Вафли менен иштөө үчүн SiC керамикалык эффектордук рычаг

Кыскача сүрөттөмө:

LiNbO₃ пластиналары интеграцияланган фотоника жана так акустикадагы алтын стандартты чагылдырат жана заманбап оптоэлектрондук системаларда теңдешсиз иштөөнү камсыз кылат. Алдыңкы өндүрүүчү катары биз бул инженердик субстраттарды буу ташуу тең салмактуулугунун алдыңкы ыкмалары аркылуу өндүрүү чеберчилигин өркүндөтүп, кемчилик тыгыздыгы 50/см²ден төмөн болгон тармакта алдыңкы кристаллдык кемчиликсиздикке жетиштик.

XKH өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү диаметри 75 ммден 150 ммге чейин, так багыттоону башкаруу (X/Y/Z кесүү ±0,3°) жана сейрек кездешүүчү жер элементтерин камтыган адистештирилген легирлөө опциялары менен жабдылган. LiNbO₃ пластиналарындагы касиеттердин уникалдуу айкалышы – анын ичинде алардын укмуштуудай r₃₃ коэффициенти (32±2 pm/V) жана жакын ультрафиолет нурларынан ортоңку ИК нурларына чейинки кең тунуктугу – аларды кийинки муундагы фотондук схемалар жана жогорку жыштыктагы акустикалык түзүлүштөр үчүн алмаштыргыс кылат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

SiC керамикалык эффекторунун рефераты

SiC (Кремний карбиди) керамикалык эффектору жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө жана өнүккөн микрофабрикация чөйрөлөрүндө колдонулган жогорку тактыктагы пластиналарды иштетүү системаларында маанилүү компонент болуп саналат. Өтө таза, жогорку температуралуу жана өтө туруктуу чөйрөлөрдүн талаптуу талаптарына жооп берүү үчүн иштелип чыккан бул адистештирилген эффектор литография, гравюралоо жана чөктүрүү сыяктуу негизги өндүрүш этаптарында пластиналарды ишенимдүү жана булганбаган ташуу мүмкүнчүлүгүн камсыз кылат.

Кремний карбидинин жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү, өтө катуулугу, эң сонун химиялык инерттүүлүгү жана минималдуу жылуулук кеңейиши сыяктуу жогорку материалдык касиеттерин колдонуу менен SiC керамикалык эффектору тез жылуулук циклинде же коррозия процессинин камераларында да теңдешсиз механикалык катуулукту жана өлчөмдүү туруктуулукту сунуштайт. Анын бөлүкчөлөрдүн аз пайда болушу жана плазмага туруктуулук мүнөздөмөлөрү аны таза бөлмө жана вакуумдук иштетүү колдонмолору үчүн өзгөчө ылайыктуу кылат, мында пластинанын бетинин бүтүндүгүн сактоо жана бөлүкчөлөрдүн булганышын азайтуу эң маанилүү.

SiC керамикалык эффекторунун колдонулушу

1. Жарым өткөргүчтүү пластиналарды иштетүү

SiC керамикалык эффекторлору жарым өткөргүчтөр өнөр жайында автоматташтырылган өндүрүш учурунда кремний пластиналарын иштетүү үчүн кеңири колдонулат. Бул эффекторлор, адатта, робот колдоруна же вакуумдук өткөрүп берүү системаларына орнотулат жана 200 мм жана 300 мм сыяктуу ар кандай өлчөмдөгү пластиналарды жайгаштыруу үчүн иштелип чыккан. Алар жогорку температуралар, вакуумдук шарттар жана коррозиялык газдар кеңири таралган химиялык буу чөктүрүү (CVD), физикалык буу чөктүрүү (PVD), оюу жана диффузия сыяктуу процесстерде маанилүү. SiCтин өзгөчө жылуулукка туруктуулугу жана химиялык туруктуулугу аны мындай катаал чөйрөлөргө деградациясыз туруштук берүү үчүн идеалдуу материалга айлантат.

