Кремний карбиди керамикалык лоток соргуч Кремний карбид керамикалык түтүк менен камсыз кылуу жогорку температура агломерациялоо бажы иштетүү

Кыска сүрөттөмө:

Кремний карбид керамикалык лоток жана кремний карбид керамикалык түтүктөр жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө алмаштырылгыс жогорку натыйжалуу материалдар болуп саналат. Кремний карбид керамикалык табак, негизинен, жогорку тактык жараянынын туруктуулугун камсыз кылуу үчүн, пластинка кайра иштетүү туруктуу жана подшипник колдонулат; Кремний карбид керамикалык түтүктөр экстремалдык чөйрөгө туруштук берүү жана эффективдүү жылуулук башкарууну сактоо үчүн жогорку температурадагы меш түтүктөрүндө, диффузиялык меш түтүктөрүндө жана башка сценарийлерде кеңири колдонулат. Экөө тең негизги материал катары кремний карбидине негизделген, ал мыкты физикалык жана химиялык касиеттеринен улам жарым өткөргүч өнөр жайынын негизги компоненти болуп калды.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Негизги өзгөчөлүктөрү:

1. Кремний карбид керамикалык табак
- Жогорку катуулук жана эскирүү туруктуулугу: катуулугу алмазга жакын жана пластинкаларды иштетүүдө механикалык эскирүүлөргө узак убакыт бою туруштук бере алат.
- Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти: жылуулуктун тез таралышы жана өлчөмдүү туруктуулугу, жылуулук стресстен келип чыккан деформациядан качуу.
- Жогорку тегиздик жана беттин жасалгасы: Беттин тегиздиги микрон деңгээлине чейин, пластинка менен дисктин толук байланышын камсыз кылып, булганууну жана бузулууну азайтат.
Химиялык туруктуулук: Күчтүү коррозияга туруктуулук, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө нымдуу тазалоо жана оюу процесстери үчүн ылайыктуу.
2. Кремний карбид керамикалык түтүк
- Жогорку температурага каршылык: Бул жарым өткөргүч жогорку температура жараянына ылайыктуу, узак убакыт бою 1600 ° C жогору жогорку температура чөйрөдө иштей алат.
Мыкты коррозияга туруктуулугу: кислоталарга, щелочторго жана ар кандай химиялык эриткичтерге туруктуу, катаал процесстерге ылайыктуу.
- Жогорку катуулук жана эскирүү туруктуулугу: бөлүкчөлөрдүн эрозиясына жана механикалык эскирүүсүнө каршы туруу, кызмат мөөнөтүн узартуу.
- Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана жылуулук кеңейүү коэффициенти төмөн: жылуулукту тез өткөрүү жана өлчөмдүү туруктуулук, жылуулук стресстен келип чыккан деформацияны же крекингди азайтуу.

Продукт параметри:

Кремний карбид керамикалык табак параметри:

(Материалдык мүлк)		(бирдик)	(ssic)
(SiC мазмуну)		(Вт)%	>99
(Орточо дан өлчөмү)		микрон	4-10
(Тыгыштык)		кг/дм3	>3.14
(Көрүнүүчү көзөнөктүүлүк)		Vo1%	<0,5
(Виккерс катуулугу)	HV 0,5	GPa	28
() Ийилүү күчү (үч балл)	20ºC	МПа	450
(кысылуу күчү)	20ºC	МПа	3900
(Эластикалык модулу)	20ºC	GPa	420
(Сынууга катуулугу)		МПа/м'%	3.5
(Жылуулук өткөргүчтүк)	20°ºC	В/(м*К)	160
(Каршылык)	20°ºC	Ом.см	106-108
(Жылуулук кеңейүү коэффициенти)	a(RT**...80ºC)	К-1*10-6	4.3
(Максималдуу иштөө температурасы)		oºC	1700

Кремний карбид керамикалык түтүк параметри:

Items	Индекс
α-SIC	99% мин
Көрүнгөн көзөнөктүүлүк	16% макс
Жаппай тыгыздык	2,7 г/см3 мин
Жогорку температурада ийилген күч	100 Мпа мин
Термикалык кеңейүү коэффициенти	К-1 4.7x10 -6
Жылуулук өткөрүмдүүлүк коэффициенти (1400ºC)	24 Вт/мк
Макс. Иштөө температурасы	1650ºC

Негизги колдонмолор:

1. Кремний карбид керамикалык табак
- Wafer кесүү жана жылмалоо: кесүү жана жылмалоо учурунда жогорку тактыкты жана туруктуулукту камсыз кылуу үчүн подшипник платформа катары кызмат кылат.
- Литография процесси: экспозиция учурунда жогорку тактык менен жайгаштырууну камсыз кылуу үчүн пластинка литография машинасына бекитилет.
- Химиялык механикалык жылтыратуу (CMP) : жылмалоочу аянтчалардын ролун аткарат, бирдиктүү басымды жана жылуулукту бөлүштүрүүнү камсыз кылат.
2. Кремний карбид керамикалык түтүк
- Жогорку температурадагы меш түтүгү: диффузиялык меш жана кычкылдануу меши сыяктуу жогорку температурадагы жабдуулар үчүн, жогорку температура процессин дарылоо үчүн пластиналарды алып жүрүү үчүн колдонулат.
- CVD/PVD процесси: реакция камерасында подшипник түтүгү катары, жогорку температурага жана коррозияга каршы газдарга туруктуу.
- жарым өткөргүч жабдуулардын аксессуарлары: жылуулук алмаштыргычтар, газ түтүктөрү ж.б. үчүн жабдуулардын жылуулукту башкаруу эффективдүүлүгүн жогорулатуу үчүн.
XKH кремний карбид керамикалык лотоктору, соргучтар жана кремний карбид керамикалык түтүктөр үчүн бажы кызматтарынын толук спектрин сунуш кылат. Кремний карбид керамикалык лотоктор жана соргуч чөйчөкчөлөр, XKH ар кандай өлчөмдөрү, калыптары жана беттик тегиздик кардарлардын талаптарына ылайык өзгөчөлөштүрүлгөн болот, жана атайын каптоо дарылоону колдоо, эскирүүгө туруктуулугун жана коррозияга туруктуулугун жогорулатуу; кремний карбид керамикалык түтүктөр үчүн, XKH ар кандай ички диаметри, тышкы диаметри, узундугу жана татаал түзүмүн (мисалы, калыптанган түтүк же тешиктүү түтүк сыяктуу) өзгөчөлөштүрүү жана жылтыратуу, антиоксидант каптоо жана башка беттик тазалоо жараяндарды камсыз кыла алат. XKH кардарлар кремний карбид керамикалык буюмдардын аткаруу артыкчылыктарын толук пайдалана алат деп кепилдик берет, мисалы, жарым өткөргүчтөр, LED жана photovoltaics сыяктуу жогорку өндүрүштүк талаалардын талап талаптарын канааттандыруу үчүн.