Sic Ceramic Chuck Traay Керамикалык соруучу кубогактары тактык

Кыскача сыпаттама:

Силикон Карбид Керамиялык Сирия Сормук - бул өзүнүн жогорку катуулугунун, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгүнө жана мыкты химиялык туруктуулугунун кесепетинен семликациялык өндүрүштүк өндүрүү үчүн идеалдуу тандоо. Анын жогорку тегиздиги жана беттик бети Вафли менен Сорчулуктун ортосундагы байланышты камсыз кылуу, булганууну азайтууну жана зыянды азайтууну камсыз кылат; Жогорку температура жана коррозия каршылыгы аны катаал шарттарды катаал шарттарга ылайыктуу кылат; Ошол эле учурда, жеңил жайлык дизайн жана узак өмүрдүн мүнөздөмөлөрү өндүрүштүк чыгымдарды кыскартат жана вафли кесүү, жылтыратуу, литография жана башка процесстердеги алмашылгыс негизги компоненттер.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукциянын деталдары

Продукция теги

Материалдык мүнөздөмөлөр:

1.Бирдүүлүктүн катуулугу: Силикон карбиддин мох катуулугу 9,2-9,5, ал алмазга гана каршылык менен гана каршылык көрсөтөт.
2 Жылуулук өткөрүмдүүлүгү: кремнийдин карбиддин жылуулук өткөрүмдүүлүгү 120-200 ж. 120-200 ж. 120-200 ж.
3. Төмөнкү жылуулук кеңейтүү коэффициенти: кремний карбиддин уюбасы төмөндөтүүчү Силикон карбиддин жылуулук кеңейиши төмөн (4.0-4.5 × 10⁻⁶ / k) жогору температурада өлчөмдүү туруктуулукту сактай алат.
4. Химиялык туруктуулук: кремний карбид кислотасы жана alkali коррозия каршылыгы, химиялык дат баса белгилөөдө колдонууга жарактуу.
5. Чийки механикалык күч: кремний карбиддин жогорку күчү жана кысуучу күчкө ээ жана чоң механикалык стрессти көтөрө алат.

Өзгөчөлүктөрү:

1. Семикостор өнөрү, өтө ичке вафтар вакуумду соруучу чөйчөккө жайгаштыруу керек, вакуум соруучу вакуумду сындоодо вакуум соруусу колдонулат жана момдуу, момикалык, момикалык, тазалоо, тазалоо, тазалоо жана кесүү процесси жүргүзүлөт.
2.Silicon Carbide Sucker жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ, момикалык жана момикалык убакытты натыйжалуу кыскартып, өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатат.
3.Silicon Carbide Vacumum Sucker ошондой эле кислотасы жана alkali коррозиясына каршылык бар.
4. Салттуу корунд ташуучу плитасы менен жүктөлгөн жана түшүрүү жана муздатуу убактысын кыскартуу жана муздатуу убактысын кыскартуу, иштин натыйжалуулугун жогорулатуу; Ошол эле учурда, ал жогорку жана төмөнкү плиталардын ортосундагы эскилерди азайтып, жакшы учактын тактыгын сактап, кызматтык жашоону 40% га узартат.
5. Материалдык пропорция кичинекей, жеңил салмак. Транспорттук кыйынчылыктар менен шартталган кагылышуу коркунучу астын-улам кыскартуу үчүн, операторлор үчүн паллеттерди азайтуу оңой болот.
6.size: Максималдуу диаметри 640mm; Flatess: 3um же андан аз

Колдонмо талаасы:

