SiC керамикалык айры кол/соңку эффектор – жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн өркүндөтүлгөн тактык менен иштөө

Кыска сүрөттөмө:

SiC керамикалык айры колу, көбүнчө керамикалык аягы эффектор деп аталат, жогорку технологиялуу тармактарда, айрыкча жарым өткөргүч жана фотоэлектрдик өндүрүштө пластинкаларды ташуу, тегиздөө жана жайгаштыруу үчүн атайын иштелип чыккан жогорку тактыктагы иштетүү компоненти. Жогорку тазалыктагы кремний карбид керамикасын колдонуу менен жасалган бул компонент өзгөчө механикалык күчтү, өтө төмөн жылуулук кеңейүүнү жана термикалык соккуга жана коррозияга жогорку туруктуулукту айкалыштырат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Продукцияга сереп салуу

Алюминийден, дат баспас болоттон, атүгүл кварцтан жасалган салттуу акыркы эффекторлордон айырмаланып, SiC керамикалык акыркы эффекторлору вакуумдук камераларда, таза бөлмөлөрдө жана катаал иштетүү чөйрөлөрүндө теңдешсиз аткарууну сунуштап, аларды кийинки муундагы вафель менен иштөөчү роботтордун негизги бөлүгүнө айландырышат. Булгануусуз өндүрүшкө суроо-талаптын өсүшү жана чип жасоодо катуу сабырдуулук менен керамикалык акыркы эффекторлорду колдонуу тездик менен тармактык стандартка айланууда.

Өндүрүш принциби

ойлоп чыгарууSiC керамикалык акыркы эффекторлорбир катар жогорку тактыктагы, жогорку тазалыктагы процесстерди камтыйт, алар өндүрүмдүүлүктү жана туруктуулукту камсыз кылат. Адатта эки негизги процесс колдонулат:

Реакция менен байланышкан кремний карбиди (RB-SiC)

Бул процессте кремний карбидинин порошокунан жана туташтыргычтан жасалган преформа жогорку температурада (~1500°C) эриген кремний менен инфильтрацияланат, ал калдык көмүртек менен реакцияга кирип, тыгыз, катуу SiC-Si композициясын түзөт. Бул ыкма мыкты өлчөмдүү башкарууну сунуш кылат жана ири масштабдагы өндүрүш үчүн үнөмдүү.

Басымсыз агломерацияланган кремний карбиди (SSiC)

SSiC өтө жогорку температурада (> 2000°C) кошумчаларды же байланыштыруучу фазаны колдонбостон, өтө майда, жогорку тазалыктагы SiC порошокту агломерациялоо аркылуу жасалат. Бул дээрлик 100% тыгыздыгы жана SiC материалдар арасында жеткиликтүү жогорку механикалык жана жылуулук касиеттери менен продуктуну алып келет. Бул ультра критикалык пластинкаларды иштетүү үчүн идеалдуу.

Пост-процессинг

Precision CNC иштетүү: Жогорку тегиздикке жана параллелизмге жетишет.
Беттик бүтүрүү: Алмаз жылтыратуу беттин тегиздигин <0,02 мкм чейин азайтат.
Текшерүү: Оптикалык интерферометрия, CMM жана кыйратуучу сыноолор ар бир бөлүгүн текшерүү үчүн колдонулат.

Бул кадамдар кепилдик беретSiC акыркы эффекторуырааттуу пластина жайгаштыруу тактыгын, мыкты тегиздикти жана бөлүкчөлөрдүн минималдуу жаралышын камсыз кылат.

Негизги өзгөчөлүктөрү жана артыкчылыктары

Өзгөчөлүк	Description
Ультра жогорку катуулук	Vickers катуулугу > 2500 HV, эскирүүгө жана чипке каршы.
Төмөн жылуулук кеңейүү	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, жылуулук циклинде өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат.
Химиялык инерттүүлүк	HF, HCl, плазма газдарына жана башка жегичтерге туруктуу.
Мыкты жылуулук шок каршылык	Вакуумдук жана мештик системаларда тез жылытуу/муздатуу үчүн ылайыктуу.
Жогорку Катуулугу жана Күч	Узун консольдуу айры колдорду кыйшаюусуз колдойт.
Төмөн газ чыгаруу	Ультра жогорку вакуумдук (UHV) чөйрөлөр үчүн идеалдуу.
ISO 1-класстын таза бөлмөсү даяр	Бөлүкчөлөрсүз иштөө пластинкалардын бүтүндүгүн камсыз кылат.

