p-type 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC субстрат 4 дюйм 〈111〉± 0,5°Нөл MPD

Кыска сүрөттөмө:

P-түрү 4H/6H-P 3C-N тибиндеги SiC субстраты, 4 дюймдук 〈111〉± 0,5° багыты жана Zero MPD (микро түтүк кемтиги) классы өнүккөн электрондук түзүлүш үчүн иштелип чыккан жогорку натыйжалуу жарым өткөргүч материал. өндүрүш. Эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү, жогорку бузулуу чыңалуусу жана жогорку температурага жана коррозияга күчтүү туруктуулугу менен белгилүү болгон бул субстрат электр энергиясы жана RF тиркемелери үчүн идеалдуу. Zero MPD классы минималдуу кемчиликтерди кепилдейт, жогорку өндүрүмдүүлүктөгү түзүлүштөрдүн ишенимдүүлүгүн жана туруктуулугун камсыз кылат. Анын так 〈111〉± 0,5° багыты даярдоо учурунда так тегиздөөгө мүмкүндүк берип, аны масштабдуу өндүрүш процесстерине ылайыктуу кылат. Бул субстрат электр кубатын өзгөрткүчтөр, инверторлор жана RF компоненттери сыяктуу жогорку температурадагы, жогорку чыңалуудагы жана жогорку жыштыктагы электрондук түзүлүштөрдө кеңири колдонулат.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

4H/6H-P түрү SiC Композиттик субстраттары Жалпы параметр таблицасы

4 дюйм диаметри кремнийКарбид (SiC) субстрат Спецификация

Баа			Нөл MPD өндүрүшү Баа (З Баа)	Стандарттык өндүрүш Баа (П Баа)	Dummy класс (D Баа)
Диаметри			99,5 мм~100,0 мм
Калыңдыгы			350 μm ± 25 μm
Wafer Orientation			Өчүк огу: 2,0°-4,0° [112(-)0] ± 0,5° 4H/6H- үчүнP, On огу:〈111〉± 0,5° 3C-N
Микропродукттун тыгыздыгы			0 см-2
Каршылык	p-түрү 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-тип 3C-N		≤0,8 мΩꞏсм		≤1 м Ωꞏсм
Негизги жалпак багыт		4H/6H-P	- {1010} ± 5,0°
		3C-N	- {110} ± 5,0°
Негизги жалпак узундук			32,5 мм ± 2,0 мм
Экинчилик жалпак узундук			18,0 мм ± 2,0 мм
Экинчилик Flat Orientation			Кремний бети жогору: 90° CW. Prime flat тартып±5,0°
Edge Exclusion			3 мм		6 мм
LTV/TTV/жаа /Warp			≤2.5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм		≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
оройлук			Поляк Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0,2 нм		Ra≤0,5 нм
Жогорку интенсивдүүлүктөгү жарыктын жээгиндеги жаракалар			Жок		Жыйынтык узундугу ≤ 10 мм, бир узундугу≤2 мм
Жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык менен Hex плиталары			Кумулятивдүү аянты ≤0,05%		Кумулятивдүү аянты ≤0,1%
Жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык менен политиптик аймактар			Жок		Кумулятивдүү аянты≤3%
Visual Carbon Inclusions			Кумулятивдүү аянты ≤0,05%		Кумулятивдик аянт ≤3%
Кремний бети жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык менен чийилген			Жок		Кумулятивдүү узундук≤1×вафли диаметри
Edge чиптери жогорку интенсивдүү жарык			Эч кимиси ≥0,2 мм туурасы жана тереңдигине жол берилбейт		5 уруксат, ар бири ≤1 мм
Кремний бетинин жогорку интенсивдүүлүк менен булгануусу			Жок
Таңгактоо			Көп вафли кассетасы же жалгыз вафли контейнери

Эскертүүлөр:

※Кемчиликтердин чектери пластинка бетинин четине кирбейт. # Чийик Si бетинде гана текшерилиши керек.

P-түрү 4H/6H-P 3C-N түрү 4 дюймдук SiC субстраты 〈111〉± 0,5° багыты жана Zero MPD классы жогорку натыйжалуу электрондук тиркемелерде кеңири колдонулат. Анын эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана жогорку бузулуу чыңалуусу аны экстремалдык шарттарда иштеген жогорку вольттогу өчүргүчтөр, инверторлор жана электр конвертерлери сыяктуу электр энергиясы үчүн идеалдуу кылат. Мындан тышкары, субстраттын жогорку температурага жана коррозияга туруктуулугу катаал чөйрөдө туруктуу иштөөнү камсыз кылат. Так 〈111〉± 0,5° багыттоо өндүрүштүн тактыгын жогорулатып, аны RF түзмөктөрүнө жана радар системалары жана зымсыз байланыш жабдуулары сыяктуу жогорку жыштыктагы колдонмолорго ылайыктуу кылат.

N-түрү SiC курама субстраттарынын артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт:

1. Жогорку Жылуулук өткөрүмдүүлүк: Натыйжалуу жылуулук диссипация, аны жогорку температуралуу чөйрөлөргө жана жогорку кубаттуулуктагы колдонмолорго ылайыктуу кылуу.
2. Жогорку Breakdown Voltage: электр өзгөрткүчтөр жана inverters сыяктуу жогорку вольттуу колдонмолордо ишенимдүү аткарууну камсыз кылат.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) Grade: Критикалык электрондук түзүлүштөрдө туруктуулукту жана жогорку ишенимдүүлүктү камсыз кылуучу минималдуу кемчиликтерди кепилдейт.
4. Коррозияга каршылык: катаал чөйрөдө туруктуу, талап кылынган шарттарда узак мөөнөттүү иштешин камсыз кылат.
5. Так 〈111〉± 0,5° Багыты: Өндүрүш учурунда так тегиздөө, жогорку жыштыктагы жана RF колдонмолорунда түзмөктүн иштешин жакшыртууга мүмкүндүк берет.

Жалпысынан, P-түрү 4H/6H-P 3C-N түрү 4 дюймдук SiC субстраты 〈111〉± 0,5° багыты жана Zero MPD классы өнүккөн электрондук тиркемелер үчүн идеалдуу жогорку натыйжалуу материал болуп саналат. Анын мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк жана жогорку бузулуу чыңалуу жогорку вольттуу өчүргүчтөр, инверторлор жана өзгөрткүчтөр сыяктуу электр электроника үчүн идеалдуу кылат. Zero MPD классы критикалык түзүлүштөрдө ишенимдүүлүк жана туруктуулукту камсыз кылуу менен минималдуу кемчиликтерди камсыз кылат. Мындан тышкары, субстраттын коррозияга жана жогорку температурага туруктуулугу катаал чөйрөдө туруктуулукту камсыз кылат. Так 〈111〉± 0,5° багыттоо өндүрүш учурунда так тегиздөөгө мүмкүндүк берип, аны RF түзмөктөрүнө жана жогорку жыштыктагы колдонмолорго абдан ылайыктуу кылат.