Кремний карбидин алмаз зым кесүүчү машина 4/6/8/12 дюймдук SiC куймасын иштетүү

Кыскача сүрөттөмө:

Кремний карбиди бриллиант зым кесүүчү машина - бул жогорку тактыктагы иштетүүчү жабдуулардын бир түрү, ал бриллиант зым технологиясын колдонуп, жогорку ылдамдыкта жылуучу бриллиант зым (сызыктын диаметри 0,1 ~ 0,3 мм) аркылуу SiC куймасын көп зым менен кесүү аркылуу жогорку тактыктагы, аз зыян келтирүүчү пластина даярдоого жетишет. Бул жабдуулар SiC кубаттуу жарым өткөргүчтөрүндө (MOSFET/SBD), радио жыштыктагы түзүлүштө (GaN-on-SiC) жана оптоэлектрондук түзүлүштөрдүн субстратын иштетүүдө кеңири колдонулат, SiC өнөр жай чынжырындагы негизги жабдуулардын бири болуп саналат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Иштөө принциби:

1. Куйманы бекитүү: SiC куймасы (4H/6H-SiC) позициянын тактыгын (±0,02 мм) камсыз кылуу үчүн кесүүчү платформага бекиткич аркылуу бекитилет.

2. Алмаз сызыгынын кыймылы: алмаз сызыгы (беттеги электрод менен капталган алмаз бөлүкчөлөрү) жогорку ылдамдыктагы айлануу үчүн жетектөөчү дөңгөлөк системасы менен башкарылат (сызыктын ылдамдыгы 10~30м/с).

3. Кесүүчү берүү: куйма белгиленген багыт боюнча берилет, ал эми алмаз сызыгы бир нече параллелдүү сызыктар (100 ~ 500 сызык) менен бир убакта кесилип, бир нече пластиналарды түзөт.

4. Муздатуу жана чийиктерди алып салуу: Ысыктан келтирилген зыянды азайтуу жана чийиктерди алып салуу үчүн кесилген жерге муздатуучу суюктукту (деиондоштурулган суу + кошулмалар) чачыңыз.

Негизги параметрлер:

1. Кесүү ылдамдыгы: 0,2 ~ 1,0 мм / мин (кристалдын багытына жана SiC калыңдыгына жараша).

2. Линиянын тартылуусу: 20~50N (сызыкты үзүү оңой, өтө төмөн болсо кесүүнүн тактыгына таасир этет).

3. Вафли калыңдыгы: стандарттуу 350~500μm, вафли 100μmге жетиши мүмкүн.

Негизги өзгөчөлүктөрү:

(1) Кесүү тактыгы
Калыңдыгына чыдамдуулук: ±5μm (@350μm пластина), кадимки эритме кесүүгө караганда жакшыраак (±20μm).

Беттин оройлугу: Ra <0.5μm (кийинки иштетүү көлөмүн азайтуу үчүн кошумча майдалоо талап кылынбайт).

Буралып кетүү: <10μm (кийинки жылтыратуу кыйынчылыгын азайтат).

(2) Иштетүүнүн натыйжалуулугу
Көп сызыктуу кесүү: бир убакта 100дөн 500гө чейин кесүү, өндүрүш кубаттуулугун 3төн 5 эсеге чейин көбөйтүү (бир сызыктуу кесүүгө салыштырмалуу).

Линиянын иштөө мөөнөтү: Алмаз сызыгы 100 ~ 300 км SiC кесе алат (куйманын катуулугуна жана процесстин оптималдаштырылышына жараша).

(3) Аз зыян келтирүү менен иштетүү
Четинин сынышы: <15μm (салттуу кесүү >50μm), пластинанын түшүмүн жакшыртат.

Жер астындагы жабыркоо катмары: <5μm (жылтыраткычтын кетишин азайтат).

(4) Айлана-чөйрөнү коргоо жана экономика
Суюктуктун булганышы жок: Суюктуктун калдыктарын жок кылуу чыгымдары суюктуктун калдыктарын жок кылууга салыштырмалуу азаят.

Материалды пайдалануу: Кесүү жоготуусу <100μm/ кескич, SiC чийки заттарын үнөмдөө.

Кесүү эффектиси:

1. Пластинанын сапаты: бетинде макроскопиялык жаракалар жок, микроскопиялык кемчиликтер аз (башкарылуучу дислокациянын кеңейиши). Оддолгон жылтыратуу звеносуна түз кирип, процесстин агымын кыскарта алат.

2. Ырааттуулук: партиядагы пластинанын калыңдыгынын четтөөсү <±3% түзөт, автоматташтырылган өндүрүшкө ылайыктуу.

3.Колдонулушу: 4H/6H-SiC куймасын кесүүнү колдойт, өткөргүч/жарым изоляцияланган түргө шайкеш келет.

Техникалык мүнөздөмөлөр:

Техникалык мүнөздөмө	Чоо-жайы
Өлчөмдөрү (Узундугу × Туурасы × Бийиктиги)	2500x2300x2500 же ыңгайлаштырыңыз
Иштетүү материалынын өлчөмүнүн диапазону	4, 6, 8, 10, 12 дюймдук кремний карбиди
Беттин оройлугу	Ra≤0.3u
Орточо кесүү ылдамдыгы	0,3 мм/мин
Салмак	5,5т
Кесүү процессин орнотуу кадамдары	≤30 кадам
Жабдуулардын ызы-чуусу	≤80 дБ
Болот зымдын тартылышы	0~110N (0.25 зымдын чыңалуусу 45N)
Болот зымдын ылдамдыгы	0~30м/с
Жалпы кубаттуулук	50 кВт
Алмаз зымдын диаметри	≥0.18 мм
Аягынын тегиздиги	≤0.05 мм
Кесүү жана сынуу ылдамдыгы	≤1% (адамдык себептерден, кремний материалынан, линиядан, техникалык тейлөөдөн жана башка себептерден тышкары)

XXKH кызматтары:

XKH кремний карбидинен жасалган алмаз зым кесүүчү машинанын бүтүндөй процесстик кызматын көрсөтөт, анын ичинде жабдууларды тандоо (зымдын диаметри/зымдын ылдамдыгын дал келтирүү), процессти иштеп чыгуу (кесүү параметрлерин оптималдаштыруу), керектелүүчү материалдарды жеткирүү (алмаз зым, жетектөөчү дөңгөлөк) жана сатуудан кийинки колдоо (жабдууларды тейлөө, кесүү сапатын талдоо), бул кардарларга жогорку өндүрүмдүүлүккө (>95%), арзан баадагы SiC пластиналарын массалык түрдө өндүрүүгө жетүүгө жардам берет. Ошондой эле, ал 4-8 жумалык мөөнөт менен жекелештирилген жаңыртууларды (мисалы, өтө жука кесүү, автоматташтырылган жүктөө жана түшүрүү) сунуштайт.