SiC үрөн каптоо-байланышуу-бышыруу боюнча интеграцияланган чечим

Кыскача сүрөттөмө:

SiC үрөн жабышуусун операторго көз каранды жумуштан кайталануучу, параметрге негизделген процесске айландырыңыз: башкарылуучу жабышчаак катмардын калыңдыгы, аба жаздыкчасын басуу менен борборду тегиздөө, вакуумдук көбүкчөлөрдү тазалоо жана температура/басым менен жөнгө салынуучу көмүртектештирүү. 6/8/12 дюймдук өндүрүш сценарийлери үчүн иштелип чыккан.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз

Өзгөчөлүктөрү

Толук диаграмма

SiC 晶体生长炉 SiC Crystal Growth Furnace SiC Seed Coating–Bonding–Sintering Integrated Solution

SiC 喷胶机 SiC каптоо машинасы SiC үрөн каптоо–байлоо–бышыруу интеграцияланган чечим

Так чачыратуу менен каптоо • Борборду тегиздөө • Вакуумдук көбүкчөлөрдү тазалоо • Көмүртектөө/бышыруу менен консолидациялоо

Продукцияга сереп

Бул эмне

Бул интеграцияланган чечим SiC кристаллдарынын өсүшүнүн жогорку баскычы үчүн иштелип чыккан, мында үрөн/пластина графит кагазына/графит пластинасына (жана ага байланыштуу интерфейстерге) туташтырылат. Ал процесстик циклди төмөнкү аркылуу жабат:

Каптоо (чачыраткыч желим) → Жабыштыруу (тегиздөө + пресстөө + вакуумдук көбүкчөлөрдү тазалоо) → Бышыруу/Көмүртектештирүү (консолидациялоо жана катуулоо)

Желимдин пайда болушун, көбүкчөлөрдү алып салууну жана акыркы консолидацияны бир чынжыр катары көзөмөлдөө менен, чечим ырааттуулукту, өндүрүшкө жарамдуулугун жана масштабдуулугун жакшыртат.

SiC үрөн каптоо-байланышуу-бышыруу боюнча интеграцияланган чечим 1

Конфигурация параметрлери

A. Жарым автоматтык линия
SiC чачыраткыч каптоочу машина → SiC байланыштыруучу машина → SiC бышыруу меши

B. Толугу менен автоматтык линия
Автоматтык чачыратуу жана байлоочу машина → SiC бышыруу меши
Кошумча интеграциялар: роботтоштуруу, калибрлөө/тегиздөө, ID окуу, көбүкчөлөрдү аныктоо

SiC үрөн каптоо-байланышуу-бышыруу боюнча интеграцияланган чечим 2

Негизги артыкчылыктар

• Кайталануучулугун жакшыртуу үчүн жабышчаак катмардын калыңдыгы жана каптоосу көзөмөлдөнөт
• Байланышты жана басымды ырааттуу бөлүштүрүү үчүн борборду тегиздөө жана коопсуздук жаздыкчасын басуу
• Желим катмардын ичиндеги көбүкчөлөрдү/боштуктарды азайтуу үчүн чаң соргуч менен көбүкчөлөрдү тазалоо
• Акыркы байланышты турукташтыруу үчүн жөнгө салынуучу температура/басым көмүртектештирүү консолидациясы
• Туруктуу цикл убактысын, көзөмөлдөөнү жана сапатты көзөмөлдөөнү автоматташтыруу мүмкүнчүлүктөрү

Принцип

Эмне үчүн салттуу ыкмалар кыйынчылык жаратат
Үрөн байланышынын иштеши, адатта, үч байланышкан өзгөрмө менен чектелет:

Желим катмарынын консистенциясы (калыңдыгы жана бирдейлиги)
Көбүкчө/боштукту башкаруу (жабышчаак катмарда аба кармалып калат)
Катуудан/көмүртектештирүүдөн кийинки байланыштан кийинки туруктуулук

Кол менен каптоо көбүнчө калыңдыктын туруксуздугуна, көбүкчөлөрдү тазалоодо кыйынчылыктарга, ички боштуктардын пайда болуу коркунучунун жогорулашына, графит беттеринин чийилишине жана массалык өндүрүш үчүн масштабдоонун начарлашына алып келет.

