сапфир SiC Si үчүн Ion Beam жылтыратуучу машина

Кыска сүрөттөмө:

Ион нурун фигурациялоо жана жылтыратуучу машина принцибине негизделгенион чачыратуу. Жогорку вакуумдук камеранын ичинде ион булагы плазманы жаратат, ал жогорку энергиялуу ион нуруна айланат. Бул нур оптикалык компоненттин бетин бомбалап, атомдук масштабдагы материалды алып салып, беттин өтө так оңдоосуна жана жасалгасына жетишет.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Ion Beam жылмалоочу машинанын продуктусу

Ион нурун фигуралоочу жана жылмалоочу машина ион чачуу принцибине негизделген. Жогорку вакуумдук камеранын ичинде ион булагы плазманы жаратат, ал жогорку энергиялуу ион нуруна айланат. Бул нур оптикалык компоненттин бетин бомбалап, атомдук масштабдагы материалды алып салып, беттин өтө так оңдоосуна жана жасалгасына жетишет.

Контактсыз процесс катары ион нурун жылтыратуу механикалык стрессти жок кылат жана жер астындагы зыянды болтурбайт, бул астрономияда, аэрокосмосто, жарым өткөргүчтөрдө жана алдыңкы изилдөө колдонмолорунда колдонулган жогорку тактыктагы оптикаларды өндүрүү үчүн идеалдуу кылат.

Ион нурунун жылмалоочу машинасынын иштөө принциби

Иондун жаралышы
Инерттүү газ (мисалы, аргон) вакуумдук камерага киргизилет жана плазманы пайда кылуу үчүн электрдик разряд аркылуу иондошот.

Ылдамдатуу & Нур түзүү
Иондор бир нече жүз же миң электрон вольтко (эВ) чейин ылдамдатылган жана туруктуу, фокусталган нур такка айланат.

Материалды алып салуу
Ион нуру химиялык реакцияларды баштабастан атомдорду бетинен физикалык түрдө чачыратат.

Каталарды аныктоо жана жолду пландаштыруу
Беттик фигуранын четтөөлөрү интерферометрия менен өлчөнөт. Жоюу функциялары жашоо убакыттарын аныктоо жана оптималдаштырылган курал жолдорун түзүү үчүн колдонулат.

Жабык циклди оңдоо
Кайра иштетүү жана өлчөө циклдери RMS/PV тактык максаттарына жеткенге чейин уланат.

Ион нурунун жылмалоочу машинасынын негизги өзгөчөлүктөрү

Универсалдуу беттик шайкештик– Жалпак, сфералык, асфералык жана эркин формадагы беттерди иштетет

Ультра туруктуу алып салуу ылдамдыгы– Суб-нанометр фигурасын оңдоону иштетет

Зыянсыз иштетүү– Жер астындагы кемчиликтер жана структуралык өзгөрүүлөр жок

Туруктуу аткаруу– Катуулугу ар кандай материалдарда бирдей жакшы иштейт

Төмөн/Орто жыштыкты оңдоо– Орто/жогорку жыштыктагы артефакттарды жаратпастан каталарды жок кылат

Төмөн тейлөө талабы– Минималдуу токтоп калуу менен узак үзгүлтүксүз иштөө

Ион нурун жылтыратуучу машинанын негизги техникалык мүнөздөмөлөрү

пункт	Спецификация
Кайра иштетүү ыкмасы	Жогорку вакуумдуу чөйрөдө ион чачыратуу
Иштетүү түрү	Байланышсыз беттик фигуралар жана жылмалоо
Max Workpiece өлчөмү	Φ4000 мм
Motion Axes	3-ок / 5-ок
Жоюу туруктуулугу	≥95%
Беттик тактык	PV < 10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (типтик RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Жыштыктарды оңдоо мүмкүнчүлүгү	Орто/жогорку жыштык каталарын киргизбестен төмөнкү-орто жыштыктагы каталарды жок кылат
Үзгүлтүксүз операция	3-5 жума вакуумдук тейлөөсүз
Техникалык тейлөө наркы	Төмөн

Ion Beam жылмалоочу машинанын иштетүү мүмкүнчүлүктөрү

Колдоого алынган беттин түрлөрү

Жөнөкөй: жалпак, сфералык, призма

Татаал: симметриялуу/ассиметриялык асфера, огунан тышкары асфера, цилиндрдик

Атайын: Ультра жука оптика, лампа оптика, жарым шар оптика, конформдык оптика, фазалык плиталар, эркин формадагы беттер

Колдоого алынган материалдар

Оптикалык айнек: кварц, микрокристалл, K9 ж.б.

