FZ CZ Si пластинасы кампада бар 12 дюймдук силикон пластинасы Prime же Test
Вафли кутучасын киргизүү
Жылтыратылган вафлилер
Күзгү бетин алуу үчүн эки тарабы атайын жылмаланган кремний пластиналары. Тазалык жана тегиздик сыяктуу жогорку сапаттары бул пластинанын эң мыкты мүнөздөмөлөрүн аныктайт.
Кошулбаган кремний пластиналары
Алар ошондой эле кремнийдин ички пластиналары катары белгилүү. Бул жарым өткөргүч пластинанын ичинде эч кандай кошулма жок кремнийдин таза кристаллдык формасы болуп саналат, ошондуктан ал идеалдуу жана кемчиликсиз жарым өткөргүч болуп саналат.
Легирленген кремний пластиналары
N-типтеги жана P-типтеги кремний пластиналары легирленген эки түргө бөлүнөт.
N-типтеги легирленген кремний пластиналарынын курамында мышьяк же фосфор бар. Ал өнүккөн CMOS түзүлүштөрүн өндүрүүдө кеңири колдонулат.
Бор кошулган P-типтеги кремний пластиналары. Көбүнчө ал басылган схемаларды же фотолитографияны жасоодо колдонулат.
Эпитаксиалдык пластиналар
Эпитаксиалдык пластиналар – бул беттин бүтүндүгүн алуу үчүн колдонулган кадимки пластиналар. Эпитаксиалдык пластиналар калың жана жука пластиналар түрүндө болот.
Көп катмарлуу эпитаксиалдык пластиналар жана калың эпитаксиалдык пластиналар ошондой эле түзмөктөрдүн энергия керектөөсүн жана кубаттуулугун көзөмөлдөөнү жөнгө салуу үчүн колдонулат.
Жука эпитаксиалдык пластиналар көбүнчө жогорку сапаттагы MOS аспаптарында колдонулат.
SOI вафлилери
Бул пластиналар бүтүндөй кремний пластинасынан монокристалл кремнийдин майда катмарларын электрдик изоляциялоо үчүн колдонулат. SOI пластиналары көбүнчө кремний фотоникасында жана жогорку өндүрүмдүүлүктөгү RF колдонмолорунда колдонулат. SOI пластиналары ошондой эле микроэлектрондук түзмөктөрдөгү мите түзүлүштөрдүн сыйымдуулугун азайтуу үчүн колдонулат, бул өндүрүмдүүлүктү жакшыртууга жардам берет.
Эмне үчүн пластина жасоо кыйын?
12 дюймдук кремний пластиналарын кесүү өтө кыйын. Кремний катуу болгону менен, ал морт да болот. Кесилген пластинанын четтери сынып калгандыктан, орой жерлер пайда болот. Алмаз дисктер пластинанын четтерин тегиздөө жана ар кандай зыянды кетирүү үчүн колдонулат. Кесилгенден кийин, пластиналар оңой эле сынып калат, анткени алардын эми курч четтери бар. Пластинанын четтери морт, курч четтери жок кылынып, тайгаланып кетүү мүмкүнчүлүгү азайгандай кылып иштелип чыккан. Четтерин калыптандыруу операциясынын натыйжасында пластинанын диаметри туураланат, пластина тегеректелет (кесилгенден кийин, кесилген пластина сүйрү формада болот) жана оюктар же багытталган тегиздиктер жасалат же өлчөмү аныкталат.
Толук диаграмма





