P-типтеги SiC пластинасы 4H/6H-P 3C-N 6 дюймдук калыңдыгы 350 мкм, баштапкы жалпак багыты менен
Техникалык мүнөздөмөсү 4H/6H-P түрү SiC курама субстраттары Жалпы параметрлер таблицасы
6 дюймдук диаметрдеги кремний карбиди (SiC) субстраты Техникалык мүнөздөмө
| Баалоо | Нөлдүк MPD өндүрүшүДәреже (Z) (Баа) | Стандарттык өндүрүшБаа (P) (Баа) | Макет даражасы (D (Баа) | ||
| Диаметри | 145,5 мм ~ 150,0 мм | ||||
| Калыңдыгы | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Вафли багыты | -Offогу: 4H/6H-P үчүн [1120] багытында 2.0°-4.0° ± 0.5°, Огу боюнча: 3C-N үчүн 111〉± 0.5° | ||||
| Микротүтүктүн тыгыздыгы | 0 см-2 | ||||
| Каршылык | p-типтеги 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏсм | ≤0.3 Ωꞏсм | ||
| n-типтеги 3C-N | ≤0.8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
| Негизги тегиздик багыты | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Негизги жалпак узундук | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Экинчилик жалпак узундук | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Экинчилик тегиздик багыты | Кремний бети өйдө каратылат: Prime flat дан ± 5.0° 90° CW. | ||||
| Четтен чыгаруу | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Bow /Warp | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Кескиндик | Полякча Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0.2 нм | Ra≤0.5 нм | ||||
| Жогорку интенсивдүү жарыктын кесепетинен четтериндеги жаракалар | Эч бири | Жалпы узундук ≤ 10 мм, бир узундук ≤ 2 мм | |||
| Жогорку интенсивдүү жарык менен алты бурчтуу плиталар | Жалпы аянт ≤0,05% | Жалпы аянты ≤0.1% | |||
| Жогорку интенсивдүү жарык менен политиптүү аймактар | Эч бири | Жалпы аянты ≤3% | |||
| Визуалдык көмүртек кошулмалары | Жалпы аянт ≤0,05% | Жалпы аянты ≤3% | |||
| Жогорку интенсивдүү жарык менен кремний бетиндеги чийиктердин пайда болушу | Эч бири | Топтолгон узундук ≤1 × пластинанын диаметри | |||
| Жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык менен жээк чиптери | Туурасы жана тереңдиги ≥0,2 мм болушуна жол берилбейт | 5ке уруксат берилген, ар бири ≤1 мм | |||
| Кремнийдин бетинин жогорку интенсивдүүлүк менен булганышы | Эч бири | ||||
| Таңгактоо | Көп вафлилүү кассета же бир вафлилүү контейнер | ||||
Эскертүүлөр:
※ Кемчиликтердин чектөөлөрү пластинанын бүт бетине, четтерин четтетүү аймагынан тышкары, тиешелүү. # Чийиктерди Si бетинде текшерүү керек
6 дюймдук өлчөмү жана 350 мкм калыңдыгы менен P-типтеги SiC пластинасы, 4H/6H-P 3C-N, жогорку өндүрүмдүү электр электроникасын өнөр жайлык өндүрүүдө чечүүчү ролду ойнойт. Анын эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана жогорку бузулуу чыңалуусунун болушу аны электр унаалары, электр тармактары жана кайра жаралуучу энергия системалары сыяктуу жогорку температуралуу чөйрөлөрдө колдонулган кубат өчүргүчтөрү, диоддор жана транзисторлор сыяктуу компоненттерди өндүрүү үчүн идеалдуу кылат. Пластинанын катаал шарттарда натыйжалуу иштөө жөндөмү жогорку кубаттуулук тыгыздыгын жана энергиянын үнөмдүүлүгүн талап кылган өнөр жай колдонмолорунда ишенимдүү иштөөнү камсыз кылат. Мындан тышкары, анын негизги жалпак багыты түзмөктөрдү жасоо учурунда так тегиздөөгө жардам берет, өндүрүштүн натыйжалуулугун жана продукциянын ырааттуулугун жогорулатат.
N-типтеги SiC композиттик субстраттарынын артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт
- Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгүP-типтеги SiC пластиналары жылуулукту натыйжалуу таркатат, бул аларды жогорку температурада колдонуу үчүн идеалдуу кылат.
- Жогорку бузулуу чыңалуусу: Жогорку чыңалууга туруштук бере алат, электр электроникасында жана жогорку чыңалуудагы түзмөктөрдө ишенимдүүлүктү камсыз кылат.
- Катаал чөйрөлөргө туруктуулук: Жогорку температура жана коррозиялык чөйрө сыяктуу экстремалдык шарттарда эң сонун бышыктык.
- Натыйжалуу кубаттуулукту конверсиялооP-тибиндеги легирлөө кубаттуулукту натыйжалуу башкарууга мүмкүндүк берет, бул пластинаны энергияны конвертациялоо системаларына ылайыктуу кылат.
- Негизги тегиздик багытыӨндүрүш учурунда так тегиздөөнү камсыздайт, түзмөктүн тактыгын жана ырааттуулугун жогорулатат.
- Жука түзүлүш (350 мкм)Пластинанын оптималдуу калыңдыгы өнүккөн, мейкиндикти чектеген электрондук түзмөктөргө интеграциялоону колдойт.
Жалпысынан алганда, P-типтеги SiC пластинасы, 4H/6H-P 3C-N, аны өнөр жай жана электрондук колдонмолор үчүн абдан ылайыктуу кылган бир катар артыкчылыктарды сунуштайт. Анын жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана бузулуу чыңалуусунун жогору болушу жогорку температурадагы жана жогорку чыңалуудагы чөйрөлөрдө ишенимдүү иштөөгө мүмкүндүк берет, ал эми катаал шарттарга туруктуулугу бышыктыкты камсыз кылат. P-типтеги кошулма кубаттуулукту натыйжалуу конвертациялоого мүмкүндүк берет, бул аны энергетикалык электроника жана энергетикалык системалар үчүн идеалдуу кылат. Мындан тышкары, пластинанын негизги жалпак багыты өндүрүш процессинде так тегиздөөнү камсыз кылат, бул өндүрүштүн ырааттуулугун жогорулатат. Калыңдыгы 350 мкм болгондуктан, ал өнүккөн, компакттуу түзмөктөргө интеграциялоого абдан ылайыктуу.
Толук диаграмма
