Критикалык иштетүү системалары үчүн кремний карбидинин SiC керамикалык айры рычагы/колу
Толук диаграмма
Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колунун/колунун кириш сөзү
TheКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колу- бул өнүккөн өнөр жай автоматизациясы, жарым өткөргүчтөрдү иштетүү жана өтө таза чөйрөлөр үчүн иштелип чыккан алдыңкы компонент. Анын өзгөчө айры архитектурасы жана өтө жалпак керамикалык бети аны кремний пластиналары, айнек панелдер жана оптикалык түзүлүштөр сыяктуу назик субстраттарды иштетүү үчүн идеалдуу кылат. Тактык менен долбоорлонгон жана өтө таза кремний карбидинен жасалган,Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колутеңдешсиз механикалык бекемдикти, жылуулук ишенимдүүлүгүн жана булганууну көзөмөлдөөнү сунуштайт.
Кадимки металл же пластик колдордон айырмаланып,Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колуэкстремалдык жылуулук, химиялык жана вакуумдук шарттарда туруктуу иштөөнү камсыз кылат. 1-класстагы таза бөлмөдө же жогорку вакуумдук плазма камерасында иштегенде, бул компонент баалуу тетиктерди коопсуз, натыйжалуу жана калдыксыз ташууну камсыз кылат.
Робот колдору, пластина иштетүүчүлөрү жана автоматташтырылган өткөрүп берүү куралдары үчүн ылайыкташтырылган түзүлүш менен,Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колуар кандай жогорку тактыктагы система үчүн акылдуу жаңыртуу болуп саналат.
Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колунун/колунун өндүрүш процесси
Жогорку натыйжалуулукту түзүүКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колукайталануучулукту, ишенимдүүлүктү жана өтө төмөн кемчиликтерди камсыз кылган катуу көзөмөлдөнгөн керамикалык инженерия жумуш агымын камтыйт.
1. Материалдык инженерия
Аны жасоодо өтө жогорку тазалыктагы кремний карбидинин порошогу гана колдонулатКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колу, иондук булгануунун аздыгын жана жогорку көлөмдүк бекемдикти камсыз кылат. Оптималдуу тыгыздыкка жетүү үчүн порошоктор бышыруу кошулмалары жана байланыштыруучу заттар менен так аралаштырылат.
2. Негизги түзүлүштү түзүү
Негизги геометрияайры колу/колумуздак изостатикалык пресстөө же куюу аркылуу калыптандыруу жүргүзүлөт, бул жогорку жашыл тыгыздыкты жана бирдей чыңалуу бөлүштүрүүнү камсыз кылат. U-формасындагы конфигурация катуулук-салмак катышы жана динамикалык жооп үчүн оптималдаштырылган.
3. Агломерациялоо процесси
Жашыл денесиКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колужогорку температурадагы, инерттүү газ мешинде 2000°C жогору температурада бышырылат. Бул кадам теориялык тыгыздыкка жакындыгын камсыз кылат, реалдуу дүйнөдөгү жылуулук жүктөмдөрүнүн астында жаракаларга, ийилүүгө жана өлчөмдүк четтөөгө туруктуу компонентти өндүрөт.
4. Так майдалоо жана иштетүү
Акыркы өлчөмдөрүн калыптандыруу үчүн өркүндөтүлгөн CNC алмаз аспаптары колдонулатКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колуТыгыз жол берилген чеги (±0,01 мм) жана күзгү деңгээлиндеги беттик каптоо бөлүкчөлөрдүн бөлүнүп чыгышын жана механикалык чыңалууну азайтат.
5. Бетти кондиционерлөө жана тазалоо
Акыркы беттик жасалгалоо химиялык жылтыратуу жана ультраүн менен тазалоону камтыйт, бул бетти даярдоо үчүн колдонулатайры колу/колуөтө таза системаларга түз интеграциялоо үчүн. Кошумча каптоолор (CVD-SiC, чагылдырылбаган катмарлар) да бар.
Бул кылдат процесс ар бирининКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колуSEMI жана ISO таза бөлмө талаптарын кошо алганда, эң катуу өнөр жай стандарттарына жооп берет.
Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колунун/колунун параметри
| Буюм | Сыноо шарттары | Маалыматтар | Бирдик |
| Кремний карбидинин курамы | / | >99.5 | % |
| Дандын орточо өлчөмү | / | 4-10 | микрон |
| Тыгыздык | / | >3.14 | г/см3 |
| Көрүнүп турган кеуектүүлүк | / | <0.5 | Көлөм % |
| Виккерстин катуулугу | HV0.5 | 2800 | Кг/мм2 |
| Жарака модулу (3 упай) | Сыноо тилкесинин өлчөмү: 3 x 4 x 40 мм | 450 | МПа |
| Кысуунун күчү | 20°C | 3900 | МПа |
| Серпилгичтик модулу | 20°C | 420 | GPa |
| Сыныкка туруктуулук | / | 3.5 | МПа/м1/2 |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүгү | 20°C | 160 | Вт/(мК) |
| Электрдик каршылык | 20°C | 106-108 | Ωсм |
| Жылуулук кеңейүү коэффициенти | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
| Максималдуу колдонуу температурасы | Оксиддик атмосфера | 1600 | °C |
| Максималдуу колдонуу температурасы | Инерттик атмосфера | 1950-жыл | °C |
Кремний карбидинин керамикалык айрысынын/колунун колдонулушу
TheКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колужогорку тактыктагы, жогорку тобокелдиктеги жана булганууга сезгич колдонмолордо колдонуу үчүн иштелип чыккан. Ал маанилүү компоненттерди эч кандай компромисссиз ишенимдүү иштетүүгө, өткөрүп берүүгө же колдоого мүмкүндүк берет.
