп саналат. урук кристалл кылдат калыптанган жана туура тегиздөө жана бетинин жылмакай камсыз кылуу үчүн жылмаланган.
Алюминий оксиди эрүү: Жогорку тазалыктагы алюминий оксиди (Al2O3) тигелде эрийт. Тигель адатта платинадан же жогорку температурага туруштук бере алган башка инерттүү материалдардан жасалат.
Кристаллдын өсүшү: Эриген алюминий оксиди андан кийин даярдалган урук кристаллына себилет жана көзөмөлдөнгөн атмосфераны сактоо менен акырындык менен муздайт. Бул процесс сапфир кристаллынын катмар-катмар өсүп, бир кристалл куймасын пайда кылат.
Куйманы калыптандыруу: Кристалл керектүү өлчөмдө чоңойгондон кийин, ал тигельден чыгарылып, цилиндр формасында болот. Булу андан кийин кылдаттык менен жука пластинкаларга кесилет.
Вафли иштетүү: Кесилген пластиналар каалаган калыңдыкка, бетине жана сапатка жетүү үчүн ар кандай процесстерге дуушар болушат. Бул беттик кемчиликтерди жоюу жана талап кылынган тегиздик менен жылмакайлыкка жетишүү үчүн лактоо, жылмалоо жана химиялык-механикалык планаризацияны (CMP) камтыйт.
Тазалоо жана текшерүү: Иштелген пластиналар булгоочу заттарды жок кылуу үчүн кылдат тазалоодон өткөрүлөт. Андан кийин алар жаракалар, чийүүлөр жана кир сыяктуу кемчиликтер үчүн текшерилет.
Таңгактоо жана жөнөтүү: Акыр-аягы, текшерилген пластиналар таңгакталган жана кардарларга жөнөтүү үчүн даярдалган, адатта, ташуу учурунда коргоону камсыз кылуучу вафли ташыгычтарда.
12 дюймдук сапфир пластинкаларын өндүрүү үчүн кичирээк пластинка өлчөмдөрүнө салыштырмалуу атайын жабдууларды жана жабдууларды талап кылышы мүмкүн экенин белгилей кетүү маанилүү. Процесс ошондой эле чоңураак пластинкалардын бүтүндүгүн жана сапатын камсыз кылуу үчүн четинен чыгаруу жана стрессти башкаруу сыяктуу алдыңкы ыкмаларды камтышы мүмкүн.
Эгерде сизге сапфир субстраттары керек болсо, кайрылыңыз:
почта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Биз сизге тез арада кайрылабыз!