SiC субстрат 3 дюйм 350um калыңдыгы HPSI түрү Prime Grade Dummy классы
Properties
Параметр | Өндүрүш даражасы | Изилдөө даражасы | Dummy класс | бирдиги |
Баа | Өндүрүш даражасы | Изилдөө даражасы | Dummy класс | |
Диаметри | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Калыңдыгы | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | мкм |
Wafer Orientation | Ок боюнча: <0001> ± 0,5° | Ок боюнча: <0001> ± 2,0° | Ок боюнча: <0001> ± 2,0° | даража |
Микропродукттун тыгыздыгы (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | см−2^-2−2 |
Электрдик каршылык | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·см |
Dopant | Кошумча | Кошумча | Кошумча | |
Негизги жалпак багыт | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | даража |
Негизги жалпак узундук | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Экинчилик жалпак узундук | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Экинчилик Flat Orientation | Негизги батирден 90° CW ± 5,0° | Негизги батирден 90° CW ± 5,0° | Негизги батирден 90° CW ± 5,0° | даража |
Edge Exclusion | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Жаа/Warp | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | мкм |
Беттик тегиздик | Si-бети: CMP, C-бети: жылтыратылган | Si-бети: CMP, C-бети: жылтыратылган | Si-бети: CMP, C-бети: жылтыратылган | |
Жаракалар (жогорку интенсивдүү жарык) | Жок | Жок | Жок | |
Hex плиталары (жогорку интенсивдүүлүктөгү жарык) | Жок | Жок | Жыйынтык аянты 10% | % |
Политиптик аймактар (жогорку интенсивдүү жарык) | Жыйынтык аянты 5% | Жыйынтык аянты 20% | Жыйынтык аянты 30% | % |
Чийүүлөр (жогорку интенсивдүү жарык) | ≤ 5 чийик, жыйынды узундугу ≤ 150 | ≤ 10 чийик, жалпы узундугу ≤ 200 | ≤ 10 чийик, жалпы узундугу ≤ 200 | mm |
Edge Chipping | Жок ≥ 0,5 мм туурасы/тереңдиги | 2 уруксат ≤ 1 мм туурасы/тереңдиги | 5 уруксат ≤ 5 мм туурасы/тереңдиги | mm |
Беттик булгануу | Жок | Жок | Жок |
Тиркемелер
1. Жогорку кубаттуу электроника
SiC пластинкаларынын жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана кең диапазону аларды жогорку кубаттуулуктагы, жогорку жыштыктагы түзүлүштөр үчүн идеалдуу кылат:
●Күчтү өзгөртүү үчүн MOSFET жана IGBT.
● Өркүндөтүлгөн электр унаасынын энергия системалары, анын ичинде инверторлор жана заряддоочу түзүлүштөр.
●Акылдуу тармак инфраструктурасы жана кайра жаралуучу энергия системалары.
2. RF жана микротолкундуу системалар
SiC субстраттары сигналды минималдуу жоготуу менен жогорку жыштыктагы RF жана микротолкундуу тиркемелерди иштетет:
●Телекоммуникация жана спутник системалары.
●Аэрокосмостук радар системалары.
●Өркүндөтүлгөн 5G тармак компоненттери.
3. Оптоэлектроника жана сенсорлор
SiC уникалдуу касиеттери ар кандай оптоэлектрондук колдонмолорду колдойт:
●Айлана-чөйрөнү көзөмөлдөө жана өнөр жайлык сезгич үчүн UV детекторлору.
●Светодиод жана лазердик субстраттар катуу абалда жарыктандыруу жана тактык аспаптар үчүн.
●Аэрокосмостук жана автомобиль өнөр жайы үчүн жогорку температура сенсорлору.
4. Изилдөө жана өнүктүрүү
Баалардын ар түрдүүлүгү (Өндүрүш, Изилдөө, Муляж) академияда жана өнөр жайда эң алдыңкы эксперименттерге жана түзмөктүн прототипине мүмкүндүк берет.
Артыкчылыктары
●Ишенимдүүлүк:Класстар боюнча эң сонун каршылык жана туруктуулук.
● Ыңгайлаштыруу:Ар кандай муктаждыктарга ылайыкташтырылган багыттары жана калыңдыктары.
●Жогорку тазалык:Кошумча курамы аралашма менен байланышкан минималдуу вариацияларды камсыз кылат.
●Өлчөмдүүлүк:Массалык өндүрүштүн да, эксперименталдык изилдөөнүн да талаптарына жооп берет.
3 дюймдук жогорку тазалыктагы SiC пластиналары – бул сиздин жогорку өндүрүмдүүлүктөгү шаймандарга жана инновациялык технологиялык жетишкендиктерге шлюз. Суроолор жана деталдуу мүнөздөмөлөр үчүн бүгүн биз менен байланышыңыз.
Жыйынтык
3 дюймдук жогорку тазалыктагы кремний карбид (SiC) пластинкалары өндүрүш, изилдөө жана жасалма класстарда жеткиликтүү, жогорку кубаттуулуктагы электроника, RF/микротолкун системалары, оптоэлектроника жана өнүккөн R&D үчүн иштелип чыккан премиум субстраттар. Бул пластиналар кошулбаган, жарым изоляциялоочу касиеттерге ээ, эң сонун каршылык көрсөтүү (≥1E10 Ω·см өндүрүш даражасы үчүн), микропродукттун тыгыздыгы аз (≤1 см−2^-2−2) жана беттин өзгөчө сапаты. Алар кубаттуулукту конвертациялоо, телекоммуникация, УК сезгич жана LED технологияларын кошкондо, жогорку натыйжалуу колдонмолор үчүн оптималдаштырылган. Өзгөчөлөштүрүлүүчү багыттары, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана бекем механикалык касиеттери менен бул SiC пластиналар натыйжалуу, ишенимдүү түзүлүштөрдү жасоого жана бардык тармактар боюнча жаңы инновацияларга мүмкүндүк берет.