LNOI пластинасы (изолятордогу литий ниобаты) Телекоммуникацияны сезүүчү жогорку электро-оптикалык
Толук диаграмма
Жалпы маалымат
Вафли кутучасынын ичинде симметриялуу оюктар бар, алардын өлчөмдөрү вафлинин эки тарабын кармап туруу үчүн бирдей. Кристалл кутуча, адатта, температурага, эскирүүгө жана статикалык электр энергиясына туруктуу тунук пластикалык PP материалынан жасалат. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө металл иштетүү сегменттерин айырмалоо үчүн ар кандай түстөгү кошулмалар колдонулат. Жарым өткөргүчтөрдүн кичинекей ачкыч өлчөмүнө, тыгыз оймо-чиймелерге жана өндүрүштөгү бөлүкчөлөрдүн өлчөмүнө карата өтө катуу талаптарга байланыштуу, вафли кутучасы ар кандай өндүрүш машиналарынын микрочөйрө кутучасынын реакция көңдөйүнө туташуу үчүн таза чөйрөгө кепилдик берилиши керек.
Өндүрүш методологиясы
LNOI пластиналарын жасоо бир нече так этаптардан турат:
1-кадам: Гелий ионун имплантациялооГелий иондору ион имплантаторунун жардамы менен көлөмдүү LN кристаллына киргизилет. Бул иондор белгилүү бир тереңдикте жайгашып, акыры пленканын ажырашына өбөлгө түзүүчү алсыз тегиздикти түзөт.
2-кадам: Негизги субстратты түзүүӨзүнчө кремний же LN пластинасы PECVD же термикалык кычкылдануу аркылуу SiO2 менен кычкылдандырылат же катмарланат. Анын үстүнкү бети оптималдуу байланыш түзүү үчүн тегизделет.
3-кадам: LNди субстратка жабыштырууИонго имплантацияланган LN кристаллы оодарылып, түз пластина байланышы аркылуу негизги пластинага бекитилет. Изилдөө шарттарында бензоциклобутен (BCB) анча катаал эмес шарттарда байланышты жөнөкөйлөтүү үчүн желим катары колдонулушу мүмкүн.
4-кадам: Термикалык иштетүү жана пленканы бөлүүКүйгүзүү имплантацияланган тереңдикте көбүкчөлөрдүн пайда болушун активдештирет, бул жука пленканы (үстүнкү LN катмарын) негизги массадан бөлүүгө мүмкүндүк берет. Пилингди аяктоо үчүн механикалык күч колдонулат.
5-кадам: Бетти жылтыратууХимиялык механикалык жылтыратуу (ХМЖ) жогорку LN бетин тегиздөө, оптикалык сапатын жана түзмөктүн өндүрүмдүүлүгүн жакшыртуу үчүн колдонулат.
Техникалык параметрлер
| Материал | Оптикалык Баалоо LiNbO3 вафлилер (ак) or Кара) | |
| Кюри Температур | 1142±0.7℃ | |
| Кесүү Бурч | X/Y/Z ж.б. | |
| Диаметри/өлчөмү | 2”/3”/4” ±0.03 мм | |
| Тол(±) | <0,20 мм ±0,005 мм | |
| Калыңдыгы | 0,18 ~ 0,5 мм же андан көп | |
| Негизги Жалпак | 16мм/22мм/32мм | |
| TTV | <3 мкм | |
| Жаа | -30 | |
| Верп | <40 мкм | |
| Багыттоо Жалпак | Баары жеткиликтүү | |
| Бет Түрү | Бир тарабы жылтыратылган (SSP) / Эки тарабы жылтыратылган (DSP) | |
| Жылтыратылган тарап Ra | <0,5 нм | |
| S/D | 20/10 | |
| Чет Критерийлер | R=0.2 мм C-типтеги or Бука мурун | |
| Сапат | Акысыз of жарака (көбүкчөлөр) жана кошуулар) | |
| Оптикалык легирленген | Mg/Fe/Zn/MgO жана башкалар үчүн оптикалык баа ЛН вафлилер үчүн суралган | |
| Вафли Бет Критерийлер | Сынуу көрсөткүчү | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm толкун узундугу/призмалык туташтыргыч ыкмасы. |
| булгануу, | Эч бири | |
| Бөлүкчөлөр c>0.3μ m | <=30 | |
| Тырмак, сынып калуу | Эч бири | |
| Кемчилик | Четинде жаракалар, чийик, араа издери, тактар жок | |
| Таңгактоо | Сан/Вафли кутучасы | Ар бир кутуда 25 даана |
Колдонуу учурлары
Көп функциялуулугунан жана натыйжалуулугунан улам, LNOI көптөгөн тармактарда колдонулат:
Фотоника:Компакттуу модуляторлор, мультиплексорлор жана фотондук схемалар.
Радиожыштык/Акустика:Акустооптикалык модуляторлор, RF чыпкалары.
Кванттык эсептөө:Сызыктуу эмес жыштык аралаштыргычтары жана фотон жуп генераторлору.
Коргонуу жана аэрокосмостук:Аз жоготуулуу оптикалык гироскоптор, жыштыкты өзгөртүүчү түзүлүштөр.
Медициналык аппараттар:Оптикалык биосенсорлор жана жогорку жыштыктагы сигнал зонддору.
Көп берилүүчү суроолор
С: Эмне үчүн оптикалык системаларда SOIге караганда LNOI артыкчылыктуу?
A:LNOI жогорку электро-оптикалык коэффициенттерге жана кеңири тунуктук диапазонуна ээ, бул фотондук схемаларда жогорку көрсөткүчтөргө мүмкүндүк берет.
С: Бөлүнгөндөн кийин CMP милдеттүүбү?
A:Ооба. Ачык LN бети иондук кесүүдөн кийин одуракай болуп калат жана оптикалык класстагы спецификацияларга жооп берүү үчүн жылтыратылуу керек.
С: Вафлидин максималдуу өлчөмү канча?
A:Коммерциялык LNOI пластиналары негизинен 3 жана 4 дюймдук өлчөмдөрдө болот, бирок кээ бир жеткирүүчүлөр 6 дюймдук варианттарды иштеп чыгууда.
С: LN катмарын бөлгөндөн кийин кайра колдонсо болобу?
A:Негизги кристаллды бир нече жолу кайра жылмалап, кайра колдонсо болот, бирок бир нече циклден кийин сапаты начарлашы мүмкүн.
С: LNOI пластиналары CMOS иштетүүсү менен шайкеш келеби?
A:Ооба, алар салттуу жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстерине шайкеш келүү үчүн иштелип чыккан, айрыкча кремний субстраттары колдонулганда.
