Вафли ташуу үчүн SiC керамикалык акыркы эффектордун колу

SiC керамикалык акыркы эффектордун колу, вафельди алып жүрүүчү үчүн

Кыска сүрөттөмө:

LiNbO₃ Вафли интегралдык фотоникада жана так акустикада алтын стандартты көрсөтүп, заманбап оптоэлектрондук системаларда теңдешсиз аткарууну камсыз кылат. Алдыңкы өндүрүүчү катары биз бууларды ташып келүү тең салмактуулугунун алдыңкы ыкмаларынын жардамы менен бул инженердик субстраттарды өндүрүү чеберчилигин өркүндөттүк, кемчиликтердин тыгыздыгы 50/см²ден төмөн болгон тармакта алдыңкы кристаллдык кемчиликсиздикке жетиштик.

XKH өндүрүштүк мүмкүнчүлүктөрү диаметри 75 ммден 150 ммге чейин, багытты так көзөмөлдөө (X/Y/Z-кесүү ± 0,3°) жана сейрек кездешүүчү элементтерди камтыган адистештирилген допинг опцияларын камтыйт. LiNbO₃ Вафлидеги касиеттердин уникалдуу айкалышы, анын ичинде алардын укмуштуудай r₃₃ коэффициенти (32±2 pm/V) жана жакын UV нурунан орто IRга чейинки кеңири тунуктук - аларды кийинки муундагы фотоникалык схемалар жана жогорку жыштыктагы акустикалык түзүлүштөр үчүн зарыл кылат.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Өзгөчөлүктөрү

SiC керамикалык акыркы эффектор Аннотация

SiC (Кремний Карбид) керамикалык акыркы эффектор жарым өткөргүч өндүрүшүндө жана өнүккөн микрофабрика чөйрөлөрүндө колдонулган жогорку тактыктагы пластинкаларды иштетүү тутумдарынын маанилүү компоненти болуп саналат. Ультра таза, жогорку температурадагы жана өтө туруктуу чөйрөлөрдүн талап кылынган талаптарын канааттандыруу үчүн иштелип чыккан бул адистештирилген акыркы эффектор литография, оюу жана коюу сыяктуу өндүрүштүн негизги баскычтарында пластиналарды ишенимдүү жана булганбай ташууну камсыз кылат.

Кремний карбидинин жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү, өтө катуулугу, мыкты химиялык инерттүүлүгү жана минималдуу термикалык кеңейүү сыяктуу жогорку материалдык касиеттерин колдонуу менен SiC керамикалык акыркы эффектору тез жылуулук циклинде же коррозия процессинин камераларында теңдешсиз механикалык катуулукту жана өлчөмдүү туруктуулукту сунуштайт. Анын аз бөлүкчөлөрдүн пайда болушу жана плазма каршылык мүнөздөмөлөрү аны өзгөчө таза бөлмө жана вакуумдук иштетүү колдонмолору үчүн ылайыктуу кылат, мында пластинанын бетинин бүтүндүгүн сактоо жана бөлүкчөлөрдүн булганышын азайтуу эң маанилүү.

SiC керамикалык акыркы эффектор Колдонмо

1. Жарым өткөргүч пластина менен иштөө

SiC керамикалык акыркы эффекторлор жарым өткөргүч өнөр жайында автоматташтырылган өндүрүш учурунда кремний пластинкаларын иштетүү үчүн кеңири колдонулат. Бул акыркы эффекторлор адатта роботтук колдорго же вакуумдук өткөрүп берүү системаларына орнотулат жана 200мм жана 300мм сыяктуу ар кандай өлчөмдөгү пластиналарды жайгаштыруу үчүн иштелип чыккан. Алар жогорку температуралар, вакуумдук шарттар жана жегич газдар кеңири таралган Химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD), физикалык бууларды чөктүрүүдө (PVD), оюу жана диффузияда маанилүү. SiC өзгөчө жылуулук туруктуулугу жана химиялык туруктуулугу аны мындай катаал чөйрөлөргө бузулбастан туруштук берүү үчүн идеалдуу материал кылат.

