4H/6H-P 6 дюймдук SiC пластинкасы Zero MPD даражасы Өндүрүш даражасы Dummy Grade

Кыска сүрөттөмө:

4H/6H-P тибиндеги 6 дюймдук SiC пластинкасы – бул электрондук шаймандарды өндүрүүдө колдонулган жарым өткөргүч материал, анын эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү, бузулуу чыңалуусу жана жогорку температурага жана коррозияга туруктуулугу менен белгилүү. Өндүрүштүк класс жана Zero MPD (микро түтүк кемтиги) классы анын жогорку өндүрүмдүүлүктөгү электр электроникасындагы ишенимдүүлүгүн жана туруктуулугун камсыздайт. Өндүрүштүк класстагы пластиналар сапатты катуу көзөмөлдөө менен масштабдуу түзүлүштөрдү өндүрүү үчүн колдонулат, ал эми жасалма класстагы пластиналар негизинен процессти оңдоо жана жабдууларды сыноо үчүн колдонулат. SiCтин көрүнүктүү касиеттери аны жогорку температурадагы, жогорку чыңалуудагы жана жогорку жыштыктагы электрондук шаймандарда, мисалы, кубаттуулук жана RF түзмөктөрүндө кеңири колдонууга мүмкүндүк берет.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

4H/6H-P түрү SiC Композиттик субстраттары Жалпы параметр таблицасы

6 дюйм диаметри кремний карбиди (SiC) субстрат Спецификация

Баа			Нөл MPD өндүрүшүБаа (З Баа)	Стандарттык өндүрүшБаа (П Баа)	Dummy класс (D Баа)
Диаметри			145,5 мм~150,0 мм
Калыңдыгы			350 μm ± 25 μm
Wafer Orientation			-Offогу: 2,0°-4,0° тарап [1120] ± 0,5° 4H/6H-P үчүн, Ок боюнча:〈111〉± 0,5° 3C-N
Микропродукттун тыгыздыгы			0 см-2
Каршылык	p-түрү 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-тип 3C-N		≤0,8 мΩꞏсм		≤1 м Ωꞏсм
Негизги жалпак багыт		4H/6H-P	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Негизги жалпак узундук			32,5 мм ± 2,0 мм
Экинчилик жалпак узундук			18,0 мм ± 2,0 мм
Экинчилик Flat Orientation			Кремний бети жогору: 90° CW. Prime flat тартып ± 5,0°
Edge Exclusion			3 мм		6 мм
LTV/TTV/Жаа /Warp			≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм		≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Кедерлик			Поляк Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0,2 нм		Ra≤0,5 нм
Жогорку интенсивдүүлүктөгү жарыктын жээгиндеги жаракалар			Жок		Топтолгон узундук ≤ 10 мм, жалгыз узундук≤2 мм
Жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык менен Hex плиталары			Кумулятивдүү аянты ≤0,05%		Кумулятивдүү аянты ≤0,1%
Жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык менен политиптик аймактар			Жок		Кумулятивдүү аянты≤3%
Visual Carbon Inclusions			Кумулятивдүү аянты ≤0,05%		Кумулятивдик аянт ≤3%
Кремний бети жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык менен чийилген			Жок		Кумулятивдүү узундук≤1×вафли диаметри
Edge чиптери жогорку интенсивдүү жарык			Эч кимиси ≥0,2 мм туурасы жана тереңдигине жол берилбейт		5 уруксат, ар бири ≤1 мм
Кремний бетинин жогорку интенсивдүүлүк менен булгануусу			Жок
Таңгактоо			Көп вафли кассетасы же жалгыз вафли контейнери

Эскертүүлөр:

※ Мүчүлүштүктөрдүн чектөөлөрү пластинка бетинин четине кирбейт. # Чийик Si бет о текшерилиши керек

4H/6H-P тибиндеги 6 дюймдук SiC пластинкасы Zero MPD классы жана өндүрүштүк же жасалма класс өнүккөн электрондук тиркемелерде кеңири колдонулат. Анын эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү, бузулуу чыңалуусу жана катаал чөйрөгө туруктуулугу аны жогорку вольттогу өчүргүчтөр жана инверторлор сыяктуу электр энергиясы үчүн идеалдуу кылат. Zero MPD классы жогорку ишенимдүүлүктөгү түзүлүштөр үчүн өтө маанилүү болгон минималдуу кемчиликтерди камсыз кылат. Өндүрүштүк класстагы пластиналар кубаттуулук түзүлүштөрүн жана RF тиркемелерин масштабдуу өндүрүүдө колдонулат, мында аткаруу жана тактык абдан маанилүү. Ал эми жасалма класстагы пластиналар процессти калибрлөө, жабдууларды сыноо жана прототиптөө үчүн колдонулат, бул жарым өткөргүч өндүрүш чөйрөлөрүндө ырааттуу сапатты көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берет.

N-түрү SiC курама субстраттардын артыкчылыктары кирет

Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк: 4H/6H-P SiC пластинкасы жылуулукту эффективдүү таратып, аны жогорку температурадагы жана жогорку кубаттуулуктагы электрондук колдонмолорго ылайыктуу кылат.
Жогорку бузулуу чыңалуу: Анын жогорку чыңалууларды үзгүлтүксүз башкаруу жөндөмү аны электр электроникасына жана жогорку вольттогу коммутация колдонмолоруна идеалдуу кылат.
Нөл MPD (Микро түтүк кемтиги) классы: Кемчиликтин минималдуу тыгыздыгы талап кылынган электрондук шаймандар үчүн маанилүү болгон жогорку ишенимдүүлүктү жана аткарууну камсыз кылат.
Массалык өндүрүш үчүн өндүрүштүк класс: Катуу сапат стандарттары менен жогорку натыйжалуу жарым өткөргүч приборлорду масштабдуу өндүрүү үчүн ылайыктуу.
Сыноо жана калибрлөө үчүн жасалма баа: Процессти оптималдаштырууну, жабдууларды сыноону жана прототиптештирүү процессин жогорку баадагы өндүрүш классындагы пластиналарды колдонбостон иштетет.

Жалпысынан алганда, 4H/6H-P 6 дюймдук SiC пластинкалары Zero MPD классы, өндүрүштүк классы жана муляж класстары жогорку натыйжалуу электрондук түзүлүштөрдү өнүктүрүү үчүн олуттуу артыкчылыктарды сунуштайт. Бул пластиналар жогорку температурада иштөөнү, жогорку кубаттуулуктун тыгыздыгын жана кубаттуулукту эффективдүү өзгөртүүнү талап кылган колдонмолордо өзгөчө пайдалуу. Zero MPD классы аппараттын ишенимдүү жана туруктуу иштеши үчүн минималдуу кемчиликтерди камсыз кылат, ал эми өндүрүштүк класстагы пластиналар сапатты катуу көзөмөлдөө менен масштабдуу өндүрүштү колдойт. Жалпак класстагы пластиналар процессти оптималдаштыруу жана жабдууларды калибрлөө үчүн үнөмдүү чечимди камсыздайт, бул аларды жарым өткөргүчтөрдү жогорку тактыкта жасоо үчүн зарыл кылат.