Кремний / Кремний карбиди (SiC) пластинасынын төрт баскычтуу бириктирилген жылтыратуу автоматташтыруу линиясы (жылтыратуудан кийинки интеграцияланган иштетүү линиясы)

Кремний / Кремний карбиди (SiC) пластинасынын төрт баскычтуу туташтырылган жылтыратуу автоматташтыруу линиясы (жылтыратуудан кийинки интеграцияланган иштетүү линиясы) Сунушталган сүрөт

Кыскача сүрөттөмө:

Бул төрт баскычтуу байланышкан жылтыратуу автоматташтыруу линиясы - бул төмөнкүлөр үчүн иштелип чыккан интеграцияланган, линия ичиндеги чечимполировкадан кийинки / CMPден кийинкиоперацияларыкремнийжанакремний карбиди (SiC)пластиналар. Айланасына курулганкерамикалык алып жүрүүчүлөр (керамикалык плиталар), система бир нече ылдыйкы агымдагы тапшырмаларды бир координацияланган линияга бириктирет — бул заводдорго кол менен иштетүүнү азайтууга, такт убактысын турукташтырууга жана булганууну көзөмөлдөөнү күчөтүүгө жардам берет.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Жалпы маалымат

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө,CMPден кийинки натыйжалуу тазалоокийинки процесстен мурун кемчиликтерди азайтуунун негизги кадамы катары кеңири таанылган жана өнүккөн ыкмалар (анын ичиндемегасоникалык тазалоо) бөлүкчөлөрдү алып салуу натыйжалуулугун жакшыртуу үчүн кеңири талкууланат.

Айрыкча SiC үчүн, анынжогорку катуулук жана химиялык инерциялуулукжылтыратуу иштерин татаалдаштырат (көбүнчө материалды алып салуунун төмөн ылдамдыгы жана беттин/жер астынын бузулуу коркунучунун жогору болушу менен байланыштуу), бул жылтыратуудан кийинки туруктуу автоматташтырууну жана көзөмөлдөнгөн тазалоону/колдонууну өзгөчө баалуу кылат.

Кремний / Кремний карбиди (SiC) пластинасынын төрт баскычтуу бириктирилген жылтыратуу автоматташтыруу линиясы (жылтыратуудан кийинки интеграцияланган иштетүү линиясы)2

Негизги артыкчылыктар

Төмөнкүлөрдү колдогон бирдиктүү интеграцияланган линия:

Вафлилерди бөлүү жана чогултуу(жылтыратуудан кийин)
Керамикалык алып жүрүүчүнү буферлөө / сактоо
Керамикалык ташуучуларды тазалоо
Керамикалык ташуучуларга пластинаны орнотуу (чаптоо)
Консолидацияланган, бир линиялуу операция үчүн6–8 дюймдук вафлилер

Техникалык мүнөздөмөлөр (берилген маалымат баракчасынан)

Жабдуулардын өлчөмдөрү (Узундугу × Т × Б):13643 × 5030 × 2300 мм
Электр камсыздоо:AC 380 В, 50 Гц
Жалпы кубаттуулук:119 кВт
Орнотуудагы тазалык:0,5 мкм < 50 даана; 5 мкм < 1 даана
Орнотуунун тегиздиги:≤ 2 мкм

Өткөрүү жөндөмдүүлүгүнүн шилтемеси (берилген маалымат баракчасынан)

Жабдуулардын өлчөмдөрү (Узундугу × Т × Б):13643 × 5030 × 2300 мм
Электр камсыздоо:AC 380 В, 50 Гц
Жалпы кубаттуулук:119 кВт
Орнотуудагы тазалык:0,5 мкм < 50 даана; 5 мкм < 1 даана
Орнотуунун тегиздиги:≤ 2 мкм

Типтүү линия агымы

Жогорку агымдагы жылтыратуу аймагынан келген киргизүү/интерфейс
Вафлилерди бөлүү жана чогултуу
Керамикалык алып жүрүүчүнү буферлөө/сактоо (так убакытта ажыратуу)
Керамикалык ташуучуларды тазалоо
Вафлилерди ташуучуларга орнотуу (тазалык жана тегиздикти көзөмөлдөө менен)
Кийинки процесстерге же логистикага чыгуу

Көп берилүүчү суроолор

С1: Бул линия негизинен кандай көйгөйлөрдү чечет?
A: Ал пластинаны бөлүү/жыйноо, керамикалык ташуучуну буферлөө, ташуучуну тазалоо жана пластинаны орнотууну бир координацияланган автоматташтыруу линиясына бириктирүү менен жылтыратуудан кийинки операцияларды жөнөкөйлөтөт — кол менен тийүү чекиттерин азайтып, өндүрүш ритмин турукташтырат.

С2: Кайсы пластина материалдары жана өлчөмдөрү колдоого алынат?
А:Кремний жана SiC,6–8 дюймпластиналар (берилген спецификацияга ылайык).

С3: Эмне үчүн тармакта CMPден кийинки тазалоого басым жасалат?
A: Тармактык адабияттарда кийинки кадамга чейин кемчиликтердин тыгыздыгын азайтуу үчүн CMPден кийинки натыйжалуу тазалоого болгон суроо-талап өскөнү баса белгиленет; бөлүкчөлөрдү жок кылууну жакшыртуу үчүн мегаүнгө негизделген ыкмалар кеңири изилденет.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.