Сапфир SiC Si үчүн иондук нурларды жылтыратуу машинасы

Сапфир SiC Si үчүн иондук нурларды жылтыраткыч машинасы. Сунушталган сүрөт

Кыскача сүрөттөмө:

Иондук нурларды фигуралоо жана жылтыратуу машинасы иондук чачыратуу принцибине негизделген. Жогорку вакуумдук камеранын ичинде ион булагы плазманы пайда кылат, ал жогорку энергиялуу иондук нурга айлантат. Бул нур оптикалык компоненттин бетин бомбалап, өтө так бетти оңдоого жана бүтүрүүгө жетишүү үчүн атомдук масштабдагы материалды алып салат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

Иондук нурларды жылтыратуу машинасынын продукциясына сереп

Контактсыз процесс катары, иондук нурларды жылтыратуу механикалык чыңалууну жок кылат жана жер астындагы зыяндын алдын алат, бул аны астрономияда, аэрокосмостук, жарым өткөргүчтөрдө жана алдыңкы изилдөө колдонмолорунда колдонулган жогорку тактыктагы оптиканы өндүрүү үчүн идеалдуу кылат.

Иондук нурларды жылтыратуу машинасынын иштөө принциби

Иондордун пайда болушу
Инерттик газ (мисалы, аргон) вакуум камерасына киргизилет жана плазманы пайда кылуу үчүн электрдик разряд аркылуу иондоштурулат.

Ылдамдануу жана нурдун пайда болушу
Иондор бир нече жүз же миңдеген электронвольтко (эВ) чейин ылдамдатылат жана туруктуу, фокусталган нур тактарына айланат.

Материалды алып салуу
Иондук нур химиялык реакцияларды баштабастан, атомдорду бетинен физикалык түрдө чачыратат.

Каталарды аныктоо жана жолду пландаштыруу
Беттик фигуранын четтөөлөрү интерферометрия менен өлчөнөт. Алып салуу функциялары күтүү убактысын аныктоо жана оптималдаштырылган курал жолдорун түзүү үчүн колдонулат.

Жабык циклдик түзөтүү
Иштетүүнүн жана өлчөөнүн кайталануучу циклдери RMS/PV тактык максаттарына жеткенге чейин уланат.

Иондук нурларды жылтыратуу машинасынын негизги өзгөчөлүктөрү

Универсалдуу беттик шайкештик– Жалпак, тоголок, сфералык жана эркин формадагы беттерди иштетет

Өтө туруктуу алып салуу ылдамдыгы– Нанометрден төмөн көрсөткүчтөрдү оңдоого мүмкүндүк берет

Зыянсыз иштетүү– Жер астындагы кемчиликтер же структуралык өзгөрүүлөр жок

Ырааттуу аткаруу– Ар кандай катуулуктагы материалдарда бирдей жакшы иштейт

Төмөнкү/Орточо жыштыктагы түзөтүү– Орто/жогорку жыштыктагы артефакттарды жаратпастан каталарды жок кылат

Техникалык тейлөөнүн төмөн талаптары– Узак мөөнөттүү үзгүлтүксүз иштөө жана минималдуу токтоп калуу убактысы

Иондук нурлуу жылтыраткыч машинанын негизги техникалык мүнөздөмөлөрү

Буюм	Техникалык мүнөздөмө
Иштетүү ыкмасы	Жогорку вакуумдук чөйрөдө иондук чачыратуу
Иштетүү түрү	Бетти контактсыз формага келтирүү жана жылтыратуу
Макс. Жумушчу бөлүктүн өлчөмү	Φ4000 мм
Кыймыл октору	3-октуу / 5-октуу
Алып салуу туруктуулугу	≥95%
Беттик тактык	PV < 10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (типтүү RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Жыштыкты тууралоо мүмкүнчүлүгү	Орто/жогорку жыштыктагы каталарды киргизбестен, төмөнкү-орто жыштыктагы каталарды жок кылат
Үзгүлтүксүз иштөө	Чаң соргучту тейлөөсүз 3–5 жума
Техникалык тейлөө баасы	Төмөн

