Жогорку температурага туруштук берүүчү вафель ташуучу үчүн SiC керамикалык лоток
Кремний карбид керамикалык лоток (SiC лоток).
Кремний карбидинин (SiC) материалына негизделген жогорку натыйжалуу керамикалык компонент, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү жана LED өндүрүшү сыяктуу алдыңкы өнөр жай колдонмолору үчүн иштелип чыккан. Анын негизги функцияларына процесстин бирдейлигин жана продуктунун түшүмдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн өзгөчө жылуулук өткөргүчтүктү, жогорку температурага туруктуулукту жана химиялык туруктуулукту колдонуу менен пластинка ташуучу, оюу процессинин платформасы же жогорку температурадагы процессти колдоо кирет.
Негизги өзгөчөлүктөрү
1. Жылуулук аткаруу
- Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк: 140–300 Вт/м·К, салттуу графиттен (85 Вт/м·К) кыйла ашып, жылуулукту тез таркатууга жана жылуулук стрессти азайтууга мүмкүндүк берет.
- Төмөн Жылуулук кеңейүү коэффициенти: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), кремнийге жакын (2.6×10⁻⁶/℃), жылуулук деформация коркунучун азайтат.
2. Механикалык касиеттери
- Жогорку күч: ийилүү күчү ≥320 МПа (20℃), кысуу жана таасирге туруктуу.
- Жогорку Катуулугу: Mohs катуулугу 9,5, алмаздан кийинки экинчи орунда, эскилиги жеткенге туруктуулукту сунуш кылат.
3. Химиялык туруктуулук
- Коррозияга каршылык
- Магниттик эмес: Өздүк магниттик ийкемдүүлүк <1×10⁻⁶ emu/g, тактык аспаптарга тоскоолдук жаратпайт.
4. Экстремалдуу чөйрөгө толеранттуулук
- Жогорку температуранын туруктуулугу: 1600–1900 ℃ чейин узак мөөнөттүү иштөө температурасы; 2200 ℃ чейин кыска мөөнөттүү каршылык (кычкылтексиз чөйрө).
- Термикалык соккуга туруштук берүү: Температуранын кескин өзгөрүшүнө (ΔT > 1000℃) сынбастан туруштук берет.
Тиркемелер
| Колдонмо талаасы | Конкреттүү сценарийлер | Техникалык баалуулугу |
| Жарым өткөргүч өндүрүшү | Вафли менен оюу (ICP), жука-пленка чөкүү (MOCVD), CMP жылтыратуу | Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк бирдей температура талааларын камсыз кылат; төмөн жылуулук кеңейүү пластинкалардын бузулушун азайтат. |
| LED өндүрүү | Эпитаксиалдык өсүү (мисалы, GaN), пластинкаларды кесүү, таңгактоо | Көп түрдөгү кемчиликтерди басат, LED жарыгынын эффективдүүлүгүн жана иштөө мөөнөтүн жогорулатат. |
| Фотоэлектрдик өнөр жай | Кремний пластинкаларын агломерациялоо мештери, PECVD жабдуулары колдойт | Жогорку температурага жана термикалык соккуга каршылык жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартат. |
| Лазер жана оптика | Жогорку кубаттуулуктагы лазердик муздатуу субстраттары, оптикалык система колдойт | Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк оптикалык компоненттерди турукташтыруу, тез жылуулук таркатууга мүмкүндүк берет. |
| Аналитикалык аспаптар | TGA/DSC үлгү ээлери | Төмөн жылуулук сыйымдуулугу жана тез жылуулук жооп өлчөө тактыгын жакшыртат. |
Продукциянын артыкчылыктары
- Комплекстүү аткаруу: Жылуулук өткөрүмдүүлүк, күч жана коррозияга туруктуулугу глинозем жана кремний нитридинин керамикасынан алда канча ашып, экстремалдык эксплуатациялык талаптарга жооп берет.
- Жеңил дизайн: тыгыздыгы 3,1–3,2 г/см³ (болоттун 40%), инерциялык жүктү азайтат жана кыймылдын тактыгын жогорулатат.
- Узак мөөнөттүүлүк жана ишенимдүүлүк: Кызмат мөөнөтү 1600 ℃ температурада 5 жылдан ашат, токтоп калуу убактысын азайтат жана операциялык чыгымдарды 30% га төмөндөтөт.