Спиннингдик каптоо желимдин агымынын жүрүм-турумунан, беттик тартылуудан жана борбордон тепкич күчүнөн улам туруксуз калыңдыкты пайда кылышы мүмкүн. Ошондой эле, ал капталдан булганууга жана графит кагазында/пластиналарында фиксациялоо чектөөлөрүнө дуушар болушу мүмкүн жана катуу курамы бар желимдердин бирдей капталышы кыйынга турушу мүмкүн.

SiC үрөн каптоо-байланышуу-бышыруу боюнча интеграцияланган чечим 3

Интегралдык ыкма кандайча иштейт

Каптоо: Чачыратма каптоо максаттуу беттерде (үрөн/пластина, графит кагаз/пластинка) жабышчаак катмардын калыңдыгын жана каптоосун көзөмөлдөөгө оңой болгон жабышчаак катмарды түзөт.

Жабыштыруу: Борборду тегиздөө + аба жаздыкчасын басуу туруктуу байланышты колдойт; вакуумдук көбүкчөлөрдү тазалоо жабышчаак катмардагы кармалып калган абаны, көбүкчөлөрдү жана боштуктарды азайтат.

Бышыруу/Көмүртектештирүү: Жөнгө салынуучу температура жана басым менен жогорку температурада консолидациялоо акыркы байланыш интерфейсин турукташтырып, көбүксүз жана бирдей пресстөө натыйжаларына жетүүгө мүмкүндүк берет.

Шилтеме аткаруу жөнүндө билдирүү
Көмүртектештирүү байланышынын кирешелүүлүгү 90%+ жетиши мүмкүн (процесстин шилтемеси). Байланыштын типтүү кирешелүүлүгүнө шилтемелер "Классикалык учурлар" бөлүмүндө келтирилген.

Процесс

A. Жарым автоматтык жумуш агымы

1-кадам — Чачыратма менен каптоо (каптоо)
Туруктуу калыңдыкка жана бирдей жабууга жетүү үчүн, максаттуу беттерге чачыраткыч каптоо аркылуу желимди сүйкөңүз.

2-кадам — Тегиздөө жана байлоо (Байлоо)
Борборду тегиздөөнү аткарыңыз, аба жаздыкчасын басыңыз жана жабышчаак катмарда калган абаны чыгаруу үчүн вакуумдук тазалоону колдонуңуз.

3-кадам — Көмүртектештирүүнү консолидациялоо (бөлүштүрүү/көмүртектештирүү)
Байланышкан тетиктерди бышыруу мешине которуп, акыркы байланышты турукташтыруу үчүн жөнгө салынуучу температура жана басым менен жогорку температурадагы көмүрлөштүрүү консолидациясын жүргүзүңүз.

B. Толугу менен автоматтык жумуш агымы

Автоматтык чачыраткыч менен каптоо жана байланыштыруучу машина каптоо жана байланыштыруу аракеттерин бириктирет жана роботтоштурулган иштетүүнү жана калибрлөөнү камтышы мүмкүн. Онлайн режиминдеги варианттарга ID окуу жана көзөмөлдөө жана сапатты көзөмөлдөө үчүн көбүкчөлөрдү аныктоо кириши мүмкүн. Андан кийин тетиктер көмүртектештирүү үчүн бышыруу мешине жөнөтүлөт.

Процесс маршрутунун ийкемдүүлүгү
Интерфейс материалдарына жана артыкчылыктуу практикага жараша, система бир эле максатты сактоо менен ар кандай каптоо ырааттуулугун жана бир тараптуу же эки тараптуу чачуу жолдорун колдой алат: туруктуу жабышчаак катмар → натыйжалуу көбүкчөлөрдү кетирүү → бирдей бекемдөө.

SiC үрөн каптоо-байланышуу-бышыруу боюнча интеграцияланган чечим 4

Колдонмолор

Негизги колдонмо
SiC кристаллынын жогору жактан өсүшү, үрөндөрдү байланыштыруу: үрөндөрдү/пластиналарды графит кагазына/графит пластинасына жана ага байланыштуу интерфейстерге байланыштыруу, андан кийин көмүрлөштүрүү консолидациясы.

Өлчөм сценарийлери
Конфигурацияны тандоо жана текшерилген процессти багыттоо аркылуу 6/8/12 дюймдук байланыш тиркемелерин колдойт.