Тиркемелер

SiC керамикалык айры кол/соңку эффектор өтө тактыкты, тазалыкты жана химиялык туруктуулукту талап кылган тармактарда кеңири колдонулат. Негизги колдонуу сценарийлери төмөнкүлөрдү камтыйт:

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү

Вафлиди түшүрүү (CVD, PVD), оюу (RIE, DRIE) жана тазалоо системаларында.
FOUP, кассеталар жана процесс куралдарынын ортосунда роботтук пластинкаларды ташуу.
Термикалык иштетүү же күйдүрүү учурунда жогорку температурада иштөө.

Фотоэлектрдик клетка өндүрүшү

Автоматташтырылган линияларда морт кремний пластинкаларын же күн субстраттарын назик ташуу.

Flat Panel Display (FPD) өнөр жайы

OLED/LCD өндүрүш чөйрөлөрүндө чоң айнек панелдерди же субстраттарды жылдыруу.

Курама жарым өткөргүч / MEMS

Булганууну көзөмөлдөө жана жайгаштыруу тактыгы өтө маанилүү болгон GaN, SiC жана MEMS өндүрүш линияларында колдонулат.

Анын акыркы эффектордук ролу сезимтал операцияларда кемчиликсиз, туруктуу иштетүүнү камсыз кылууда өзгөчө маанилүү.

Ыңгайлаштыруу мүмкүнчүлүктөрү

Биз ар кандай жабдууларды жана процесстик талаптарды канааттандыруу үчүн кеңири ыңгайлаштырууну сунуштайбыз:

Айыры Дизайн: Эки тиштүү, көп манжалуу же эки деңгээлдүү макеттер.
Wafer өлчөмү шайкештиги: 2 дюймдан 12 дюймга чейин пластинкалар.
Монтаждоо интерфейстери: OEM робот колдору менен шайкеш келет.
Калыңдык жана беттик толеранттуулук: Микрон деңгээлиндеги тегиздик жана четтерин тегеректөө мүмкүнчүлүгү бар.
Тайга каршы өзгөчөлүктөр: Вафлиди коопсуз кармаш үчүн кошумча беттик текстуралар же жабуулар.

Ар бирикерамикалык акыркы эффекторминималдуу шайман өзгөртүүлөр менен так орнотууну камсыз кылуу үчүн кардарлар менен бирге иштелип чыккан.

Көп берилүүчү суроолор (FAQ)

Q1: SiC акыркы эффектордук колдонуу үчүн кварцка караганда кандайча жакшы?
A1:Кварц көбүнчө тазалыгы үчүн колдонулса да, механикалык бышыктыгы жок жана жүк же температуранын соккусу астында сынууга жакын. SiC жогорку күч, эскирүү туруктуулугун жана термикалык туруктуулукту сунуштайт, бул иштебей калуу жана пластинкага зыян келтирүү коркунучун кыйла азайтат.

Q2: Бул керамикалык айры колу бардык роботтук пластинка иштеткичтери менен шайкеш келеби?
A2:Ооба, биздин керамикалык акыркы эффекторлор пластинка менен иштөө тутумдарынын көпчүлүгүнө шайкеш келет жана так инженердик чиймелери менен конкреттүү робот моделдериңизге ылайыкташтырылышы мүмкүн.

Q3: Ал 300 мм пластиналарды ийрибестен көтөрө алабы?
A3:Абсолюттук. SiCдин жогорку катуулугу жука, узун айры колдорго 300 мм пластиналарды кыймыл учурунда ийилип же кыйшаюусуз бекем кармап турууга мүмкүндүк берет.

Q4: SiC керамикалык акыркы эффектордун типтүү кызмат мөөнөтү кандай?
A4:Туура колдонуу менен SiC акыркы эффектору жылуулук жана механикалык стресске мыкты туруктуулугунун аркасында салттуу кварц же алюминий моделдерине караганда 5-10 эсе узакка созулат.

Q5: Сиз алмаштыруу же тез прототиптөө кызматтарын сунуштайсызбы?
A5:Ооба, биз тез үлгүдөгү өндүрүштү колдойбуз жана CAD чиймелеринин же учурдагы жабдуулардын тескери инженердик бөлүктөрүнүн негизинде алмаштыруу кызматтарын сунуштайбыз.

Биз жөнүндө

XKH жогорку технологиялык иштеп чыгуу, өндүрүү жана атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарды сатуу боюнча адистешкен. Биздин өнүмдөр оптикалык электроника, керектөөчү электроника жана аскердик кызмат кылат. Биз Sapphire оптикалык компоненттерин, уюлдук телефон линзаларынын капкагын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz жана жарым өткөргүч кристалл пластинкаларын сунуштайбыз. квалификациялуу экспертиза жана заманбап жабдуулар менен, биз алдынкы оптоэлектрондук материалдарды жогорку технологиялык ишкана болууну максат кылып, стандарттуу эмес продуктуларды кайра иштетүү боюнча мыкты.