Ti/Cu металл менен капталган кремний пластинасы (титан/жез)

Кыскача сүрөттөмө:

БиздинTi/Cu металл менен капталган кремний пластиналарыменен капталган жогорку сапаттагы кремний (же кошумча айнек/кварц) субстраты бартитандын адгезия катмарыжанажез өткөргүч катмарколдонуустандарттуу магнетрондук чачыратууTi катмары адгезияны жана процесстин туруктуулугун бир топ жакшыртат, ал эми Cu үстүнкү катмары электрдик интерфейс жана андан кийинки микрофабрикалоо үчүн идеалдуу болгон аз каршылыктуу, бирдей бетти сунуштайт.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Ti/Cu металл менен капталган кремний пластинасы (титан/жез)6

Жалпы маалымат

Изилдөө жана пилоттук масштабдагы колдонмолор үчүн иштелип чыккан бул пластиналар ар кандай өлчөмдө жана каршылык диапазонунда жеткиликтүү, калыңдыгы, субстраттын түрү жана каптоо конфигурациясы үчүн ийкемдүү ыңгайлаштыруу менен.

Негизги өзгөчөлүктөр

Күчтүү адгезия жана ишенимдүүлүкTi байланыш катмары пленканын Si/SiO₂га жабышуусун күчөтөт жана иштетүүнүн бекемдигин жакшыртат
Жогорку өткөрүмдүүлүк бетиCu каптоосу контакттар жана сыноо структуралары үчүн эң сонун электрдик көрсөткүчтөрдү камсыз кылат
Кеңири ыңгайлаштыруу диапазону: пластинанын өлчөмү, каршылыгы, багыты, субстраттын калыңдыгы жана пленканын калыңдыгы суроо-талап боюнча жеткиликтүү
Процесске даяр субстраттар: жалпы лабораториялык жана фабрикалык жумуш агымдары менен шайкеш келет (литография, гальваникалык каптоо, метрология ж.б.)
Материалдык сериялар барTi/Cuдан тышкары, биз Au, Pt, Al, Ni, Ag металл менен капталган пластиналарды да сунуштайбыз

Типтүү түзүлүш жана чөкмө

СтекСубстрат + Ti адгезия катмары + Cu каптоо катмары
Стандарттык процессМагнетрондук чачыратуу
Кошумча процесстерТермикалык буулануу / Гальваникалык каптоо (коюураак Cu талаптары үчүн)

Кварц айнегинин механикалык касиеттери

Буюм	Параметрлер
Вафли өлчөмү	2", 4", 6", 8"; 10×10 мм; жекече кесүү өлчөмдөрү
Өткөргүчтүк түрү	P-типтеги / N-типтеги / Ички жогорку каршылык (Un)
Багыттоо	<100>, <111> ж.б.
Каршылык	<0,0015 Ω·см; 1–10 Ω·см; >1000–10000 Ω·см
Калыңдыгы (мкм)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; ылайыкташтырылган
Субстрат материалдары	Кремний; кошумча кварц, BF33 айнеги ж.б.
Плёнканын калыңдыгы	10 нм / 50 нм / 100 нм / 150 нм / 300 нм / 500 нм / 1 мкм (ыңгайлаштырылуучу)
Металл пленкасынын варианттары	Ti/Cu; ошондой эле Au, Pt, Al, Ni, Ag бар

Ti/Cu металл менен капталган кремний пластинасы (титан/жез)4

Колдонмолор

Омдук контакт жана өткөргүч субстраттартүзмөктөрдү изилдөө жана иштеп чыгуу жана электрдик сыноо үчүн
Гальваникалык каптоо үчүн үрөн катмарлары(RDL, MEMS структуралары, калың Cu топтолушу)
Соль-гель жана наноматериал өстүрүү субстраттарынано жана жука пленкаларды изилдөө үчүн
Микроскопия жана беттик метрология(SEM/AFM/SPM үлгүсүн даярдоо жана өлчөө)
Биологиялык/химиялык беттермисалы, клетка өстүрүү платформалары, белок/ДНК микрочиптери жана рефлектометриялык субстраттар

Көп берилүүчү суроолор (Ti/Cu металл менен капталган кремний пластиналары)

С1: Эмне үчүн Cu каптамасынын астында Ti катмары колдонулат?
A: Титан катары иштейтадгезия (байланыш) катмары, жездин негизге жабышышын жакшыртуу жана беттин туруктуулугун жогорулатуу, бул иштетүү жана кайра иштетүү учурунда сыйрылып кетүүсүн же бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтууга жардам берет.

С2: Ti/Cu калыңдыгынын типтүү конфигурациясы кандай?
A: Жалпы айкалыштар төмөнкүлөрдү камтыйтTi: ондогон нм (мисалы, 10–50 нм)жанаCu: 50–300 нмчачыраган пленкалар үчүн. Калыңыраак Cu катмарлары (мкм деңгээли) көбүнчө төмөнкү жол менен жетишилетчачыратылган Cu үрөн катмарына электрокаптоо, сиздин арызыңызга жараша.

С3: Вафлинин эки тарабын тең каптап койсоңуз болобу?
Ж: Ооба.Бир тараптуу же эки тараптуу каптоосуроо-талап боюнча жеткиликтүү. Заказ бергенде талабыңызды көрсөтүңүз.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.