TGV Glass субстраттары 12 дюймдук вафли Айнек теши
Айнек субстраттары жылуулук касиеттери, физикалык туруктуулугу боюнча жакшыраак иштешет жана ысыкка чыдамдуу жана жогорку температурадан улам кыйшаюу же деформация көйгөйлөрүнө азыраак дуушар болушат;
Мындан тышкары, айнек өзөктүн уникалдуу электрдик касиеттери диэлектрдик жоготууларды азайтууга мүмкүндүк берип, сигналды жана электр энергиясын ачык-айкын өткөрүүгө мүмкүндүк берет. Натыйжада, сигнал берүү учурунда электр энергиясын жоготуу азаят жана чиптин жалпы натыйжалуулугу табигый түрдө жогорулайт. Айнек өзөктүү субстраттын калыңдыгын ABF пластмассасына салыштырмалуу жарымына кыскартууга болот, ал эми ичкерүү сигнал берүүнүн ылдамдыгын жана кубаттуулуктун натыйжалуулугун жакшыртат.
TGV тешик түзүү технологиясы:
Импульстук лазер аркылуу үзгүлтүксүз денатурация зонасын индукциялоо үчүн лазердик индукциялоо ыкмасы колдонулат, андан кийин лазер менен иштетилген айнек офорт үчүн гидрофтор кислотасынын эритмесине салынат. Фторит кислотасындагы денатурация зонасы айнектин оюу ылдамдыгы тешиктер аркылуу пайда болуу үчүн денатурацияланбаган айнекке караганда тезирээк.
TGV толтуруу:
Биринчиден, TGV сокур тешиктер жасалат. Экинчиден, урук катмары TGV сокур тешиктин ичине физикалык буу туташтыруу (PVD) жолу менен салынган. Үчүнчүдөн, ылдыйдан өйдө электропластика TGVди кемчиликсиз толтурууга жетишет; Акыр-аягы, убактылуу байланыш аркылуу, кайра майдалоо, химиялык механикалык жылтыратуу (CMP) жез таасири, unbonding, TGV металл толтурулган өткөрүп берүү табак түзүү.