Силикон Карбид Керамикалык Сивер Сукер Силикон Карбид цирамикалык түтүк жогорку температура
Негизги белгилер:
1. Силикон карбид керамикалык жайма
- жогорку катуулук жана тегирменди кийүү: катуулук алмазга жакын жана узак убакыт бою вафли иштетүү механикалык эскиргенин көтөрө алат.
- жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана жылуулук кеңейтүү коэффициенти: жылуулук диссипциясы жана өлчөмдүү стресс, жылуулук стресстен улам деформациядан алыс болуңуз.
- Жогорку жорук-беттик жана беттик беттик флакция микрон деңгээлине чейин, вафли менен дисктин ортосундагы байланышты камсыз кылуу, булганууну азайтууну жана зыянды азайтууну камсыз кылат.
Химиялык туруктуулук: Жарым өткөргүч өндүрүшүндө нымдуу тазалоо жана жугуштуу процесстерге жарууга жарамдуулугу.
2. Силикон карбид керамикалык түтүк
- жогорку температуранын жогорку деңгээлине каршылык көрсөтүү: Ал турак-жайга чейин, жогорку температура чөйрөсүндө, жарым-жартылай төрттөн жогорку температуранын жогорку деңгээлине ылайыктуу болот.
Мыкты датка каршылык: кислоталар, алкалиске, ар кандай химиялык эриткичтарга туруштук берүү, катаал процесстерге ылайыктуу.
- жогорку катуулук жана кийүү каршылык: бөлүкчө эрозия жана механикалык эскирүү, тейлөө мөөнөтүн узартуу.
- Жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана жылуулук кеңейиши төмөндөткүчтүү коэффициент: жылуулук жана өлчөмдүү туруктуулук, жылуулук стресс-деформациясын жана жылуулук стрессинен улам тез өзгөрүү же крекингди азайтуу.
Продукт параметрлери:
Силикон карбид керамикалык тарамык таратылышы:
| (Материалдык мүлк) | (Бирдик) | (SSIC) | |
| (SICтин мазмуну) | (WT)% | > 99 | |
| (Орточо дан өлчөмү) | Микрон | 4-10 | |
| (Тыгыздык) | kg / dm3 | > 3.14 | |
| (Ачык көңдөйлүүлүк) | VO1% | <0.5 | |
| (Vickers Hardness) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| * () Ийкемдүү күч * (үч пункт) | 20º | MPA | 450 |
| (Кысуучу күч) | 20º | MPA | 3900 |
| (Серпилгич модулу) | 20º | GPA | 420 |
| (Сынык катаалдык) | MPA / M '% | 3.5 | |
| (Жылуулук өткөрүмдүүлүк) | 20 ° ° º | W / (M * k) | 160 |
| (Каршылык көрсөтүү) | 20 ° ° º | Ohm.cm | 106-108 |
(Жылуулук кеңейтүү коэффициенти) | a (rt ** ... 80ºc) | K-1 * 10-6 | 4.3 |
(Максималдуу иштөө температурасы) | oºc | 1700 | |
Силикон карбид цирамикалык түтүк параметрлери:
| Буюмдар | Индекс |
| α-SIC | 99% мин |
| Көрүнбөгөн көңдөйлүүлүк | 16% макс |
| Жапырт тыгыздык | 2.7г / см3 мин |
| Жогорку температурада бүгүлүү | 100 MPA Min |
| Жылуулук кеңейиши коэффициенти | K-1 4.7x10 -6 |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүгүнүн коэффициенти (1400º) | 24 Вт / МК |
| Макс. Иштөө температурасы | 1650º |
Негизги тиркемелер:
1. Силикон карбид керамикалык плитасы
- Вафли кесүү жана жылтыратуу: кесүү жана жылтыратуу учурунда жогорку тактыкты жана туруктуулукту камсыз кылуу үчүн кызмат көрсөтүүлөр катары кызмат кылат.
- Литография процесси: Вафли, бездин учурунда жогорку тактыкты камсыз кылуу үчүн жогорку тактыкты камсыз кылуу үчүн бекитилген.
- Химиялык механикалык жылтыратуу (CMP): Бирдиктүү басым жана жылуулук бөлүштүрүү үчүн бир калыпташуу платформасы үчүн колдоо аянтчасы катары иштейт.
2. Силикон карбид керамикалык түтүк
- температуранын жогорку температурасы меш түтүгү: жогорку температура процесстерин дарылоо үчүн диффузиялык меш жана кычкылдоо меши сыяктуу жогорку температура жабдуулары үчүн колдонулат.
- CVD / PVD процесси: реакция бөлмөсүндөгү рубраца катары, жогорку температурага жана дат баскан газдарга туруктуу.
- Жарым өткөргүч шаймандары: Жабдуулардын жылуулук башкаруу натыйжалуулугун жогорулатуу үчүн жылуулукка алмаштыргычтар, газ түтүктөрү ж.б. үчүн.
XKH кремний карбид керамикалык лоток, сориктуу чөйчөктөр жана кремний карбид керамикалык түтүктөрү үчүн тиешелүү кызматтардын толук спектрин сунуштайт. Силикон карбиддин керамикалык лотикалык лотолору жана соруучу чөйчөктөрдү жана сорстураны кардарлардын ар кандай өлчөмдөрү, фигураларынын жана беттик катмарлуулуктун ар кандай көлөмдүүлүгүнө жараша ылайыкташтырууга болот жана атайын капталган дарылоону колдоо, каршылыкты жана коррозиялык каршылыкты күчөтүү; Ххикон карбиддин керамикалык түтүктөрү үчүн, XK Өз ар кандай ички диаметрди, тышкы диаметри, узундугун, узундугун, узундугун же татаал түзүлүшүн ыңгайлаштыра алат (мисалы, формадагы түтүк же көмүртектүүлүк, кычкылдануу менен капталган жана башка жер бетин тазалоо процесстерин) камсыз кылат. XKH кардарлар силикон карбиддин керамикалык өнүмдөрүнүн иш-аракеттеринин артыкчылыктарын толугу менен пайдаланып, жарым өткөргүчтөр, тёмёнкъ, меделдер жана фотоволтика сыяктуу жогорку натыйжа өндүрүү талааларынын талаптарын аткаруу үчүн талаптарга жооп бере тургандыгын камсыз кылат.
Деталдуу диаграмма
