6 дюймдук 150 мм кремний карбиди SiC Wafers 4H-N түрү MOS же SBD өндүрүштүк изилдөө жана жасалма класс үчүн
Колдонмо талаалары
6 дюймдук кремний карбидинин бир кристаллдык субстраты бир нече тармактарда маанилүү ролду ойнойт. Биринчиден, ал жарым өткөргүч өнөр жайында күчтүү транзисторлор, интегралдык микросхемалар жана кубаттуу модулдар сыяктуу жогорку кубаттуулуктагы электрондук түзүлүштөрдү жасоо үчүн кеңири колдонулат. Анын жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана жогорку температурага каршылыгы жылуулуктун жакшыраак таралышын камсыздайт, натыйжада натыйжалуулукту жана ишенимдүүлүктү жогорулатат. Экинчиден, кремний карбид пластиналар жаңы материалдарды жана аппараттарды иштеп чыгуу үчүн изилдөө тармактарында маанилүү болуп саналат. Кошумчалай кетсек, кремний карбид пластинкасы оптоэлектроника чөйрөсүндө, анын ичинде светодиоддорду жана лазердик диоддорду өндүрүүдө кеңири колдонмолорду табат.
Продукт спецификациялары
6 дюймдук кремний карбидинин бир кристаллдык субстратынын диаметри 6 дюймду түзөт (болжол менен 152,4 мм). Бетинин бүдүрлүүлүгү Ra < 0,5 нм, калыңдыгы 600 ± 25 мкм. субстрат кардарлардын талаптарынын негизинде, N-түрү же P-түрү өткөргүчтүк менен өзгөчөлөштүрсө болот. Мындан тышкары, ал басымга жана титирөөгө туруштук бере алган өзгөчө механикалык туруктуулукту көрсөтөт.
Диаметри | 150±2,0мм (6 дюйм) | ||||
Калыңдыгы | 350 μm±25μm | ||||
Багыттоо | Ок боюнча: <0001>±0,5° | Өчүк огу: 4.0° 1120±0.5° чейин | |||
Политип | 4H | ||||
Каршылык (Ω·см) | 4H-N | 0,015~0,028 Ом·см/0,015~0,025 Ом·см | |||
4/6H-SI | >1Э5 | ||||
Негизги жалпак багыт | {10-10}±5,0° | ||||
Негизги жалпак узундугу (мм) | 47,5 мм±2,5 мм | ||||
Edge | Chamfer | ||||
TTV/Жаа /Варп (ум) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM алдыңкы (си-бет) | Поляк Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 нм | |||||
LTV | ≤3μm (10мм*10мм) | ≤5μm (10мм*10мм) | ≤10мкм (10мм*10мм) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Апельсин кабыгы / чуңкурлар / жаракалар / булгануу / тактар / сызыктар | Жок | Жок | Жок | ||
чегинүүлөр | Жок | Жок | Жок |
6 дюймдук кремний карбидинин монокристаллдык субстраты жарым өткөргүч, изилдөө жана оптоэлектроника тармактарында кеңири колдонулган жогорку натыйжалуу материал. Ал мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүктү, механикалык туруктуулукту жана жогорку температурага туруктуулукту сунуштайт, бул жогорку кубаттуулуктагы электрондук шаймандарды жасоого жана жаңы материалды изилдөөгө ылайыктуу. Биз кардарлардын ар кандай суроо-талаптарын канааттандыруу үчүн ар кандай спецификацияларды жана ыңгайлаштыруу жолдорун сунуштайбыз.Кремний карбид пластиналары жөнүндө көбүрөөк маалымат алуу үчүн биз менен байланышыңыз!