1 Жарым өткөргүч өндүрүү
● Wafer иштетүү:
Функтукциялоо, эбегейсиз, жука фильмдерди жайгаштыруу жана башка процесстерди фотолитациялоо үчүн, жогорку тактыкты жана процесстин ырааттуулугун камсыз кылуу үчүн. Анын жогорку температурасы жана коррозиясына каршылык орой жарым өткөргүч өндүрүштүк айлана-чөйрөлөргө ылайыктуу.
● Эфитациалдуу өсүү:
Ситтин же ган эпитакстык өсүшү, ысыкчылыкка жана оңдоо, температуранын бир түрдүүлүгүн жана кристаллдык сапатты камсыз кылуу, жогорку температурада, түзмөктүн көрсөткүчтөрүн өркүндөтүү.
2. Фотоэлектрдик жабдуулар
● Өндүрүш:
Сапфирди же сийик субстратын оңдоо үчүн колдонулган, эпитакстык өсүшүнүн бир түрдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн, ал эпитакстыктын өсүшүнүн бир түрдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн колдонулат, натыйжалуулугун жогорулатуу натыйжалуулугун жогорулатуу.
● Лазердик диод:
Температуранын туруктуулугун камсыз кылуу үчүн, температуранын туруктуулугун камсыз кылуу үчүн жогорку тактык жана жылытуучу субстрат
3. Так така
● Оптикалык компонент кайра иштетүү:
Ал иштетүү учурунда жогорку тактыкты жана булгануу үчүн оптикалык линзалар жана чыпкалар сыяктуу тактык линзалар жана чыпкалар сыяктуу тактык компоненттерин белгилөө үчүн колдонулат.
● Керамикалык иштетүү:
Жогорку туруктуулук шърития катары, ал жогорку температура жана даттануучу чөйрөдөгү үстүңкү тактыкты жана ырааттуулугун камсыз кылуу үчүн керамикалык материалдардын таксивин иштетүү үчүн ылайыктуу.
4. Илимий эксперименттер
● Абанын жогорку температура эксперименти:
Температура чөйрөсүндөгү температуранын айлана-чөйрөсүндөгү температура чөйрөсүндөгү эң жогорку температура эксперименттерин 1600 ° Cдан жогору температура эксперименттерин колдойт, температуранын бирдиктүүлүгүн жана үлгүлөрдүн туруктуулугун камсыз кылуу үчүн.
● Вакуумду текшерүү:
Эксперименттин тактыгын жана кайталап, вакуумду каптап, жылуулук тазалоо үчүн ылайыктуу, эксперименттин тактыгын жана кайталап туруусун тандап, вакуумдук чөйрөсүндөгү орду жана жылуулук ташуучусу катары.

Техникалык мүнөздөмөлөр:

(Материалдык мүлк)		(Бирдик)	(SSIC)
(SICтин мазмуну)		(WT)%	> 99
(Орточо дан өлчөмү)		Микрон	4-10
(Тыгыздык)		kg / dm3	> 3.14
(Ачык көңдөйлүүлүк)		VO1%	<0.5
(Vickers Hardness)	HV 0.5	GPA	28
* (Ийкемдүү күч) * (Үч упай)	20º	MPA	450
(Кысуучу күч)	20º	MPA	3900
(Серпилгич модулу)	20º	GPA	420
(Сынык катаалдык)		MPA / M '%	3.5
(Жылуулук өткөрүмдүүлүк)	20 ° ° º	*W / (M k)**	160
(Каршылык көрсөтүү)	20 ° ° º	Ohm.cm	106-108
(Жылуулук кеңейтүү коэффициенти)	a (rt ... 80ºc)**	*K-1 10-6**	4.3
(Максималдуу иштөө температурасы)		oºc	1700

Техникалык топтолуу жана өнөр жай тажрыйбасы менен, XKH, бул өнүмдүн конкреттүү муктаждыктарына ылайык, XХ Чактын көлөмү, жылытуу ыкмасы жана вакуу методу жана вакуума адисти дизайны сыяктуу негизги параметрлерди ылайыкташтыра алат. Сидик силикон карбиддин керамикалык чакалары вафиталдык чарбалык өткөрүмдүүлүгүнө, эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгүнө, жогорку температура туруктуулугуна жана химиялык туруктуулугунун жогорку деңгээлдеги өсүшүн, эпицаторлорунун өсүшү жана башка негизги процесстерине айланды. Айрыкча, сий жана ган сыяктуу үчүнчү муун жарым өткөргүч материалдарынын өндүрүшүндө, кремний карбид Керамикалык Чейректерин өстүрөт. Келечекте 5G, электр транспорту, жасалма чалгындоо жана башка технологияларды жана башка технологияларды өркүндөтүү менен, жарым өткөргүч өнөр жайындагы кремний карбид цирамикалык чамикалык чамикалык бактары кеңири болот.