Типтүү шайкештик көрсөткүчтөрү
• Кол менен каптоо калыңдыктын өзгөрүшүнө, көбүкчөлөрдүн/боштуктардын пайда болушуна, чийиктердин пайда болушуна жана туруктуу эмес түшүмдүүлүккө алып келет
• Графит кагазында/пластиналарында айлануучу каптаманын калыңдыгы туруксуз же кыйын; капталдан булгануу/арматуралоодо чектөөлөр бар
• Сизге кайталануусу күчөтүлгөн жана операторго көз карандылыгы төмөн масштабдуу өндүрүш керек
• Сизге автоматташтыруу, көзөмөлдөө жана онлайн QC параметрлери (ID + көбүкчөлөрдү аныктоо) керек

Классикалык учурлар (типтүү натыйжалар)

Эскертүү: Төмөндө типтүү шилтеме маалыматтары / процесстин шилтемелери келтирилген. Чыныгы көрсөткүчтөр желим системасына, кирген материалдын шарттарына, текшерилген процесс терезесине жана текшерүү стандарттарына жараша болот.

1-учур — 6/8 дюймдук үрөндөрдү байлоо (өткөрүү жөндөмдүүлүгү жана түшүмдүүлүк жөнүндө маалымат)
Графит пластинасы жок: күнүнө 6 даана/бирдик
Графит пластинасы менен: 2,5 даана/бирдик/күнүнө
Байланыштын кирешелүүлүгү: ≥95%

2-учур — 12 дюймдук үрөндөрдү байлоо (өткөрүү жөндөмдүүлүгү жана түшүмдүүлүк боюнча шилтеме)
Графит пластинасы жок: күнүнө 5 даана/бирдик
Графит пластинасы менен: 2 даана/бирдик/күнүнө
Байланыштын кирешелүүлүгү: ≥95%

3-учур — Көмүртектештирүүнүн консолидациясынын түшүмдүүлүгү жөнүндө маалымдама
Көмүртектештирүү байланышынын түшүмдүүлүгү: 90%+ (процесстин шилтемеси)
Максаттуу натыйжа: көбүксүз жана бирдей басуу натыйжалары (валидация жана текшерүү критерийлерине жараша)

SiC үрөн каптоо-байланышуу-бышыруу боюнча интеграцияланган чечим 5

Көп берилүүчү суроолор

С1: Бул чечимдин негизги көйгөйү эмнеде?
A: Ал желимдин калыңдыгын/каптоосун көзөмөлдөө, көбүкчөлөрдү тазалоо жана байланыштан кийинки консолидациялоо аркылуу үрөндөрдүн байланышын турукташтырат - бул көндүмгө көз каранды кадамды кайталануучу өндүрүш процессине айландырат.

С2: Эмне үчүн кол менен каптоо көп учурда көбүкчөлөрдүн/боштуктардын пайда болушуна алып келет?
A: Кол менен жасалган ыкмалар калыңдыкты бир калыпта сактоодо кыйынчылыктарды жаратат, бул көбүкчөлөрдү тазалоону кыйындатат жана абанын тыгылып калуу коркунучун жогорулатат. Алар ошондой эле графит беттерин тырмап алышы мүмкүн жана көлөм боюнча стандартташтыруу кыйын.

С3: Эмне үчүн бул колдонуу үчүн айлануучу каптоо туруксуз болушу мүмкүн?
A: Калыңдыгы желимдин агымынын жүрүм-турумуна, беттик тартылууга жана борбордон тепкич күчүнө сезгич. Графит кагазынын/пластинанын каптамасы арматура жана капталдын булгануу коркунучу менен чектелиши мүмкүн, ал эми катуу курамы бар желимдерди бирдей ийрүү кыйын болушу мүмкүн.

Биз жөнүндө

XKH атайын оптикалык айнек жана жаңы кристалл материалдарын жогорку технологиялуу иштеп чыгуу, өндүрүү жана сатуу боюнча адистешкен. Биздин продукциялар оптикалык электроникага, керектөөчү электроникага жана аскердик тармактарга кызмат кылат. Биз сапфир оптикалык компоненттерин, уюлдук телефондордун линзаларынын капкактарын, керамиканы, LT, кремний карбидин SIC, кварц жана жарым өткөргүч кристалл пластиналарын сунуштайбыз. Квалификациялуу тажрыйба жана заманбап жабдуулар менен биз стандарттуу эмес продукцияны иштетүүдө мыкты ийгиликтерге жетишип, алдыңкы оптоэлектрондук материалдарды иштеп чыгуучу жогорку технологиялуу ишкана болууга умтулабыз.