Кремний карбидинин керамикалык лоток соргучу Кремний карбидинин керамикалык түтүгү жогорку температурада бышыруу менен камсыз кылат, бажы иштетүүсү.

Кыскача сүрөттөмө:

Кремний карбидинин керамикалык табагы жана кремний карбидинин керамикалык түтүктөрү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө алмаштыргыс жогорку өндүрүмдүү материалдар болуп саналат. Кремний карбидинин керамикалык табагы негизинен жогорку тактыктагы процесстин туруктуулугун камсыз кылуу үчүн бекитилген жана подшипниктүү пластиналарды иштетүүдө колдонулат; Кремний карбидинин керамикалык түтүктөрү экстремалдык чөйрөлөргө туруштук берүү жана натыйжалуу жылуулук башкарууну камсыз кылуу үчүн жогорку температуралуу меш түтүктөрүндө, диффузиялык меш түтүктөрүндө жана башка сценарийлерде кеңири колдонулат. Экөө тең кремний карбидин негизги материал катары колдонушат, ал өзүнүн мыкты физикалык жана химиялык касиеттеринен улам жарым өткөргүчтөр тармагында негизги компонентке айланган.


Өзгөчөлүктөрү

Негизги өзгөчөлүктөрү:

1. Кремний карбидинин керамикалык табагы
- Жогорку катуулук жана эскирүүгө туруктуулук: катуулук алмазга жакын жана пластина иштетүүдө механикалык эскирүүгө көпкө туруштук бере алат.
- Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти: тез жылуулуктун таркашы жана өлчөмдүү туруктуулук, жылуулук стрессинен улам пайда болгон деформациядан качуу.
- Жогорку тегиздик жана беттик жасалгалоо: Беттин тегиздиги микрон деңгээлине чейин жетет, бул пластина менен дисктин толук байланышын камсыздайт, булганууну жана бузулууну азайтат.
Химиялык туруктуулук: Күчтүү коррозияга туруктуулук, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нымдуу тазалоо жана оюу процесстерине ылайыктуу.
2. Кремний карбидинин керамикалык түтүгү
- Жогорку температурага туруктуулук: Ал 1600°C жогору жогорку температуралуу чөйрөдө узак убакыт бою иштей алат, жарым өткөргүч жогорку температуралуу процесстерге ылайыктуу.
Мыкты коррозияга туруктуулук: кислоталарга, щелочторго жана ар кандай химиялык эриткичтерге туруктуу, катаал технологиялык чөйрөлөргө ылайыктуу.
- Жогорку катуулук жана эскирүүгө туруктуулук: бөлүкчөлөрдүн эрозиясына жана механикалык эскирүүгө туруштук берет, кызмат мөөнөтүн узартат.
- Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана жылуулук кеңейүүсүнүн төмөнкү коэффициенти: жылуулукту тез өткөрүү жана өлчөмдүү туруктуулук, жылуулук стрессинен улам пайда болгон деформацияны же жараканы азайтуу.

Продукт параметри:

Кремний карбидинин керамикалык табакчасынын параметри:

(Материалдык мүлк) (Бирдик) (ссик)
(SiC мазмуну)   (Салмак)% >99
(Дандын орточо өлчөмү)   микрон 4-10
(Тыгыздык)   кг/дм3 >3.14
(Көрүнүп турган тешиктүүлүк)   Vo1% <0.5
(Викерстин катуулук шкаласы) HV 0.5 GPa 28
*()
Ийилүүнүн күчү* (үч упай)
20ºC МПа 450
(Кысылуу күчү) 20ºC МПа 3900
(Серпилгичтүүлүк модулу) 20ºC GPa 420
(Сыныкка туруктуулук)   МПа/м'% 3.5
(Жылуулук өткөрүмдүүлүгү) 20°ºC Вт/(м*К) 160
(Каршылык көрсөтүү) 20°ºC Ом.см 106-108