- Ыңгайлаштыруу: Татаал геометрияларды колдойт (мисалы, тешиктүү соргучтар, көп катмарлуу лотоктор) тактык үчүн <15 мкм катасы бар.
Техникалык мүнөздөмөлөр
| Параметр категориясы | көрсөткүч |
| Физикалык касиеттери | |
| тыгыздыгы | ≥3,10 г/см³ |
| Ийилүү күчү (20℃) | 320–410 МПа |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүк (20℃) | 140–300 Вт/(м·К) |
| Жылуулук кеңейүү коэффициенти (25–1000℃) | 4,0×10⁻⁶/℃ |
| Химиялык касиеттери | |
| Кислотага туруктуулук (HF/H₂SO₄) | 24 саатка чөмүлтүлгөндөн кийин коррозия жок |
| Иштетүү тактыгы | |
| Тегиздик | ≤15 мкм (300×300 мм) |
| Беттик тегиздик (Ra) | ≤0,4 мкм |
XKH кызматтары
XKH жеке өнүктүрүүнү, так иштетүүнү жана катуу сапатты көзөмөлдөөнү камтыган комплекстүү өнөр жай чечимдерин камсыз кылат. Жекече иштеп чыгуу үчүн, ал жарым өткөргүчтөр жана аэрокосмостук сыяктуу колдонмолор үчүн татаал геометрияларды оптималдаштыруу үчүн 3D моделдөө жана симуляция менен жупташкан жогорку тазалыктагы (>99,999%) жана тешиктүү (30-50% порозиялуу) материалдарды сунуштайт. Тактык менен иштетүү жөнөкөйлөштүрүлгөн процессти камтыйт: порошок иштетүү → изостатикалык/кургак пресстөө → 2200°C агломерация → CNC/бриллиант майдалоо → текшерүү, нанометрлик деңгээлде жылтыратуу жана ± 0,01 мм өлчөмдүү толеранттуулук. Сапатты көзөмөлдөө толук процессти тестирлөө (XRD курамы, SEM микроструктурасы, 3-пункттуу ийилүү) жана техникалык колдоону (процессти оптималдаштыруу, 24/7 консультация, 48 сааттык үлгүлөрдү жеткирүү), алдыңкы өнөр жай муктаждыктары үчүн ишенимдүү, жогорку өндүрүмдүү компоненттерди камтыйт.
Көп берилүүчү суроолор (FAQ)
1. С: кремний карбид керамикалык лотокторду кайсы тармактарда колдонушат?
A: Көбүнчө жарым өткөргүч өндүрүшүндө (вафли менен иштөө), күн энергиясында (PECVD процесстери), медициналык жабдууларда (MRI компоненттери) жана аэрокосмостук (жогорку температура бөлүктөрү) өтө ысыкка туруктуулугу жана химиялык туруктуулугу үчүн кеңири колдонулат.
2. С: кремний карбиди кварц / айнек лотоктордон кандайча ашып кетет?
Ж: Жогорку термикалык соккуга туруктуулук (кварцтын 1100°Cине каршы 1800°Cге чейин), магниттик интерференция нөлсүз жана узак иштөө мөөнөтү (5+ жыл жана кварцтын 6-12 айына каршы).
3. С: кремний карбид лотоктору кислоталуу чөйрөнү кармай алабы?
Ж: Ооба. Жылына <0,01 мм коррозияга дуушар болгон HF, H2SO4 жана NaOH га туруктуу, бул аларды химиялык оюу жана пластинаны тазалоо үчүн идеалдуу кылат.
4. С: кремний карбид лотоктор автоматташтыруу менен шайкеш келеби?
Ж: Ооба. Автоматташтырылган заводдордо бөлүкчөлөрдүн булганышын алдын алуу үчүн бетинин тегиздиги <0,01мм болгон вакуумдук пикап жана роботтук иштетүү үчүн иштелип чыккан.
5. С: Салттуу материалдар менен салыштыруу наркы кандай?
Ж: Алдын ала баасы жогору (3-5x кварц), бирок 30-50% төмөн ТКО, анын иштөө мөөнөтүн узартууга, токтоп калуу убактысын кыскартууга жана жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктөн энергияны үнөмдөөгө байланыштуу.