2. Таза бөлмө жана вакуум шайкештиги

Бөлчөкчөлөрдүн булгануусу азайтылышы керек болгон таза бөлмөдө жана вакуумда, SiC керамика олуттуу артыкчылыктарды сунуш кылат. Материалдын жыш, жылмакай бети бөлүкчөлөрдүн пайда болушуна туруштук берип, ташуу учурунда пластинанын бүтүндүгүн сактоого жардам берет. Бул SiC акыркы эффекторлорун өзгөчө ультра кызгылт көк литография (EUV) жана атомдук катмардын депозити (ALD) сыяктуу критикалык процесстерге ылайыктуу кылат, мында тазалык абдан маанилүү. Андан тышкары, SiCтин газды аз чыгаруу жана плазманын жогорку каршылыгы вакуумдук камераларда ишенимдүү иштөөнү камсыздайт, инструменттердин иштөө мөөнөтүн узартат жана тейлөө жыштыгын азайтат.

3. Жогорку тактыктагы позициялоо системалары

Тактык жана туруктуулук пластинка менен иштөөнүн өркүндөтүлгөн системаларында, өзгөчө метрологияда, текшерүүдө жана тегиздөө жабдууларында абдан маанилүү. SiC керамикасынын өтө төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти жана жогорку катуулугу бар, бул акыркы эффекторго жылуулук циклинин же механикалык жүктүн астында да структуралык тактыгын сактоого мүмкүндүк берет. Бул пластинкаларды ташуу учурунда так далдашын камсыздайт, микро сызыктардын, туура эмес тууралануулардын же өлчөө каталарынын коркунучун азайтат - 5 нмден төмөн процесс түйүндөрүндө барган сайын критикалык факторлор.

SiC керамикалык акыркы эффектор касиеттери

1. Жогорку Механикалык Күч жана Катуулугу

SiC керамика өзгөчө механикалык күчкө ээ, ийилүүчү күчү көбүнчө 400 МПадан ашат жана 2000 HV жогору Викерс катуулугунун маанилери. Бул аларды механикалык стресске, таасирге жана эскирүүгө өтө туруктуу кылат, атүгүл узак убакытка иштетилгенден кийин да. SiC жогорку катуулугу, ошондой эле так жана кайталануучу позициялоону камсыз кылуу, жогорку ылдамдыктагы пластинка которуулар учурунда ийилүүсүн азайтат.

2. Мыкты жылуулук туруктуулугу

SiC керамикасынын эң баалуу касиеттеринин бири алардын өтө жогорку температурага (көбүнчө инерттүү атмосферада 1600°Сге чейин) механикалык бүтүндүгүн жоготпостон туруштук берүү жөндөмдүүлүгү болуп саналат. Алардын төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти (~4,0 x 10⁻⁶ /K) термикалык циклде өлчөмдүү туруктуулукту камсыздайт, бул аларды CVD, PVD жана жогорку температурада күйгүзүү сыяктуу колдонмолор үчүн идеалдуу кылат.

SiC керамикалык акыркы эффектор С&Ж

С: Вафли эффекторунда кандай материал колдонулат?

А:Ваффердик эффекторлор көбүнчө жогорку күч, жылуулук туруктуулугун жана бөлүкчөлөрдүн аз генерациясын сунуш кылган материалдардан жасалат. Булардын арасында кремний карбиди (SiC) керамикалык эң алдыңкы жана артыкчылыктуу материалдардын бири болуп саналат. SiC керамикасы өтө катуу, термикалык жактан туруктуу, химиялык жактан инерттүү жана эскирүүгө туруктуу болгондуктан, аларды таза бөлмөдө жана вакуумдук чөйрөдө назик кремний пластинкаларын иштетүү үчүн идеалдуу кылат. Кварц же капталган металлдар менен салыштырганда, SiC жогорку температурада өлчөмдүү туруктуулукту сунуштайт жана бөлүкчөлөрдү төкпөйт, бул булгануунун алдын алууга жардам берет.