2. Таза бөлмө жана чаң соргучтун шайкештиги

Таза бөлмөдө жана вакуум шарттарында, бөлүкчөлөрдүн булганышын минималдаштыруу керек болгон жерлерде, SiC керамикасы олуттуу артыкчылыктарды берет. Материалдын тыгыз, жылмакай бети бөлүкчөлөрдүн пайда болушуна каршы турат, бул ташуу учурунда пластинанын бүтүндүгүн сактоого жардам берет. Бул SiC акыркы эффекторлорун өзгөчө тазалык абдан маанилүү болгон Өтө ультрафиолет литографиясы (EUV) жана Атомдук катмарды чөктүрүү (ALD) сыяктуу маанилүү процесстер үчүн абдан ылайыктуу кылат. Андан тышкары, SiCтин аз газ бөлүп чыгаруусу жана жогорку плазмалык каршылык көрсөтүүсү вакуум камераларында ишенимдүү иштөөнү камсыз кылат, шаймандардын иштөө мөөнөтүн узартат жана тейлөө жыштыгын азайтат.

3. Жогорку тактыктагы позициялоо системалары

Тактык жана туруктуулук пластиналарды иштетүүнүн өнүккөн системаларында, айрыкча метрологияда, текшерүүдө жана тегиздөө жабдууларында абдан маанилүү. SiC керамикасы өтө төмөн жылуулук кеңейүү коэффициентине жана жогорку катуулукка ээ, бул акыркы эффекторго жылуулук циклинде же механикалык жүктөмдө да өзүнүн структуралык тактыгын сактоого мүмкүндүк берет. Бул пластиналардын ташуу учурунда так тегизделишин камсыздайт, микро-тырыктардын, туура эмес тегиздөөнүн же өлчөө каталарынын коркунучун азайтат — бул факторлор 5 нмден төмөн процесстик түйүндөрдө барган сайын маанилүү болуп баратат.

SiC керамикалык эффектордун касиеттери

1. Жогорку механикалык бекемдик жана катуулук

SiC керамикасы өзгөчө механикалык бекемдикке ээ, ийилүүчү бекемдиги көбүнчө 400 МПадан ашат жана Виккерстин катуулук маанилери 2000 HVден жогору. Бул аларды узак убакыт бою колдонулгандан кийин да механикалык стресске, соккуга жана эскирүүгө өтө туруктуу кылат. SiCтин жогорку катуулугу ошондой эле жогорку ылдамдыктагы пластиналарды которуу учурунда майышууну минималдаштырып, так жана кайталануучу жайгаштырууну камсыз кылат.

2. Мыкты жылуулук туруктуулугу

SiC керамикасынын эң баалуу касиеттеринин бири - алардын өтө жогорку температурага - көбүнчө инерттүү атмосферада 1600°Cге чейин - механикалык бүтүндүгүн жоготпостон туруштук бере алуу жөндөмү. Алардын жылуулук кеңейүүсүнүн төмөнкү коэффициенти (~4.0 x 10⁻⁶ /K) жылуулук циклинин астында өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат, бул аларды CVD, PVD жана жогорку температурада күйгүзүү сыяктуу колдонмолор үчүн идеалдуу кылат.

SiC керамикалык эффектору боюнча суроолор жана жооптор

С: Вафли эффекторунда кандай материал колдонулат?

А:Пластинанын эффекторлору көбүнчө жогорку бекемдикти, жылуулук туруктуулугун жана бөлүкчөлөрдүн аз пайда болушун камсыз кылган материалдардан жасалат. Алардын ичинен кремний карбиди (SiC) керамикасы эң өнүккөн жана артыкчылыктуу материалдардын бири болуп саналат. SiC керамикасы өтө катуу, жылуулук туруктуу, химиялык жактан инерттүү жана эскирүүгө туруктуу, бул аларды таза бөлмөдө жана вакуум чөйрөсүндө назик кремний пластиналарын иштетүү үчүн идеалдуу кылат. Кварц же капталган металлдар менен салыштырганда, SiC жогорку температурада жогорку өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат жана бөлүкчөлөрдү чыгарбайт, бул булгануунун алдын алууга жардам берет.