(Жылуулук кеңейүү коэффициенти)
а(RT**...80ºC) K-1*10-6 4.3

(Максималдуу иштөө температурасы)
  oºC 1700-жыл

 

Кремний карбидинин керамикалык түтүк параметри:

Буюмдар Индекс
α-SIC 99% минималдуу
Көрүнүп турган кеуектүүлүк максимум 16%
Көмүртек тыгыздыгы 2,7 г/см3 мүн
Жогорку температурадагы ийилүү күчү 100 Мпа мин
Жылуулук кеңейүү коэффициенти K-1 4.7x10 -6
Жылуулук өткөрүмдүүлүк коэффициенти (1400ºC) 24 Вт/мк
Максималдуу иштөө температурасы 1650ºC

 

Негизги колдонмолор:

1. Кремний карбидинин керамикалык плитасы
- Пластинаны кесүү жана жылтыратуу: кесүү жана жылтыратуу учурунда жогорку тактыкты жана туруктуулукту камсыз кылуу үчүн подшипник платформасы катары кызмат кылат.
- Литография процесси: Экспозиция учурунда жогорку тактыктагы позициялоону камсыз кылуу үчүн пластина литографиялык машинага бекитилет.
- Химиялык механикалык жылтыратуу (ХМЖ): жылтыратуу төшөмөлөрү үчүн таяныч платформа катары кызмат кылат, бирдей басымды жана жылуулукту бөлүштүрүүнү камсыз кылат.
2. Кремний карбидинин керамикалык түтүгү
- Жогорку температуралуу меш түтүгү: жогорку температуралуу процессти иштетүү үчүн пластиналарды ташуу үчүн диффузиялык меш жана кычкылдандыруучу меш сыяктуу жогорку температуралуу жабдууларда колдонулат.
- CVD/PVD процесси: Реакция камерасында подшипник түтүк катары, жогорку температурага жана дат басуучу газдарга туруктуу.
- Жарым өткөргүч жабдуулардын аксессуарлары: жабдуулардын жылуулук башкаруу эффективдүүлүгүн жогорулатуу үчүн жылуулук алмаштыргычтар, газ түтүктөрү ж.б. үчүн.
XKH кремний карбиддик керамикалык лотоктор, соргучтар жана кремний карбиддик керамикалык түтүктөр үчүн толук кызмат көрсөтүүлөрдү сунуштайт. XKH кремний карбиддик керамикалык лотоктору жана соргучтары ар кандай өлчөмдөгү, формадагы жана беттик тегиздиктеги кардарлардын талаптарына ылайыкташтырылышы мүмкүн жана атайын каптоо менен иштетүүнү колдойт, эскирүүгө жана коррозияга туруктуулукту жогорулатат; Кремний карбиддик керамикалык түтүктөр үчүн XKH ар кандай ички диаметрлерди, сырткы диаметрлерди, узундуктарды жана татаал түзүлүштөрдү (мисалы, формадагы түтүк же тешиктүү түтүк) ыңгайлаштыра алат жана жылтыратуу, антиоксиданттык каптоо жана башка беттик иштетүү процесстерин камсыздай алат. XKH кардарлар жарым өткөргүчтөр, светодиоддор жана фотоэлектрдик чырактар ​​сыяктуу жогорку класстагы өндүрүш тармактарынын талаптуу талаптарын канааттандыруу үчүн кремний карбиддик керамикалык продукциялардын иштөө артыкчылыктарын толук пайдалана ала тургандыгын камсыздайт.

Толук диаграмма

SIC керамикалык лоток жана түтүк 6
SIC керамикалык табакчасы жана түтүгү 7
SIC керамикалык лоток жана түтүк 8
SIC керамикалык табакчасы жана түтүгү 9

  • Мурунку:
  • Кийинки:

  • Билдирүүңүздү бул жерге жазып, бизге жөнөтүңүз