Инфракызыл материалдар: кремний, германий, ж.

Металлдар: алюминий, дат баспас болоттон жасалган, титан эритмеси, ж.б.

Кристаллдар: YAG, бир-кристалл кремний карбиди, ж.б.

Катуу / морт материалдар: кремний карбиди ж.б.

Беттин сапаты / тактык

PV < 10 нм

RMS ≤ 0,5 нм

Ион нуру менен жылмалоочу машинаны иштетүү мисалдары

1-жагдай – Стандарттык жалпак күзгү

Даярдоо бөлүгү: D630 мм кварц жалпак

Натыйжа: PV 46,4 нм; RMS 4,63 нм

2-жагдай – рентген нурларын чагылдыруучу күзгү

Workpiece: 150 × 30 мм кремний жалпак

Натыйжа: PV 8,3 нм; RMS 0,379 нм; Эңкейиш 0,13 мкрад

3-жагдай – Октон тышкары күзгү

Workpiece: D326 мм сырткы огу жерге күзгү

Натыйжа: PV 35,9 нм; RMS 3,9 нм

Кварц көз айнеги боюнча көп берилүүчү суроолор

FAQ - Ion Beam жылтыратуучу машина

Q1: ион нуру жылтыратуу деген эмне?
A1:Иондук нур менен жылтыратуу - бул материалдын бетинен материалды алып салуу үчүн иондордун фокусталган нурун (мисалы, аргон иондору) колдонгон контактсыз процесс. Иондор тездетип, бетке карай багытталып, атомдук деңгээлдеги материалды алып салышат, натыйжада ультра жылмакай аяктайт. Бул процесс механикалык стрессти жана жер астындагы зыянды жок кылып, аны так оптикалык компоненттер үчүн идеалдуу кылат.

Q2: Ion Beam жылтыратуу машинасы кандай беттердин түрлөрүн иштете алат?
A2:TheИон нурун жылтыратуучу машинасыяктуу жөнөкөй оптикалык компоненттерди камтыган ар кандай беттерди иштете алатжалпактар, шарлар жана призмалар, ошондой эле татаал геометриялар сыяктууасфералар, огунан тышкары асфералар, жанаэркин формадагы беттер. Бул өзгөчө оптикалык айнек, инфракызыл оптика, металлдар жана катуу / морт материалдар сыяктуу материалдарда эффективдүү.

Q3: Ion Beam жылтыратуучу машина кандай материалдар менен иштей алат?
A3:TheИон нурун жылтыратуучу машинаматериалдардын кеңири спектрин жылтыра алат, анын ичинде:

Оптикалык айнек: Кварц, микрокристалл, K9 ж.б.
Инфракызыл материалдар: кремний, германий, ж.б.
Металлдар: Алюминий, дат баспас болоттон жасалган, титан эритмеси, ж.б.
Кристалл материалдар: YAG, бир-кристалл кремний карбиди, ж.б.
Башка катуу / морт материалдар: кремний карбиди, ж.б.

Биз жөнүндө

XKH жогорку технологиялык иштеп чыгуу, өндүрүү жана атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарды сатуу боюнча адистешкен. Биздин өнүмдөр оптикалык электроника, керектөөчү электроника жана аскердик кызмат кылат. Биз Sapphire оптикалык компоненттерин, уюлдук телефон линзаларынын капкагын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz жана жарым өткөргүч кристалл пластинкаларын сунуштайбыз. квалификациялуу экспертиза жана заманбап жабдуулар менен, биз алдынкы оптоэлектрондук материалдарды жогорку технологиялык ишкана болууну максат кылып, стандарттуу эмес продуктуларды кайра иштетүү боюнча мыкты.