N-Type SiC Композиттик субстраттары Dia6inch Жогорку сапаттагы монокристалдуу жана төмөн сапаттагы субстрат
N-Type SiC Composite Substrates Common параметр таблицасы
项目Items | 指标Спецификация | 项目Items | 指标Спецификация |
直径Диаметри | 150±0,2мм | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Алдыңкы (Si-бет) оройлук | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) |
晶型Политип | 4H | Edge Chip, Scratch, Crack (визуалдык текшерүү) | Жок |
电阻率Каршылык | 0,015-0,025 Ом ·см | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
Трансфер катмарынын калыңдыгы | ≥0,4μm | 翘曲度Warp | ≤35μm |
空洞Void | ≤5ea/вафли (2мм>D>0,5мм) | 总厚度Калыңдыгы | 350±25μm |
"N-тип" белгиси SiC материалдарында колдонулган допингдин түрүнө тиешелүү. Жарым өткөргүчтөрдүн физикасында допинг анын электрдик касиеттерин өзгөртүү үчүн жарым өткөргүчкө кирлерди атайылап киргизүүнү камтыйт. N-түрү допинг материалга терс заряд алып жүрүүчү концентрациясын берип, ашыкча эркин электрондорду камсыз кылуучу элементтерди киргизет.
N-түрү SiC курама субстраттарынын артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт:
1. Жогорку температура аткаруу: SiC жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ жана жогорку кубаттуулуктагы жана жогорку жыштыктагы электрондук колдонмолор үчүн ылайыктуу кылып, жогорку температурада иштей алат.
2. Жогорку бузулуу чыңалуу: SiC материалдары электр бузулбастан жогорку электр талаасына туруштук берүүгө мүмкүндүк берген жогорку бузулуу чыңалууларына ээ.
3. Химиялык жана экологиялык туруктуулук: SiC химиялык жактан туруктуу жана катаал экологиялык шарттарга туруштук бере алат, бул татаал колдонмолордо колдонууга ылайыктуу.
4. Кыскартылган электр энергиясын жоготуу: салттуу кремний негизделген материалдар менен салыштырганда, SiC субстраттары көбүрөөк натыйжалуу энергия кайра иштетүү жана электрондук аппараттардын электр энергиясын жоготууларды азайтат.
5. Wide диапазон: SiC жогорку температурада жана жогорку кубаттуулуктун тыгыздыгында иштей ала турган электрондук түзүлүштөрдү иштеп чыгууга мүмкүндүк берүүчү кең тилкеге ээ.
Жалпысынан алганда, N-түрү SiC курама субстраттары, өзгөчө, жогорку температурада иштөө, жогорку кубаттуулуктун тыгыздыгы жана кубаттуулукту эффективдүү конверсиялоо маанилүү болгон колдонмолордо, жогорку өндүрүмдүүлүктөгү электрондук түзүлүштөрдү өнүктүрүү үчүн олуттуу артыкчылыктарды сунуштайт.