Иондук нурларды жылтыратуу машинасынын иштетүү мүмкүнчүлүктөрү

Колдоого алынган беттин түрлөрү

Жөнөкөй: жалпак, тоголок, призма

Татаал: Симметриялуу/асимметриялуу асфера, огунан тышкары асфера, цилиндр формасында

Атайын: Өтө жука оптика, пластина оптикасы, жарым шар сымал оптика, конформдук оптика, фазалык пластиналар, эркин формадагы беттер

Колдоого алынган материалдар

Оптикалык айнек: кварц, микрокристаллдык, K9 ж.б.

Инфракызыл материалдар: кремний, германий ж.б.

Металлдар: алюминий, дат баспас болот, титан эритмеси ж.б.

Кристаллдар: YAG, монокристалл кремний карбиди ж.б.

Катуу/морт материалдар: кремний карбиди ж.б.

Беттин сапаты / тактыгы

PV < 10 нм

RMS ≤ 0,5 нм

Иондук нурларды жылтыратуу машинасын иштетүү боюнча кейс-стадилер

1-учур – Стандарттуу жалпак күзгү

Даярдоочу бөлүк: D630 мм кварц жалпак

Жыйынтык: PV 46,4 нм; RMS 4,63 нм

2-учур – Рентген нурларын чагылдыруучу күзгү

Даярдалган бөлүк: 150 × 30 мм силикон жалпак

Жыйынтык: PV 8.3 нм; RMS 0.379 нм; Жантайыңкылык 0.13 мкрад

3-учур – Огу жок күзгү

Даярдоочу бөлүк: D326 мм огунан тышкары жердеги күзгү

Жыйынтык: PV 35.9 нм; RMS 3.9 нм

Кварц көз айнектери боюнча көп берилүүчү суроолор

Көп берилүүчү суроолор – Иондук нурларды жылтыратуу машинасы

С1: Иондук нурларды жылтыратуу деген эмне?
A1:Иондук нур менен жылтыратуу – бул материалды жумуш бөлүктүн бетинен алып салуу үчүн иондордун фокусталган шооласын (мисалы, аргон иондорун) колдонгон байланышсыз процесс. Иондор ылдамдатылат жана бетке багытталат, бул атомдук деңгээлдеги материалды алып салууну шарттайт, натыйжада өтө жылмакай жасалгалар пайда болот. Бул процесс механикалык чыңалууну жана жер астындагы зыянды жок кылат, бул аны так оптикалык компоненттер үчүн идеалдуу кылат.

С2: Иондук нурлуу жылтыраткыч машина кандай беттерди иштете алат?
A2:TheИондук нурларды жылтыратуу машинасысыяктуу жөнөкөй оптикалык компоненттерди кошо алганда, ар кандай беттерди иштете алатжалпактар, сфералар жана призмалар, ошондой эле татаал геометриялар сыяктууасфералар, огунан тышкары асфералар, жанаэркин формадагы беттерАл, айрыкча, оптикалык айнек, инфракызыл оптика, металлдар жана катуу/морт материалдар сыяктуу материалдарда эффективдүү.

С3: Иондук нурларды жылтыратуу машинасы кандай материалдар менен иштей алат?
A3:TheИондук нурларды жылтыратуу машинасыанын ичинде ар кандай материалдарды жылтырата алат:

Оптикалык айнек: Кварц, микрокристаллдык, K9 ж.б.
Инфракызыл материалдар: Кремний, германий ж.б.
Металлдар: Алюминий, дат баспас болот, титан эритмеси ж.б.
Кристалл материалдарыYAG, монокристаллдык кремний карбиди ж.б.
Башка катуу/морт материалдар: Кремний карбиди ж.б.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.