➤ Жарым өткөргүчтөр өнөр жайы
-
Алдыңкы пластиналарды өткөрүүдө жана FOUP станцияларында робот айры катары колдонулат.
-
Плазмалык оюу жана PVD/CVD процесстери үчүн вакуумдук камераларга интеграцияланган.
-
Метрологияда жана пластиналарды тегиздөө куралдарында ташуучу кол катары иштейт.
TheКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колуэлектростатикалык разряд (ЭСД) коркунучун жок кылат, өлчөмдүү тактыкты колдойт жана плазмалык коррозияга туруктуу.
➤ Фотоника жана оптика
-
Жасоо же текшерүү учурунда назик линзаларды, лазердик кристаллдарды жана сенсорлорду колдойт.
Анын жогорку катуулугу титирөөнүн алдын алат, ал эми керамикалык корпус оптикалык беттердин булганышына туруктуу.
➤ Дисплей жана панелдерди өндүрүү
-
Ташуу же текшерүү учурунда жука айнекти, OLED модулдарын жана LCD субстраттарын иштетет.
Жалпак жана химиялык жактан инерттүүКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колучийилип кетүүдөн же химиялык заттар менен уулануудан коргойт.
➤ Аэрокосмостук жана илимий аспаптар
-
Спутниктик оптика чогултууда, вакуумдук робототехникада жана синхротрондук нур линияларын орнотууда колдонулат.
Космостук деңгээлдеги таза бөлмөлөрдө жана радиацияга жакын чөйрөлөрдө кемчиликсиз иштейт.
Ар бир тармакта,Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колусистеманын натыйжалуулугун жогорулатат, тетиктердин бузулушун азайтат жана иштебей калуу убактысын минималдаштырат.
Көп берилүүчү суроолор – Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колу жөнүндө көп берилүүчү суроолор
С1: Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колун/колун металл альтернативаларына караганда эмне жакшыраак кылат?
TheКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колуметаллдарга караганда жогорку катуулукка, төмөнкү тыгыздыкка, жакшыраак химиялык туруктуулукка жана жылуулук кеңейүүсүнө бир топ аз ээ. Ошондой эле, ал таза бөлмөгө шайкеш келет жана коррозияга же бөлүкчөлөрдүн пайда болушуна жол бербейт.
С2: Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колу үчүн ыңгайлаштырылган өлчөмдөрдү сурай аламбы?
Ооба. Биз айрынын туурасын, калыңдыгын, орнотуучу тешиктерди, кесилген жерлерди жана беттик иштетүүнү камтыган толук ыңгайлаштыруу кызматтарын сунуштайбыз. 6", 8" же 12" пластиналар үчүн, сиздинайры колу/колуылайыкташтырылышы мүмкүн.
С3: Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колу плазма же вакуум астында канча убакытка чейин иштейт?
Жогорку тыгыздыктагы SiC материалынын жана инерттүү мүнөзүнүн аркасында,айры колу/колумиңдеген процесстик циклдерден кийин да функционалдуу бойдон калат. Ал агрессивдүү плазма же вакуумдук жылуулук жүктөмдөрүнүн астында минималдуу эскирүүнү көрсөтөт.
С4: Бул продукт ISO 1 класстагы таза бөлмөлөргө ылайыктуубу?
Албетте.Кремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колуСертификацияланган таза бөлмө жайларында өндүрүлөт жана таңгакталат, бөлүкчөлөрдүн деңгээли ISO 1-классынын талаптарынан бир топ төмөн.
С5: Бул айрынын колу/колу үчүн максималдуу иштөө температурасы кандай?
TheКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колу1500°C чейин үзгүлтүксүз иштей алат, бул аны жогорку температурадагы процесстик камераларда жана термикалык вакуум системаларында түздөн-түз колдонууга ылайыктуу кылат.
Бул Көп берилүүчү суроолор инженерлерден, лаборатория менеджерлеринен жана системалык интеграторлордон келип чыккан эң көп кездешүүчү техникалык көйгөйлөрдү чагылдыратКремний карбидинин керамикалык айрысынын колу/колу.
Биз жөнүндө
XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.










