SiO2 жука пленкалуу термикалык кычкыл кремний пластинасы 4 дюйм 6 дюйм 8 дюйм 12 дюйм

Кычкылданган кремний пластиналарын өндүрүүнүн негизги процесси, адатта, төмөнкү кадамдарды камтыйт: монокристаллдык кремнийди өстүрүү, пластиналарга кесүү, жылтыратуу, тазалоо жана кычкылдандыруу.

Монокристаллдык кремнийди өстүрүү: Биринчиден, монокристаллдык кремний жогорку температурада Чохральский ыкмасы же Флоат-зонасы ыкмасы сыяктуу ыкмалар менен өстүрүлөт. Бул ыкма жогорку тазалыкка жана торчо бүтүндүгүнө ээ кремнийдин монокристаллдарын даярдоого мүмкүндүк берет.

Кесүү: Өстүрүлгөн монокристаллдык кремний адатта цилиндр формасында болот жана пластинанын негизи катары колдонуу үчүн жука пластиналарга кесилиши керек. Кесүү, адатта, алмаз кескич менен жасалат.

Жылтыратуу: Кесилген пластинанын бети тегиз эмес болушу мүмкүн жана жылмакай бетти алуу үчүн химиялык-механикалык жылтыратуу талап кылынат.

Тазалоо: Жылтыратылган пластина кирлерди жана чаңды кетирүү үчүн тазаланат.

Кычкылдандыруу: Акырында, кремний пластиналары жогорку температуралуу мешке салынып, кычкылдандыруу процесси жүргүзүлөт, бул кремний диоксидинин коргоочу катмарын пайда кылат, анын электрдик касиеттерин жана механикалык бекемдигин жакшыртуу үчүн, ошондой эле интегралдык микросхемаларда изоляциялык катмар катары кызмат кылат.

Кычкылданган кремний пластиналарынын негизги колдонулушуна интегралдык микросхемаларды өндүрүү, күн батареяларын өндүрүү жана башка электрондук түзүлүштөрдү өндүрүү кирет. Кремний кычкыл пластиналары жарым өткөргүч материалдар тармагында кеңири колдонулат, анткени алардын эң сонун механикалык касиеттери, өлчөмдүү жана химиялык туруктуулугу, жогорку температурада жана жогорку басымда иштөө жөндөмү, ошондой эле жакшы изоляциялык жана оптикалык касиеттери бар.

Анын артыкчылыктарына толук кристаллдык түзүлүш, таза химиялык курамы, так өлчөмдөрү, жакшы механикалык касиеттери ж.б. кирет. Бул өзгөчөлүктөр кремний кычкылынан жасалган пластиналарды жогорку өндүрүмдүүлүктөгү интегралдык микросхемаларды жана башка микроэлектрондук түзүлүштөрдү өндүрүү үчүн өзгөчө ылайыктуу кылат.